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91. 发明授权

KR102387640B1 연마제와 연마 방법, 및 연마용 첨가액 有权
公开(公告)号：KR102387640B1
公开(公告)日：2022-04-18
申请号：KR1020170114212
申请日：2017-09-07
IPC分类号： C09K3/14 , B24B37/04 , H01L21/306
摘要： 본발명은금속산화물입자와, 단좌배위자를갖는유기산과, 비이온성중합체와, 물을함유하여, pH가 3.0 이상 7.0 이하인연마제이며, 비이온성중합체는, 폴리글리세린, 폴리옥시에틸렌폴리글리세릴에테르및 폴리옥시프로필렌폴리글리세릴에테르로이루어지는군으로부터선택되는적어도 1종을포함하는것을특징으로하는연마제에관한것이다.

92. 发明公开

KR1020220047160A 기판 공정 시스템 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220047160A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：KR1020210114782
申请日：2021-08-30
IPC分类号： H01L21/67 , B24B37/04 , B24B37/27 , B24B37/34 , B08B3/02 , B08B1/00
摘要： 일실시예에따른기판공정시스템은, 프론트엔드모듈; 제1 연마라인및 제1 세정라인을포함하는제1 공정라인; 제2 연마라인및 제2 세정라인을포함하고, 상기제1 공정라인과병렬배치되는제2 공정라인; 상기제1 공정라인및 제2 공정라인사이에위치되는제1 스테이지; 상기프론트엔드모듈로부터상기제1 스테이지로기판을이송하는제1 반송로봇을을포함할수 있다.

93. 发明授权

KR102385302B1 각형 유리 기판 및 그의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102385302B1
公开(公告)日：2022-04-11
申请号：KR1020170105787
申请日：2017-08-22
IPC分类号： C03C19/00 , C03C4/00 , B24B9/10 , B24B29/00 , B24B7/24
摘要： 표면과, 이면과, 4개의측면과, 표면과각 측면및 이면과각 측면사이에각각형성된 8개의모따기면을갖는각형유리기판이며, 표면과이 표면측의모따기면사이의능선부에, 표면을상향으로하여수평으로적재했을때, 이표면으로부터 50㎛하방의위치까지의평균구배가 25% 이하인제1 곡면을가짐과함께, 측면과상기표면측의모따기면사이의능선부에, 이측면을상향으로하여수평으로적재했을때, 이측면으로부터 50㎛하방의위치까지의평균구배가 30% 이상인제2 곡면을갖고, 또한판 두께가 6㎜이상인각형유리기판. 본발명의각형유리기판에의하면, 세정방식에관계없이, 세정후의서브미크론사이즈의표면오염을억제하여, 제조수율의저하를억제할수 있다.

94. 发明授权

KR102382376B1 대형 크랭크 샤프트를 연삭하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102382376B1
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：KR1020167028133
申请日：2015-03-13
IPC分类号： B24B5/42 , B24B49/02 , B24B49/04
摘要： 본발명은트럭엔진, 선박엔진, 또는고정형엔진의대형크랭크샤프트들을완전연삭하는방법및 연삭장치에관한것이며, 여기서크랭크샤프트(10)의메인저널및 크랭크핀및 원통형, 가능하게는원추형단부영역및 플랜지가, 하나의클램핑셋업에서사전-연삭및 마무리-연삭된다. 크랭크샤프트(10)의사전-연삭동안, 스테디-레스트시트들이연삭되며, 복수의스테디레스트들(11)이연삭되어진스테디-레스트시트들에대해배치된다. 크랭크샤프트(10)는서로동기적으로작동하는전기구동부들에의해양쪽클램핑단부들에서수동된다. 크랭크핀및/또는메인저널의측면에대한원하는형상은 CNC-제어되는 X 및 Z 축들을중심으로하며또한소위 WK 피봇축(16.1)을중심으로하는제 1 연삭디스크(7)의보간움직임에의해만들어지며, 이연삭디스크(7)는 CBN 연삭디스크이며, 크랭크샤프트의메인저널들및 크랭크핀들의축방향길이보다작은폭을갖는다. 적어도 2개, 가능하게는다수개의현재의직경들이, 공정중측정장치(30)에의하여메인저널및/또는크랭크핀의축방향길를따르는서로의위치에서측정되며, X1, Z1, 및 WK 축들에대한구동들은, 상기측정결과에기초하여, 서로에대한보간방식으로제어되며, 이에따라상기메인저널및/또는크랭크핀의측면의원하는타겟윤곽을달성할수 있다.

95. 发明公开

KR1020220043854A 연마용 조성물 및 그 제조 방법, 연마 방법 그리고 기판의 제조 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220043854A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：KR1020210108499
申请日：2021-08-18
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/306 , B24B37/00
摘要： 본발명은, 특정재료에대한높은연마속도를실현하면서, 이종재료간에있어서, 현저하게높은선택비및 현저하게높은단차저감효과를실현할수 있는수단을제공한다. 본발명은, 유기산을표면에고정한실리카와, 폴리알킬렌글리콜을함유하고, 폴리알킬렌글리콜에관한겔 투과크로마토그래피(GPC)에의한폴리에틸렌글리콜환산의분자량분포가소정의분자량범위내에 2개이상의피크를갖고, 그중의적어도 1개는폴리에틸렌글리콜에서유래되는피크이며, pH가 3 이상 6 이하인, 연마용조성물에관한것이다.

96. 发明公开

KR1020220043039A 양면 또는 일면 기계가공 기계 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220043039A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：KR1020210126378
申请日：2021-09-24
IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/10 , B24B7/16 , B24B7/17 , H01L21/67
摘要： 본발명은양면또는일면기계가공기계에관한것으로, 이기계는제 1 지지디스크)에체결되는바람직하게는환형인제 1 작업디스크, 및카운터베어링요소를가지며, 제 1 작업디스크및 카운터베어링요소는적어도하나의구동축에의해서로에대해회전하도록구동될수 있고, 평평한작업물의양면또는하나의면을기계가공하기위해작업틈이제 1 작업디스크와카운터베어링요소사이에형성되어있고, 압력공간이제 1 지지디스크와제 1 작업디스크사이에배치되고압력유체공급부에연결되며, 그압력유체공급부는, 제 1 작업디스크의미리결정된변형을발생시키는압력이압력공간에형성되도록작동될수 있고, 온도제어유체공급부에연결되는온도제어채널이제 1 작업디스크의온도를제어하기위해제공되며, 온도제어채널이압력공간보다작업틈에더 가깝게배치되도록온도제어채널은제 1 작업디스크내부에배치되며, 온도제어채널은압력공간에연결되어있지않는다.

97. 发明授权

KR102374591B1 화학적 기계적 연마의 온도 제어 有权
公开(公告)号：KR102374591B1
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：KR1020207016951
申请日：2018-11-13
IPC分类号： H01L21/67 , B24B49/14
摘要： 화학적기계적연마시스템은, 연마패드를유지하기위한지지부, 연마공정동안연마패드에맞닿게기판을유지하기위한캐리어헤드, 기판상의물질의양을표시하는신호를생성하도록구성되는인-시튜모니터링시스템, 연마공정의온도를제어하기위한온도제어시스템, 및인-시튜모니터링시스템및 온도제어시스템에결합되는제어기를포함한다. 제어기는, 온도제어시스템으로하여금, 신호에대한응답으로연마공정의온도를변화시키게하도록구성된다.

98. 发明授权

KR102372957B1 견인고리 제작방법 有权
公开(公告)号：KR102372957B1
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：KR1020200076871
申请日：2020-06-24
IPC分类号： B23P13/02 , B24B5/00 , B21H3/02 , B21J5/12 , B23G1/02
摘要： 본발명의견인고리제작방법은, 환봉을준비하는단계와; 상기환봉을일정길이로절단하는단계와; 나사부와테이퍼지거나단차진연결부를선삭하는단계와; 나사부에선삭또는전조에의해나사가공하는단계와; 열간단조에의해상기환봉의나사부반대측일단에고리부를형성하는단계와; 고리부를냉각하는단계와; 열간단조된고리부에대한트리밍단계를포함하는것을특징으로한다.

99. 发明授权

KR102372876B1 반도체장비용 원기둥부재 표면 연마장치 有权
公开(公告)号：KR102372876B1
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：KR1020210154477
申请日：2021-11-11
IPC分类号： B24B7/16 , B24B7/07 , B23Q5/40
摘要： 본발명은직경이작고높이가낮은원기둥부재의표면(윗면및 아랫면)을연마하여반도체장비에사용되는 "O"링이밀착되도록하되, 원기둥부재를적어도 2열이상다수개나열하여동시에고정시키고회전되는연마패드를왕복시켜각 원기둥부재표면이연마되도록함으로써, 낱개로연마할때 보다연마시간이단축되고또한연마패드가왕복되기때문에연마패드의편마모가감소되는반도체장비용원기둥부재표면연마장치에관한것이다. 이를위하여본 발명은본체에서로떨어진한쌍의 Y축레일이구비되고; 각상기 Y축레일을따라 Y축방향으로움직이는연결부는전면및 후면에다수의원기둥부재가 2열로놓이게받침판이구비되며; 상기연결부의전면에는상기 Y축레일을따라움직이면서 1열에놓인각 원기둥부재를연결부전면에밀착시키는가동부가구비되고; 상기연결부의후면에는상기본체에고정되어서 2열에놓인각 원기둥부재가밀착되도록해주는고정부가구비되며; 각상기 Y축레일직 상부에는 Y축모터로정역회전되는 Y축리드스크류가구비되고, 상기가동부는상기 Y축리드스크류와치합되는 Y축너트부가구비되어서상기가동부와연결부및 고정부사이에각 원기둥부재가고정되며; 그리고연마모터로회전되는연마휠은 X축을따라왕복되면서각 열의상기원기둥부재표면을동시에연마되도록한 특징이있다.

100. 发明授权

KR102371948B1 연마 방법 및 연마 장치 有权
公开(公告)号：KR102371948B1
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：KR1020210035629
申请日：2021-03-19
IPC分类号： B24B37/015 , B24B49/14 , H01L21/306
摘要： 본발명의과제는연마패드의표면온도를조정함으로써연마레이트를향상시킬수 있음과함께연마되는기판의연마프로파일도제어할수 있는연마방법및 연마장치를제공하는것이다. 연마테이블상의연마패드에기판을가압하여기판을연마하는연마방법에있어서, 연마패드(3)의표면온도를조정하는연마패드(3)의표면온도조정공정과, 조정된표면온도에있는연마패드(3)에기판을가압하여기판을연마하는연마공정을구비하여, 연마패드(3)의표면온도조정공정은연마공정중, 연마패드(3)의표면반경방향에있어서의온도프로파일의온도변화율이연마패드반경방향에있어서일정해지도록, 기판이접촉하는연마패드(3)의영역의일부분에있어서의표면온도를조정한다.

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