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91. 发明公开

KR1020090015917A 펄스형 파장가변 레이저 소스를 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于可控脉冲激光源的方法和系统
公开(公告)号：KR1020090015917A
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：KR1020087027175
申请日：2007-04-18
申请人： 이에스아이-파이로포토닉스 레이저스, 인코포레이티드
发明人： 무리슨리차드 , 파나렐로툴리오 , 레이드베노이트 , 블라-피카드레이널드 , 드라뒤란타이파스칼 , 라로즈로버트 , 테일론이브 , 브루넷프랑소와
IPC分类号： H01S3/10 , B23K26/00
CPC分类号： H01S3/06754 , H01S3/0057 , H01S3/0085 , H01S3/06758 , H01S3/2333
摘要： A tunable pulsed laser source comprising a seed source adapted to generate a seed signal and an optical circulator. The optical circulator includes a first port coupled to the seed source, a second port, and a third port. The laser source also includes an amplitude modulator characterized by a first side and a second side. The first side is coupled to the second port of the optical circulator. The laser source further includes a first optical amplifier characterized by an input end and a reflective end including a spectral-domain reflectance filter. The input end is coupled to the second side of the amplitude modulator. Moreover, the laser source includes a second optical amplifier coupled to the third port of the optical circulator.
摘要翻译：一种可调脉冲激光源，包括适于产生种子信号的种子源和光循环器。光循环器包括耦合到种子源的第一端口，第二端口和第三端口。激光源还包括以第一侧和第二侧为特征的振幅调制器。第一侧耦合到光循环器的第二端口。激光源还包括第一光放大器，其特征在于输入端和包括光谱域反射滤光器的反射端。输入端耦合到幅度调制器的第二侧。此外，激光源包括耦合到光循环器的第三端口的第二光放大器。

92. 发明公开

KR1020080110863A 공초점 펄스 스트레처 有权
标题翻译： CONFOCAL脉冲拉伸器
公开(公告)号：KR1020080110863A
公开(公告)日：2008-12-19
申请号：KR1020087026061
申请日：2007-03-23
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 다스파라슈피. , 호프만토마스 , 레이강
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/0057 , G03F7/7055 , H01S3/225
摘要： A gas discharge laser system producing a laser output pulse and a method of operating such a system is disclosed which may comprise a pulse stretcher which may comprise a laser output pulse optical delay initiating optic directing a portion of the laser output pulse along a laser system output pulse optical axis and diverting a portion of the output pulse into an optical delay having an optical delay path and which may comprise a plurality of confocal resonators in series aligned to deliver an output of the optical delay to the laser output pulse optical delay initiating optic; an optical axis alignment mechanism comprising an radial mirror positioning mechanism operable to position the output of the optical delay to the align with the portion of the laser output pulse transmitted along the optical axis of the portion of the laser system output pulse transmitted by the laser output pulse optical delay initiating optic. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：公开了一种产生激光输出脉冲的气体放电激光器系统和这种系统的操作方法，其可以包括脉冲展宽器，其可以包括激光输出脉冲光学延迟启动光学器件，以将激光输出脉冲的一部分沿激光系统输出脉冲光轴并将输出脉冲的一部分转换成具有光学延迟路径的光学延迟，并且可以包括串联对准的多个共焦谐振器，以将光学延迟的输出传递到激光输出脉冲光学延迟启动光学元件; 光轴对准机构，其包括径向镜定位机构，其可操作以将光学延迟的输出定位成与激光输出脉冲的沿激光输出脉冲发射的激光系统输出脉冲部分的光轴传输的部分对准脉冲光学延迟启动光学器件。 ®KIPO＆WIPO 2009

93. 发明授权

KR100850450B1 초협대역이고 고 반복율로 동작하는 두개 챔버를 갖는가스 방전 레이저 시스템 有权
标题翻译：非常窄带，两个室，高倍率气体放电激光系统
公开(公告)号：KR100850450B1
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：KR1020037004934
申请日：2001-09-25
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 마이어데이비드더블유. , 베사우쉘레허브에이. , 어쇼브알렉산더아이. , 파틀로윌리암엔. , 샌드스트롬리차드엘. , 다스팔라쉬피. , 앤더슨스튜어트엘. , 포멘코프이고브이. , 우자츠도우스키리차드씨. , 판지아오지앙제이. , 온켈스에케하르트디. , 네스리차드엠. , 브라운다니엘제이.더블유.
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/2366 , G01J9/00 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70333 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/0057 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/0387 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2333
摘要： 약 4,000Hz이상의 펄스율 및 약 5mJ이상의 펄스 에너지에서 고품질 펄스 레이저 빔을 발생시킬 수 있는 인젝션 시드 모듈 가스 방전 레이저 시스템. 두개의 분리된 방전 챔버(10A, 12B)가 제공되고, 그 중하나는 두번째 방전 챔버(12)에서 증폭되는 초협대역 살포 빔을 발생시키는 마스터 발진기(10)의 부분이다. 챔버(10A, 12A)는 마스터 발진기(10)에서 파장 파라미터 및 증폭 챔버(12A)에서 펄스 에너지 파라미터의 분리된 최적화를 분리되어 허용하도록 제어될 수 있다. MOPA로서 구성되고 집적회로 리소그래피를 위하여 광원으로서 사용을 위해 특별히 디자인된 ArF엑시머 레이저 시스템에서 바람직한 실시예. 바람직한 MOPA 실시예에서, 각각의 챔버(10A, 12A)는 펄스간 약 0.25밀리초보다 더 적은시간에서 방전 영역으로 부터찌꺼기를 정화함으로써 4,000Hz이상의 펄스율에 동작을 허용하도록 충분한 가스 흐름(11)을 제공하는 단일의 탄젠셜 팬을 포함한다. 마스터 발진기(10)는 0.2pm이하의 정확도로 4,000Hz 이상의 반복율에서 펄스 대 펄스 기반에서 중심 라인 파장을 제어할 수 있는 매우 빠른 튜닝 미러를 가지는 라인 내로우잉 패키지(16, 16A)를 장착한다.
엑시머 레이저, 가스 방전 레이저, 마스터 발진기, 펄스 에너지, 포토다이오드, 파워 증폭기

94. 发明授权

KR100850447B1 2챔버를 갖는 가스 방전 레이저 시스템을 위한 타이밍 제어방법 有权
标题翻译：两台气体放电激光系统的时序控制
公开(公告)号：KR100850447B1
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：KR1020067003552
申请日：2002-10-23
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 어쇼프알렉산더아이. , 네스리차드엠.
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/0385 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 주입 시딩된 모듈러 가스 방전 레이저(11)를 위한 피드백 타이밍 제어 장비 및 그 방법이 개시되었다. 바람직한 실시예는 20 내지 40 와트이상의 집적 출력을 위해 약 4,000Hz이상의 펄스율과 약 5 내지 10 mJ이상의 펄스에너지로 고품질의 펄스된 레이저빔을 산출할 수 있는 시스템이다. 피드백 타이밍 제어는 어떠한 큰레이저 에너지도 시스템으로부터 출력되지 않도록 방전시간이 정해질 수 있도록 시간이 정해진다. 이러한 기술로 두 개의 챔버의 각각에 대한 타이밍 파라미터가 버스트의 제1 레이저 출력 펄스 이전에 모니터링될 수 있도록, 버스트의 제1 방전이 어떠한 출력 방전이 아닌 버스트 모드 동작이 될 수 있게 한다. 두 개의 방전챔버 가 제공되고, 하나는 제2 방전 챔버에서 증폭되는, 초협대역 시드 빔을 산출하는 마스터 오실레이터의 일부분이다. 챔버는 챔버 증폭에서 펄스 에너지 파라미터의 최적화 및 마스터 오실레이터에서 파장 파라미터의 개별 최적화를 개별적으로 허용하도록 제어된다.
펄스율, 광원, 파장, 가스 방전 레이저, 펄스, 미러, 방전 챔버, 전극

95. 发明授权

KR100840707B1 비대칭 공진기를 구비하는 다파장 라만 레이저 발생장치 및이를 포함하는 광통신 시스템 有权
标题翻译：具有不对称CA的多波长拉曼光纤激光器和包括其的光纤通信系统
公开(公告)号：KR100840707B1
公开(公告)日：2008-06-24
申请号：KR1020070009389
申请日：2007-01-30
申请人： 한국광기술원
发明人： 한수욱 , 김동환 , 임영은
IPC分类号： H01S3/10 , H01S5/00
CPC分类号： H01S3/1051 , H01S3/0057 , H01S3/107 , H01S3/108 , H01S5/187
摘要： A multi-wavelength Raman fiber laser having asymmetric cavities and a fiber optic communication system including the same are provided to form the cavities by using a fiber grating reflector having a narrow wavelength band and a fiber grating reflector having a wide wavelength band. A first cavity includes a first reflector(120) having a narrow wavelength band. A second cavity includes a second reflector(130) having a wide wavelength band including the wavelength of the first reflector so that the first and second reflectors have asymmetric wavelength characteristics. The first and second reflectors are composed of fiber Bragg gratings. The first reflector is composed of a tunable fiber Bragg grating. The second reflector is composed of a chirped fiber Bragg grating having a variable grating interval.
摘要翻译：通过使用具有窄波长带的光纤光栅反射器和具有宽波段的光纤光栅反射器，提供具有非对称空腔的多波长拉曼光纤激光器和包括该多波长腔的光纤通信系统以形成空腔。第一空腔包括具有窄波长带的第一反射器（120）。第二腔包括具有包括第一反射器的波长的宽波长带的第二反射器（130），使得第一和第二反射器具有不对称的波长特性。第一和第二反射器由光纤布拉格光栅组成。第一反射器由可调光纤布拉格光栅组成。第二反射器由具有可变光栅间隔的啁啾光纤布拉格光栅组成。

96. 发明公开

KR1020060130232A 매우 높은 반복률의 협대역 가스방전 레이저 시스템 有权
标题翻译：非常高的重复率窄带带隙放电激光系统
公开(公告)号：KR1020060130232A
公开(公告)日：2006-12-18
申请号：KR1020067020183
申请日：2005-03-03
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 스테이거토마스디 , 홀터웨이에드워드피 , 무스만브라이언지 , 라오라자세크하르엠
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0057 , H01S3/07 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/104 , H01S3/1305 , H01S3/2333
摘要： A method and apparatus for producing a very high repetition rate gas discharge laser system in a MOPA configuration is disclosed which may comprise a master oscillator gas discharge layer system producing a beam of oscillator laser output light pulses at a very high pulse repetition rate; at least two power amplification gas discharge laser systems receiving laser output light pulses from the master oscillator gas discharge laser system and each of the at least two power amplification gas discharge laser systems amplifying some of the received laser output light pulses at a pulse repetition that is a fraction of the very high pulse repetition rate equal to one over the number of the at least two power amplification gas discharge laser systems to form an amplified output laser light pulse beam at the very high pulse repetition rate, which may be positioned in series with respect to the oscillator laser output light pulse beam. The apparatus and method may further comprise a beam delivery unit connected to the laser light output of the power amplification laser system. The apparatus and method may be a very high repetition rate gas discharge laser system in a MOPO configuration. The apparatus and method may comprise a compression head comprising a compression head charge storage device being charged at x times per second; a gas discharge chamber comprising at least two sets of paired gas discharge electrodes; at least two magnetically saturable switches, respectively connected between the compression head charge storage device and one of the at least two sets of paired electrodes and comprising first and second opposite biasing windings having a first biasing current for the first biasing winding and a second biasing current for the second biasing winding and comprising a switching circuit to switch the biasing current from the first biasing current to the second biasing current such that only one of the at least two switches receives the first biasing current at a repetition rate equal to x divided by the number of the at least two sets of paired electrodes while the remainder of the at least two magnetically saturable switches receives the second biasing current. The apparatus and method may be utilized as a lithography tool or for producing laser produced plasma EUV light.
摘要翻译：公开了一种用于制造MOPA结构中非常高的重复率气体放电激光系统的方法和装置，其可以包括以非常高的脉冲重复频率产生振荡器激光输出光脉冲的主振荡器气体放电层系统; 至少两个功率放大气体放电激光器系统接收来自主振荡器气体放电激光器系统的激光输出光脉冲，并且至少两个功率放大气体放电激光器系统中的每一个以脉冲重复放大接收到的激光输出光脉冲的一部分，非常高的脉冲重复率的一部分等于至少两个功率放大气体放电激光系统的数量之一，以形成以非常高的脉冲重复频率的放大的输出激光束脉冲束，其可以与对振荡器的激光输出光脉冲光束。该装置和方法还可以包括连接到功率放大激光系统的激光输出的光束传送单元。该装置和方法可以是MOPO配置中非常高的重复率气体放电激光系统。该装置和方法可以包括压缩头，该压缩头包括以每秒x次的速率充电的压缩头电荷存储装置; 气体放电室，包括至少两组成对的气体放电电极; 至少两个磁饱和开关，分别连接在所述压缩头电荷存储装置和所述至少两组成对电极中的一个之间，并且包括具有用于所述第一偏置绕组的第一偏置电流的第一和第二相对偏置绕组，以及第二偏置电流用于所述第二偏置绕组并且包括切换电路，以将所述偏置电流从所述第一偏置电流切换到所述第二偏置电流，使得所述至少两个开关中仅一个接收到所述第一偏置电流，所述重复率等于x除以至少两组成对电极的数量，而至少两个磁饱和开关的其余部分接收第二偏置电流。该装置和方法可以用作光刻工具或用于产生激光产生的等离子体EUV光。

97. 发明公开

KR1020060114330A 레이저 출력 광 펄스 스트레처 有权
标题翻译：激光输出光脉冲拉伸器
公开(公告)号：KR1020060114330A
公开(公告)日：2006-11-06
申请号：KR1020067009242
申请日：2004-11-01
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 스미스스코트티. , 에르쇼프알렉산더Ⅰ. , 루카셰프,알렉세이
IPC分类号： G02B6/26 , B23K26/02 , H01S3/223
CPC分类号： G03F7/7055 , H01S3/0057 , H01S3/225
摘要： An apparatus and method for providing a high peak power short pulse duration gas discharge laser comprising a pulse stretcher which may comprise a laser output pulse optical delay initiating optic diverting a portion of the output laser pulse into an optical delay having an optical delay path and comprising; a plurality of confocal resonators in series aligned to deliver an output of the optical delay to the laser output pulse optical delay initiating optic. The plurality of confocal resonators comprises four confocal resonators may comprise a first spherical having a radius of curvature a second concave spherical mirror having the same radius of curvature and separated from the first concave spherical mirror by the radius of curvature and receiving the first reflected beam at a first point on a face of the second concave spherical mirror and generating a second reflected beam incident on a second point on the face of the first concave spherical mirror, the second reflected beam being reflected by the first concave spherical mirror from the second point on the first mirror to form an output beam from the first confocal resonator cell; and, a second confocal resonator cell receiving the output beam of the first confocal resonator cell as an input beam of the second confocal resonator cell. The apparatus and method may comprise a plurality, e.g., two pulse stretchers in series and may include spatial coherency metrology.
摘要翻译：一种用于提供高峰值功率短脉冲持续时间气体放电激光器的装置和方法，包括脉冲展宽器，其可以包括激光输出脉冲光学延迟启动光学，将输出激光脉冲的一部分转移到具有光学延迟路径的光学延迟中，并且包括 ; 串联的多个共焦共振器对准以将光延迟的输出传递到激光输出脉冲光延迟启动光学元件。多个共焦共振器包括四个共聚焦共振器可以包括具有曲率半径的第一球形，第二凹球面镜具有相同的曲率半径，并且通过曲率半径与第一凹球面镜分离，并将第一反射光束在第二凹球面镜的表面上的第一点并且产生入射在第一凹球面的表面上的第二点上的第二反射光束，第二反射光束被第一凹球面镜从第二点反射所述第一反射镜从所述第一共焦共振腔形成输出光束; 以及接收第一共焦共振器单元的输出光束作为第二共焦共振器单元的输入光束的第二共焦共振器单元。该装置和方法可以包括多个例如串联的两个脉冲担架，并且可以包括空间相干度度量。

98. 发明授权

KR100612727B1 광펄스 압축기 및 광 함수발생기, 광펄스 압축방법 및 광함수 발생방법 失效
标题翻译：光脉冲压缩机和光学函数发生器，光脉冲压缩方法和光学函数生成方法
公开(公告)号：KR100612727B1
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：KR1020057017323
申请日：2004-03-23
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코
发明人： 나까자와,마사타카 , 히로오까,토시히꼬
IPC分类号： H04J14/00
CPC分类号： H01S3/0057 , G02F1/0553 , G02F2203/26 , H04B10/508
摘要： 초고속 광통신이나 광계측에 이용하는 저파워이고 고반복 주파수의 초단펄스 열을 발생할 수 있는, 소형이고 기능성 높은 광펄스 압축기 및 간단한 구성으로 임의의 시간 파형을 실현하는 광 함수발생기를 제공한다. 광펄스 압축기는 입력 광펄스 열의 반복 주파수로 구동되는 광위상 변조기(9)와, 분산성 매질(8)을 갖고, 입력된 광펄스의 주파수 스펙트럼의 형상을 그 시간 파형으로 변환하는 광 푸리에 변환장치(F)와, 광 푸리에 변환장치(F)의 앞에 삽입되고, 입력광 펄스의 스펙트럼 폭을 좁게 하는 광필터(3)를 갖추고, 광 푸리에 변환장치(F)에 의해, 광필터(3)로부터 출력된 좁은 스펙트럼 폭의 광펄스를 좁은 시간 폭의 광펄스로 변환한다. 광 함수발생기는, 광 푸리에 변환장치(F)에 의해, 광필터에서 임의로 파형 정형된 스펙트럼을 그대로 시간축 위에서 재생함으로써, 임의의 시간 파형을 갖는 광펄스를 발생한다.

99. 发明授权

KR100534497B1 임의 길이의 인라인 광학 도파관 굴절 인덱스 회절 격자를제조하는 방법 有权
标题翻译：用于制造任何长度的在线光学波导折射率指数的方法
公开(公告)号：KR100534497B1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：KR1020007003556
申请日：1998-07-02
申请人： 쓰리엠 컴퍼니
发明人： 브레난제임스에프.3세 , 래브레익드웨인엘. , 뷰체스네제라드에이. , 페핀로날드피.
IPC分类号： G02B6/02
CPC分类号： G02B6/02147 , G02B6/02095 , G02B6/02138 , G02B6/02152 , G02B6/124 , G02B6/29317 , G02B6/29394 , G02B2006/12107 , G02B2006/12109 , G02B2006/12138 , H01S3/0057
摘要： 본 발명은 광섬유 내에 아포디제이션된 브랙 회절 격자를 기록하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 방법은 감광성 광섬유와 기록 빔을 제공하는 단계를 포함한다. 주기(Λ)의 주기적인 강도 분포가 기록 빔으로부터 생성되고, 광섬유는 속도(
ν(t) )로 강도 분포에 대해 이동된다. 기록 빔의 강도는 주파수(
f(t) )에서 시간의 함수로서 변조되고, 여기서
ν(t)/f(t)
Λ 이다. 기록 빔의 강도는 아포디제이션된 회절 격자를 기록하기 위해 굴절 인덱스 프로파일의 포락선을 더 제어하도록 변화된다.

100. 发明公开

KR1020050099744A 광섬유 격자를 이용한 광섬유 라만 레이저와 이를 이용한장거리용 센서 有权
标题翻译：拉曼光纤激光探测器，使用光纤光栅光栅和长距离远距离传感器
公开(公告)号：KR1020050099744A
公开(公告)日：2005-10-17
申请号：KR1020040024922
申请日：2004-04-12
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 이주한 , 한영근 , 이상배 , 김상혁
IPC分类号： H01S3/067
CPC分类号： H01S3/0057 , H01S3/0675 , H01S3/302
摘要： 광섬유 격자를 이용한 광섬유 라만 레이저와 이를 이용한 장거리용 센서에 대해 개시한다. 본 발명은 라만 레이저 펌핑광을 받아들이며 출력단에 연결된 결합기를 포함하고, 상기 결합기에서 연장된 이득매질인 광섬유를 포함하며, 미러 기능을 수행하는 넓은 파장 대역의 처프된 광섬유 격자 또는 처프된 가변 광섬유 격자로 이루어진 미러 광섬유 격자를 상기 이득매질 일단과 결합기 사이에 형성시키고, 미러 기능과 온도 또는 압력 감지 기능을 수행하기 위한 단주기 광섬유 격자 또는 가변 광섬유 격자로 이루어진 감지 광섬유 격자를 상기 이득매질 타단에 형성시켜서 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 아주 긴 길이의 광섬유를 이득매질로 사용하므로 기존의 센서 기술의 한계점으로 여겨 온 25㎞ 이상 거리에서도 센싱이 가능하다. 또한, 그 구성이 단순하여 전체 시스템 단가를 줄일 수 있다.

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