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91. 发明公开

KR1020000065739A 마이크로-미러 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치 无效
标题翻译：微镜器件和光学拾取器件
公开(公告)号：KR1020000065739A
公开(公告)日：2000-11-15
申请号：KR1019990012368
申请日：1999-04-08
申请人： 주식회사 엘지이아이
发明人： 이영주
IPC分类号： G11B7/09
CPC分类号： G11B7/1362 , G02B26/0858 , G11B7/08564 , G11B7/0929 , G11B7/0937 , G11B7/22
摘要： PURPOSE: A micro-mirror device and optical pick-up apparatus using the device precisely controls a position of an optical data storing unit between data track pitches, and improves an integrating level of the optical data storing unit. CONSTITUTION: A micro-mirror device(20) comprises a mirror driving portion formed on a substrate(21), and a mirror portion(22) moved upward and downward in parallel by the mirror driving portion. In the device, the mirror driving portion comprises a piezoelectric actuator displaced responding to an input signal, a connecting portion connected with the mirror portion and the piezoelectric actuator to transmit a displacement of the actuator to the mirror portion and moving the mirror portion. An optical pick-up apparatus using the device comprises an optical module for generating light, a concentrating portion for concentrating the light from the optical module on a surface of an optical data recording medium, an optical detecting portion for converting the light reflected by the optical data recording medium into an electric signal, an optical separating portion positioned between the optical module and the concentrating portion to transmit the light from the optical module to the concentrating portion and transmit the light through the concentrating portion to the optical detecting portion.
摘要翻译：目的：使用该装置的微镜装置和光拾取装置精确地控制光数据存储单元在数据轨道间距之间的位置，并提高光数据存储单元的积分级。构造：微镜装置（20）包括形成在基板（21）上的反射镜驱动部分和由反射镜驱动部分并行地向上和向下移动的反射镜部分（22）。在该装置中，反射镜驱动部分包括响应于输入信号而移动的压电致动器，与反射镜部分连接的连接部分和压电致动器，以将致动器的位移传递到反射镜部分并移动镜部分。使用该装置的光学拾取装置包括用于产生光的光学模块，用于将来自光学模块的光聚集在光学数据记录介质的表面上的聚光部分，用于转换由光学反射的光的光学检测部分数据记录介质转换成电信号，光分离部分位于光模块和集中部分之间，以将光从光模块传输到集中部分，并将光通过集中部分传输到光检测部分。

92. 发明公开

KR1020000044824A 2층구조의 박막형 광로조절장치의 제조방법 无效
标题翻译：两层膜薄膜微阵列驱动器件的制造方法
公开(公告)号：KR1020000044824A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061324
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 박해석
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： PURPOSE: A manufacturing method for two layered TMA device is to provide a safe structure overall and to increase the optical light effect by forming the second sacrificial layer through depositing the third photoresist. CONSTITUTION: A device comprises a driving substrate(310), a first sacrificial layer(320), an actuator(330), a second sacrificial layer(340), a first photoresist(341), a second photoresist(342), and a third photoresist(343). A manufacturing method comprises the steps of: forming the actuator and the first sacrificial layer; coating the first photoresist on the upper part of the exposed first sacrificial layer; partly eliminating the first photoresist using the reverse mask; coating the second photoresist on the upper part of the first photoresist; forming the second sacrificial layer by coating the third photoresist; forming the mirror supporting area; and forming the mirror layer on the upper part of the mirror supporting area.
摘要翻译：目的：两层TMA器件的制造方法是通过沉积第三光致抗蚀剂，通过形成第二牺牲层来提供整体上的安全结构并增加光学效果。构造：装置包括驱动基板（310），第一牺牲层（320），致动器（330），第二牺牲层（340），第一光致抗蚀剂（341），第二光致抗蚀剂（342）和第三光致抗蚀剂（343）。一种制造方法包括以下步骤：形成致动器和第一牺牲层; 在暴露的第一牺牲层的上部上涂覆第一光致抗蚀剂; 使用反向掩模部分地消除第一光致抗蚀剂; 在第一光致抗蚀剂的上部涂覆第二光致抗蚀剂; 通过涂覆第三光致抗蚀剂形成第二牺牲层; 形成镜面支撑区域; 以及在镜支撑区域的上部形成镜层。

93. 发明公开

KR1020000044803A 2층구조의 박막형 광로조절장치의 제조방법 无效
标题翻译：两片薄膜薄膜阵列驱动装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020000044803A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061303
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 고윤진
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： PURPOSE: A manufacturing method for the two panel TMA device is provided to increase the optical energy utilization and to prevent the popping phenomena from occurring at the upper part surface of the second sacrificial layer by forming a protection layer with photoresist. CONSTITUTION: A device comprises a driving substrate(210), an insulation substrate(211), a metal layer(214), a lower part protection layer(215), a MOS transistor(212), an upper part protection layer(217), an etching preventing layer(218), a first sacrificial layer(220), an actuator(230), a membrane(231), an electrodisplacive(233),and a second sacrificial layer(240). A manufacturing step comprises a step of providing the driving substrate including an insulation layer, a MOS transistor, a metal layer, a lower part protection layer, a blocking layer, an upper part protection layer and an etching preventing layer; a step of forming the first sacrificial layer in which the actuator supporting part is formed on the upper part of the driving substrate; a step of forming the second sacrificial layer on the upper part of the protection layer; and a step of forming the mirror supporting part by exposing the actuator.
摘要翻译：目的：提供两个面板TMA装置的制造方法，以增加光能利用率，并通过形成具有光致抗蚀剂的保护层来防止在第二牺牲层的上部表面发生爆裂现象。构成：装置包括驱动基板（210），绝缘基板（211），金属层（214），下部保护层（215），MOS晶体管（212），上部保护层（217），蚀刻防止层（218），第一牺牲层（220），致动器（230），膜（231），电致位移（233）和第二牺牲层（240）。一种制造步骤包括提供包括绝缘层，MOS晶体管，金属层，下部保护层，阻挡层，上部保护层和防蚀层的驱动基板的步骤。在所述驱动基板的上部形成有所述致动器支撑部的所述第一牺牲层的形成工序; 在保护层的上部形成第二牺牲层的步骤; 以及通过使致动器曝光来形成镜支撑部的步骤。

94. 发明公开

KR1020000044191A 화소의 포인트 결함을 방지할 수 있는 박막형 광로조절 장치의제조방법 无效
标题翻译：薄膜型光路调节器的制造方法使得能够防止像素缺陷
公开(公告)号：KR1020000044191A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980060682
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 김준모
IPC分类号： H04N5/66
CPC分类号： G02B26/0858 , G02F1/0102 , H01L21/32139
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of thin-film type optical path adjustor is provided to prevent the point defect of pixel generated due to sticking phenomenon of an actuator. CONSTITUTION: A manufacturing method of thin-film type optical path adjustor enable to prevent point defect of pixel comprises steps of: providing an active matrix containing a metal layer having a drain pad extended from a drain of a MOS transistor; stacking a sacrifice layer on the active matrix, deeply etching the sacrifice layer on the drain pad and both adjacent portions of the drain pad, and angularly etching the sacrifice such that portions extended between the deep etched portions along direction crossed with the deep etched portions can become gradually narrower; stacking a first layer on the sacrifice layer; forming a bottom electrode layer, a second layer and a top electrode layer on the first layer and then sequentially patterning them to form an actuator containing first, second top electrodes, first, second deformation layers and bottom electrode; patterning the first layer to form a supporter; and forming a mirror on the actuator.
摘要翻译：目的：提供薄膜型光路调节器的制造方法，以防止由于致动器的粘附现象而产生的像素的点缺陷。构成：能够防止像素的点缺陷的薄膜型光路调节器的制造方法包括以下步骤：提供含有从MOS晶体管的漏极延伸的漏极焊盘的金属层的有源矩阵; 在有源矩阵上堆叠牺牲层，深深地蚀刻漏极焊盘上的牺牲层和漏极焊盘的两个相邻部分，并且对牺牲进行角度蚀刻，使得沿着与深蚀刻部分交叉的方向在深蚀刻部分之间延伸的部分可以逐渐变窄; 在牺牲层上堆叠第一层; 在第一层上形成底电极层，第二层和顶电极层，然后依次对其形成图案，以形成包含第一，第二顶电极，第一，第二变形层和底电极的致动器; 图案化第一层以形成支持者; 并在致动器上形成反射镜。

95. 发明公开

KR1020000032550A 2층구조 박막형 광로조절장치 제조방법 无效
标题翻译：双薄膜激光反射镜阵列的制作方法
公开(公告)号：KR1020000032550A
公开(公告)日：2000-06-15
申请号：KR1019980049041
申请日：1998-11-16
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 김홍성
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： PURPOSE: A fabrication method of double thin film actuated mirror array is provided to prevent the bending of a mirror surface by removing residual photoresist using oxygen plasma process under room temperature after patterning the mirror surface. CONSTITUTION: A fabrication method of double thin film actuated mirror array comprises steps of: forming a drive substrate(5); sequentially forming a first sacrifice layer(25), a membrane, a lower electrode(35), a deformation layer(40) and an upper electrode(45) on the drive substrate and then forming an actuator(65) by connecting the lower electrode and a drain pad of the drive substrate; forming a second sacrifice layer(70) on the actuator; forming a post supporting a mirror surface on the second sacrifice layer; removing residual photoresist; and removing the first and second sacrifice layers.
摘要翻译：目的：提供双薄膜致动反射镜阵列的制造方法，以在图案化镜面之后，在室温下通过使用氧等离子体处理除去残留光致抗蚀剂来防止镜面弯曲。构成：双薄膜致动反射镜阵列的制造方法包括以下步骤：形成驱动基板（5）; 在驱动基板上依次形成第一牺牲层（25），膜，下电极（35），变形层（40）和上电极（45），然后通过连接下电极和驱动基板的漏极焊盘; 在致动器上形成第二牺牲层（70）; 在所述第二牺牲层上形成支撑镜面的支柱; 去除残留光刻胶; 并移除第一和第二牺牲层。

96. 发明公开

KR1020000003890A 박막형광로조절장치및그제조방법 失效
标题翻译：薄膜激光反射镜阵列及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000003890A
公开(公告)日：2000-01-25
申请号：KR1019980025190
申请日：1998-06-29
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 박해석
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： PURPOSE: A thin film actuated mirrors array in an optical projection system is provided to decreases a line defect in a pixel due to an occurrence of electrical shorts by further forming a common electrode line and connecting to the upper layer through a via contact. CONSTITUTION: The thin film actuated mirrors array comprising an active matrix (100) including a first metal layer (107), which a MOS transistor (105) is built-in and a drain pad (108) extending from a drain (104) of the transistor; a common electrode line (175) formed on the active matrix (100); an actuator (145) including i) a support layer (125) in which a side of the support layer becomes a first anchor (126) and a second anchors (127a and 127b) in which the drain pad (108) is formed on an under site out of the active matrix and facing to both sides thereof on a straight line, and the other side of the support layer formed vertically on the active matrix, ii) a lower layer (130) formed on the top of the support layer (125), iii) a deformable layer (135) formed on the lower layer (130), iv) an upper layer (140) formed on the deformable layer (130), and v) an upper electrode connections (160a and 160b) formed from the one side of the upper electrode (140) to the upper portion of the neighbor actuator across the anchors (127a and 127b); a via first contact (156) formed from the lower layer (135) to the drain pad (108) across the first anchor (126); a via second contact (180) formed from the upper electrode connections (160a and 160b) to the common electrode line (175a) across the second anchors (127a and 127b); and a mirror (200) formed onto the actuator (145).
摘要翻译：目的：提供光学投影系统中的薄膜致动反射镜阵列，以通过进一步形成公共电极线并通过通孔接触连接到上层，由于发生电气短路而减少像素中的线缺陷。构成：薄膜致动反射镜阵列包括有源矩阵（100），该有源矩阵（100）包括内置MOS晶体管（105）的第一金属层（107）和从漏极（104）延伸的漏极焊盘（108）晶体管; 形成在有源矩阵（100）上的公共电极线（175）; 致动器（145），包括i）支撑层（125），其中所述支撑层的一侧变为第一锚定件（126）和第二锚定件（127a和127b），其中所述排水垫（108）位于有源矩阵之外，并且在直线上面对其两侧，并且支撑层的另一侧在有源矩阵上垂直形成，ii）形成在支撑层的顶部上的下层（130） 125），形成在所述下层（130）上的可变形层（135），iv）形成在所述可变形层（130）上的上层（140），以及v）形成的上电极连接件（160a和160b）从所述上电极（140）的一侧穿过所述锚定件（127a和127b）到相邻致动器的上部; 经由所述下层（135）到穿过所述第一锚定件（126）的所述排水垫（108）形成的通孔第一接触（156）; 从所述上电极连接部分（160a和160b）到穿过所述第二锚固件（127a和127b）的所述公共电极线（175a）形成的通孔第二触点（180）; 和形成在致动器（145）上的反射镜（200）。

97. 发明授权

KR100209401B1 광로조절장치의 제조방법 失效
公开(公告)号：KR100209401B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940017571
申请日：1994-07-21
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 김동국
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858 , Y10S359/90 , Y10S359/904
摘要： 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광로 조절 장치의 제조 방법은, 트랜지스터들이 매트릭스 상태로 형성되고 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 패드들이 형성된 구동기판 상부에 희생막을 형성하는 공정과, 상기 패드들이 노출되도록 희생막의 소정부분을 제거하고 지지부를 형성하는 공정과, 상기 희생막과 상기 지지부의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인과 지지부의 소정부분을 패드가 노출되도록 제거하고 플러그를 형성하는 공정과, 상기 멤브레인 상부에 상기 플러그와 전기적으로 연결되도록 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극 및 멤브레인의 노출된 부분의 상부에 변형부를 형성하는 공정과, 상기 희생막이 노출되게 일측단이 상기 지지부의 일측단과 일치되도록 � ��기 변형부 및 상기 멤브레인의 소정부분을 패터닝하여 액츄에이터를 분리하는 공정과, 상기 변형부가 노출되지 않도록 상기 변형부를 반사막으로 에워싸는 공정과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 포함한다. 따라서, 본 발명은 희생막을 제거하는 공정에서 별도의 보호막을 형성하지 않고 반사막을 이용하므로 식각용액에 의한 다른 재료의 손상을 방지할 수 있다.

98. 发明公开

KR1019990043700A 압전 센서를 장착한 박막형 광로 조절 장치 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR1019990043700A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970064742
申请日：1997-11-29
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 주상백
IPC分类号： G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0858 , H01L41/047 , H01L41/0973 , Y10S359/904
摘要： 액츄에이터의 구동 각도를 조절할 수 있는 박막형 광로 조절 장치 및 그 제조 방법이 개시된다. M×N 개의 MOS 트랜지스터가 내장되고 드레인 패드를 포함하는 액티브 매트릭스의 상부에는 지지층, 하부 전극, 변형층 및 상부 전극을 포함하는 액츄에이터가 형성된다. 상부 전극의 상부에는 접착층, 상부 전극 및 접착층의 단차면에 형성된 절연층, 접착층의 양단에 각기 사각형 형상으로 형성된 제1 압전체 및 제2 압전체, 그리고 접착층, 제1 압전체 및 제2 압전체의 상부에 형성된 제4 금속층을 포함하는 압전 센서가 형성된다. 액츄에이터의 구동시 제1 압전체와 제2 압전체 사이에 발생하는 전위차를 측정하여 액츄에이터의 구동 각도를 산출할 수 있다. 전위차가 적정 영역을 초과하거나 미달하는 경우, 상부 전극과 하부 전극에 인가되는 전압을 재조정하여 각각의 액츄에이터의 구동 각도를 균일하게 할 수 있다.
摘要翻译：目的：薄膜致动反射镜阵列及其制造方法是通过重新调节施加在上电极和下电极之间的电压来调节致动器的有效角度。构成：有源矩阵（100）中安装有一个MxN晶体管。有源矩阵包括具有从晶体管的漏极延伸的漏极焊盘的第一金属层（105）和形成在第一金属层上的第三金属层（125）。致动器（200）包括支撑层（145），形成在支撑层上的下电极（150），形成在下电极上的变形层（155）和形成在变形层上的上电极（160）。压电传感器包括形成在上电极上的粘合剂层（165），形成在上电极的台阶表面上的绝缘层（162）和间隔件形式的粘合剂层，第一和第二压电体（170a， 170b），形成在矩形的形式的粘合剂层的两端，以及形成在粘合剂层上的第四金属（175）和第一和第二压电体。

99. 发明授权

KR100159416B1 광로 조절 장치 失效
标题翻译：光学投影系统
公开(公告)号：KR100159416B1
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019950013359
申请日：1995-05-26
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 민용기
IPC分类号： H04N5/74
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판의 동일한 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드와 플러그를 통해 제1 및 제2하부전극에 동일한 화상신호가 인가되고, 제1상부전극은 접촉된 제1하부전극에 의해 화상신호를 인가받는다. 그러므로, 제1 및 제2하부전극과 제1 및 제2상부전극 사이에 개재되어 있는 제1 및 제2변형부에 전계가 발생되어, 제1 및 제2변형부가 전계와 수직방향으로 수축하게 되어 액츄에이터가 휘어져 경사진다. 따라서, 본 발명은 레그의 일측에 형성된 변형부를 제거하고 상부전극을 하부전극과 접촉하므로 1라인의 상부전극중 한개 또는 일부가 손상되어도 손상된 상부전극만 구동하지 않고 손상되지 않은 상부전극은 구동된다.

100. 发明授权

KR1019970003465B1 광로조절장치의 제조방법 失效
标题翻译：光路调节方法的制造方法
公开(公告)号：KR1019970003465B1
公开(公告)日：1997-03-18
申请号：KR1019930020259
申请日：1993-09-28
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 지정범
IPC分类号： H04N5/74
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： A method for manufacturing a light way controller is disclosed. First, a ceramic wafer(21) is made by processing a bulk state of ceramic. And then, a first set of grooves are established on one side surface of the ceramic wafer. Thereafter, signal electrodes(25) are formed by filling a conducting material. A dielectric layer(31) is formed at one side surface of the ceramic wafer. On the other side surface of the ceramic wafer, a metal film and a photo-resist layer are formed. A second set of grooves(37) are formed on the portion corresponding to the center portion of the signal electrodes(25). A driving transferring portion(39) is formed at the second set of grooves(37). A mirror(41) is formed at the surface of the driving transferring portion(39).
摘要翻译：公开了一种制造光路控制器的方法。首先，陶瓷晶片（21）通过处理大量陶瓷状态制成。然后，在陶瓷晶片的一个侧表面上建立第一组凹槽。此后，通过填充导电材料形成信号电极（25）。电介质层（31）形成在陶瓷晶片的一个侧表面。在陶瓷晶片的另一侧表面上，形成金属膜和光致抗蚀剂层。在对应于信号电极（25）的中心部分的部分上形成第二组凹槽（37）。驱动传递部分（39）形成在第二组凹槽（37）处。在驱动转印部（39）的表面形成有反射镜（41）。

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