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    • 97. 发明公开
    • 반도체 제조 시스템에서 변경 파라메터 입력에 따른 문서생성 방법
    • 符合半导体器件制造系统中更改参数输入的文件生成方法
    • KR1020020063006A
    • 2002-08-01
    • KR1019990055556
    • 1999-12-07
    • 삼성전자주식회사
    • 윤수현오창준최기호김우규
    • H01L21/00
    • PURPOSE: A file generation method is provided to automatically generate a necessary file by inputting changed parameters of only significant processes into a host computer. CONSTITUTION: A file generation method comprises the first step(S100) inputting changed parameters into a host computer, the second step(S200) outputting a generated file according to the parameters after temporarily saving the parameters, the third step(S210) informing a decision on the generated file to the host computer, the fourth step(S220) judging from the decision whether the changed parameters are admitted or not, the fifth step(S230) exchanging the changed parameters with saved parameters, the sixth step(S240) setting a manufacturing equipment according to the changed parameters and the last step(S250) performing manufacturing processes.
    • 目的:提供文件生成方法,通过将重要进程的更改参数输入到主机中自动生成必要的文件。 构成:文件生成方法包括将更改的参数输入到主计算机的第一步骤(S100),第二步骤(S200)在临时保存参数之后根据参数输出生成的文件,第三步骤(S210)通知决定 在生成的文件到主计算机的情况下,第四步骤(S220)从判定判断改变的参数是否被允许,第五步骤(S230)用已保存的参数交换改变的参数,第六步骤(S240)设置 制造设备根据变化的参数和最后一步(S250)进行制造工艺。