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    • 4. 发明授权
    • 고 순도 석영 유리의 제조 장치
    • 用于制造高纯度QUARTZ玻璃的装置
    • KR101642327B1
    • 2016-07-26
    • KR1020140126585
    • 2014-09-23
    • (주) 디에스테크노
    • 김영주박영식송준백정연웅손원근
    • C03B5/16
    • Y02P40/57
    • 본발명은, 원통형이면서용기형상인머플내부에구비되는도가니와, 상기머플외부측면에원통형으로구비된측면히터및 상기도가니하부혹은머플하부에구비된원판형의하부히터가구비되고, 상기측면히터외부에원통형의단열벽이구비되며, 상기도가니내부에서는석영분말을용융하여석영유리를만들때, 상기머플상부에배기구가연결되며, 상기배기구를통하여진공펌프가진공을만들고, 상기도가니에서석영유리분말을용융할때에는진공상태가되며, 상기진공펌프와배기구사이에필터가더 구비되므로서, 고순도투명석영유리를불순물에오염시키지않고생산성도양호한제조장치를제공하여, 불순물을각각 5ppm 이하로억제할 수있고, 석영분말을용융하는과정에서도안정된온도구배를유지하며, 또한석영용융물내에기포발생을줄일수 있도록하므로서균일성이높은석영유리를제조할수 있게된다.