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    • 4. 发明公开
    • 접촉면적이 확장된 활성층을 포함하는 홀 센서 및 이의 제조방법
    • 霍尔传感器,其包括具有延长的接触面积的有源层及其制造方法
    • KR1020170052788A
    • 2017-05-15
    • KR1020150154416
    • 2015-11-04
    • 나노스 주식회사
    • 김성우이종화조광철
    • H01L43/06G01R33/07H01L43/04H01L43/14
    • 접촉면적이확장된활성층을포함하는홀 센서및 이의제조방법이제공된다. 구체적으로상기홀 센서는, 반도체기판상에, 제1 축및 제2 축이수직으로교차된십자형태의감지부및 상기감지부의 4개의끝단에위치하는접촉부를포함하는구조를갖는활성층및 상기접촉부의상부영역의크기내에배치되며, 상기감지부의제1 축의끝단에서로대향하여위치하는제1 금속층및 제2 금속층과, 상기감지부의제2 축의끝단에서로대향하여위치하는제3 금속층및 제4 금속층으로이루어진전극부를포함하는것으로, 기존의단차피복에따른전극과활성층의연결성저하등의문제점을개선할수 있어오프셋의안정화및 입력저항의감소등으로센서의효율을향상시킬수 있다.
    • 提供了一种包括其接触面积被扩大的有源层的霍尔传感器及其制造方法。 更具体地,霍尔传感器,半导体衬底,所述第一轴和所述有源层和所述接触部分的上部具有一个结构,其中两个轴包括横截面形状垂直taeuigam部分和位于所述感测单元的四个端部的接触部分 设置在所述区域中,第一金属层和第二金属层和第三金属层和相对定位到其被定位成与在感测部上的第一轴端在第二轴端的感测部分的第四金属层的尺寸范围内 以覆盖制成的电极部分,它可以改善的问题,如利用根据在稳定性和输入的电阻的偏移减少,如提高传感器的效率常规阶梯覆盖活性层的电极连接的劣化的sikilsu。
    • 9. 发明授权
    • 접촉면적이 확장된 활성층을 포함하는 홀 센서 및 이의 제조방법
    • 霍尔传感器,其包括具有延长的接触面积的有源层及其制造方法
    • KR101786207B1
    • 2017-11-16
    • KR1020150154416
    • 2015-11-04
    • 나노스 주식회사
    • 김성우이종화조광철
    • H01L43/06G01R33/07H01L43/04H01L43/14
    • 접촉면적이확장된활성층을포함하는홀 센서및 이의제조방법이제공된다. 구체적으로상기홀 센서는, 반도체기판상에, 제1 축및 제2 축이수직으로교차된십자형태의감지부및 상기감지부의 4개의끝단에위치하는접촉부를포함하는구조를갖는활성층및 상기접촉부의상부영역의크기내에배치되며, 상기감지부의제1 축의끝단에서로대향하여위치하는제1 금속층및 제2 금속층과, 상기감지부의제2 축의끝단에서로대향하여위치하는제3 금속층및 제4 금속층으로이루어진전극부를포함하는것으로, 기존의단차피복에따른전극과활성층의연결성저하등의문제점을개선할수 있어오프셋의안정화및 입력저항의감소등으로센서의효율을향상시킬수 있다.
    • 提供了一种霍尔传感器及其制造方法,该霍尔传感器包括具有扩大的接触面积的有源层。 更具体地,霍尔传感器,在半导体衬底上,所述第一轴和所述有源层和所述接触部具有在两个轴都包含在一个横截面形状在垂直传感器和位于所述感测单元的四个端部的接触部分的结构 一个设置在所述上​​部区域的大小,第三金属层和第四彼此相对地定位的第一金属层和第二金属层和,结束第二轴,其相对彼此位于在感测部上的第一轴端的感测部分上内 为包括由电极部分的金属层,可以改善问题,例如与根据常规的阶梯覆盖活性层的电极连接的降解,因为它减少了输入的偏移量的稳定性和抗性,例如,以改善传感器的效率。
    • 10. 发明公开
    • 요철 패턴을 갖는 활성층을 포함하는 홀 센서 및 이의 제조방법
    • 包括具有凹凸图案的有源层的霍尔传感器及其制造方法
    • KR1020170097828A
    • 2017-08-29
    • KR1020160019243
    • 2016-02-18
    • 나노스 주식회사
    • 김성우이종화조광철
    • G01R33/07G01R33/00H01L43/06H01L43/04H01L43/12G01R3/00G01D5/14
    • 요철패턴을갖는활성층을포함하는홀 센서및 이의제조방법이제공된다. 구체적으로상기홀 센서는, 반도체기판상에제1 축및 제2 축이수직으로교차된십자형태의감지부및 상기감지부와일체로형성되며상기감지부의 4개의끝단에연결하여위치하는요철패턴부를포함하는활성층을배치하고, 상기요철패턴부의표면및 상기반도체기판상에상기제1 축방향의요철패턴부의끝단에서로대향하여위치하는제1 금속층및 제2 금속층과, 상기제2 축의방향의요철패턴부의끝단에서로대향하여위치하는제3 금속층및 제4 금속층으로이루어진전극부를배치한구조로, 전극부에대한활성층의접촉면적을넓혀접촉저항을감소시킴으로써, 센서의감도를높일수 있다.
    • 提供了一种包括具有凹凸图案的有源层的霍尔传感器及其制造方法。 具体地,霍尔传感器包括具有在半导体衬底上垂直交叉的第一轴和第二轴的十字形触摸感测单元以及与感测单元一体形成并连接到感测单元的四端的凹凸图案单元 第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和第二金属层设置在所述不平坦图案部分的表面上并且在所述半导体衬底上,以在所述不平坦图案部分的所述第一轴向方向上的端部处彼此面对; 在第一和第二金属层的端部处彼此相对定位的第三金属层和第四金属层被设置为增加有源层相对于电极部分的接触面积并减小接触电阻。