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1. 发明授权

KR102207900B1 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법 有权
公开(公告)号：KR102207900B1
公开(公告)日：2021-02-01
申请号：KR1020140015890
申请日：2014-02-12
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , (주) 인텍플러스
发明人： 김재천 , 이현민 , 주병권
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95
摘要： 광학검사장치는표시패널에제 1 파장의광을조사하는제 1 광원, 표시패널에제 2 파장의광을조사하는제 2 광원, 표시패널에제 3 파장의광을조사하는제 3 광원, 표시패널에서반사되는제 1 파장의광을통과시키는제 1 필터, 표시패널에서반사되는제 2 파장의광을통과시키는제 2 필터, 표시패널에서반사되는제 3 파장의광을통과시키는제 3 필터, 제 1 필터에상응하도록배치되는제 1 전하결합소자, 제 2 필터에상응하도록배치되는제 2 전하결합소자및 제 3 필터에상응하도록배치되는제 3 전하결합소자를포함하는카메라및 제 1 전하결합소자에서취득되는제 1 영상, 제 2 전하결합소자에서취득되는제 2 영상및 제 3 전하결합소자에서취득되는제 3 영상을조합하여표시패널의불량을분석하는영상분석부를포함한다.

2. 发明授权

KR102208551B1 외관 검사 시스템 有权
公开(公告)号：KR102208551B1
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：KR1020190015764
申请日：2019-02-11
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 고승규 , 장석준 , 이진호
IPC分类号： G01N21/88 , G06T7/00
摘要： 본발명에따른외관검사시스템은룰 베이스검사기(Rule Based inspector), 및딥러닝검사기(Deep learning inspector)를포함한다. 룰베이스검사기는측정대상물의외관에대한영상을획득하며, 획득된영상을이용해서외관불량유형별검사항목들에따라룰 베이스검사를수행하며, 검사항목들중 딥러닝검사를필요로하는딥러닝검사항목을선택한다. 딥러닝검사기는룰 베이스검사기로부터영상을전달받으며, 전달받은영상을이용해서룰 베이스검사기에의해선택된딥러닝검사항목에따라딥러닝검사를수행한후, 검사결과를룰 베이스검사기로전달한다.

3. 发明授权

KR102137539B1 배터리 외관 검사장치 有权
公开(公告)号：KR102137539B1
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：KR1020180081219
申请日：2018-07-12
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강성용 , 장석준 , 이진호
IPC分类号： G01N21/88 , H01M10/42

4. 发明授权

KR101886764B1 다중지수감소함수 형태의 실험데이터를 고속으로 분석하는 형광수명 측정장치 및 그 측정방법 有权
公开(公告)号：KR101886764B1
公开(公告)日：2018-08-08
申请号：KR1020170042007
申请日：2017-03-31
申请人： 연세대학교 산학협력단 , (주) 인텍플러스
发明人： 김덕영 , 황원상 , 김동은 , 강민구
IPC分类号： G01N21/64 , G02B21/00 , G02B21/08
CPC分类号： G01N21/6458 , G02B21/0076 , G02B21/082
摘要： 본발명의일 실시예에따른형광수명측정장치는조사광을발생시키는조사광발생부, 상기조사광으로형광분자를포함하는적어도하나이상의시료를조사하여생성되는형광광자를수집하는형광광자검출부, 상기형광광자를증폭시켜형광신호로변환하는변환부및 상기형광신호의함수를적분한값에시뮬레이션함수를곱한함수를이용해형광신호의함수의데이터를분석하는계측부를포함한다.

5. 发明公开

KR1020170037423A 핫 스탬핑 성형체의 검사장치 有权
标题翻译：热冲压成型品的检验装置
公开(公告)号：KR1020170037423A
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020150137028
申请日：2015-09-25
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강성용 , 장석준 , 김대훈
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/25 , G06T7/00
摘要： 본기재의핫 스탬핑성형체의검사장치는핫 스탬핑공정으로제작된성형체가탑재되고, 상기탑재된성형체를고정하는클램프가형성된플레이트와, 상기플레이트에탑재된성형체의수직상부에서상기성형체의상면으로수직조명을조사하는제1조명과, 상기성형체의일측상부에서상기성형체의상면으로경사진슬릿빔(slit beam)을조사하는제2조명및 상기제1조명과동축상에배치되어상기제1조명및/또는제2조명에서조사되고상기성형체에서반사된검사이미지를획득하는카메라로이루어진촬영유닛과, 상기촬영유닛에서획득한검사이미지를통해상기성형체의불량을검출하는판독부와, 선단에상기촬영유닛을고정하여상기촬영유닛을상기성형체의상부에서이송시키는이송부를포함한다.
摘要翻译：根据本发明的热冲压成形品的检查装置包括板，通过热冲压工艺制造的成形体被安装在板上并且夹紧模具被固定在板上，第二照明单元，其用于照射在所述成型体的一侧的上部处向所述成型体的上表面倾斜的狭缝光束;以及第二照明单元，其与所述第一照明单元同轴布置，以及照相机，用于获得由模制物体反射并以第二照明照射的测试图像;读取单元，用于通过由成像单元获取的测试图像来检测模制体的缺陷; 以及用于从成型体上方转移成像单元的转印单元。

6. 发明授权

KR101496992B1 어레이 기판 검사장치 및 검사방법 有权
标题翻译：用于阵列检测的装置和方法
公开(公告)号：KR101496992B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020130137036
申请日：2013-11-12
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 강민구 , 구자철 , 크리스찬로또 , 루돌프모스버거
IPC分类号： G01R31/28 , G02F1/13 , H01L51/50
摘要： 본 발명에서는 컬러필터 기판과의 합착 공정 전에 어레이 기판을 비접촉 방식으로 검사할 수 있는 어레이 기판 검사장치 및 검사방법이 개시된다.
본 발명에 따르면, 복수의 픽셀영역을 포함하는 어레이 기판을 검사하기 위한 것으로, 상기 어레이 기판의 상부에 상기 각각의 픽셀영역과 대응하도록 배치되고, 상기 어레이 기판과의 전압차로 인해 발생된 전기장을 통해 유도된 전하를 저장하는 복수의 금속전극들로 이루어진 금속전극 어레이와, 상기 어레이 기판과 금속전극 어레이에 전압을 인가하는 전압공급부와, 상기 각각의 금속전극에 저장된 전하량을 전압으로 변환하여 출력하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 출력된 전압값을 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 AD변환기와, 상기 AD변환기에서 출력된 디지털 신호를 기초로 검사 이미지를 만드는 이미지 생성수단을 포함한다.
摘要翻译：在本发明中，公开了一种用于检查阵列基板的装置和方法，该阵列基板在与滤色器基板的接合处理之前可以通过非接触方式检查阵列基板。根据本发明，用于检查包括多个像素区域的阵列基板的装置包括：金属电极阵列，设置在阵列基板的上部，以对应于每个像素区域，以存储通过由于与阵列基板的电压差而产生的电场; 电压供应单元，用于向阵列基板和金属电极阵列施加电压; 将存储在每个金属电极中的电荷转换成电压并输出电压的转换器; 用于接收从转换器输出的电压的AD转换器将电压转换成数字信号并输出数字信号; 以及图像生成装置，用于基于从AD转换器输出的数字信号生成检查图像。

7. 发明授权

KR101436573B1 기판 검사장치 有权
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR101436573B1
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020120126805
申请日：2012-11-09
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 이현민 , 이상윤
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30
摘要： 본 발명은 트레이에 기판을 수납한 상태에서, 관측영역(FOV)별로 초점을 조절한 뒤 비전검사가 이루어지도록 하는 기판 검사장치에 관한 것으로, 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판의 영상을 획득하는 촬영유닛과, 상기 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판과의 거리를 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 통해 측정된 상기 기판의 거리 정보를 기초로, 상기 촬영유닛의 초점을 조절하는 초점 조절부를 포함한다.

8. 发明授权

KR101434637B1 자동광학 검사장치 有权
标题翻译：自动光学检测系统
公开(公告)号：KR101434637B1
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020120078932
申请日：2012-07-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 고민성 , 강민구 , 이상윤 , 이현민
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/00
摘要： 본 발명은 검사가 진행되는 과정에서 중첩되는 이미지 프레임에 각기 다른 조명을 조사하여 검출력을 높여줌에 따라 검사성이 확보된 자동광학 검사장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 검사대상물이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지에 탑재된 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛과, 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛과, 상기 촬영유닛과 상기 검사대상물의 상대위치가 변경되도록 상기 스테이지 또는 촬영유닛을 직선이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 이동유닛의 이동속도는 상기 촬영유닛에서 획득한 N번째 영상과 N+1번째 영상의 일부가 상호 중첩될 수 있도록 설정된다.

9. 发明授权

KR101415187B1 오토 포커싱 장치 有权
标题翻译：自动对焦装置
公开(公告)号：KR101415187B1
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020120129025
申请日：2012-11-14
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 구자철 , 송기오 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G03B13/36 , G01N21/00
摘要： 본 발명은 튜너블 유체렌즈를 이용하여 피검사물과의 최적의 초점거리를 파악하고 정밀한 초점 조절이 이루어짐에 따라 검사장치가 피검사물의 결함을 보다 명확하게 인식할 수 있도록 하는 오토 포커싱 장치에 관한 것으로, 검사용 카메라의 자동초점조절을 위해 검사장치에 장착되며, 피검사물에 조명을 출력하는 광원과, 상기 조명에 의해 반사된 피검사물의 이미지를 획득하는 제1 카메라와, 상기 제1 카메라와 피검사물 사이에 배치되는 튜너블 유체렌즈와, 상기 튜너블 유체렌즈에 가해지는 전류값을 조절하여, 튜너블 유체렌즈의 초점거리를 가변하는 제어부와, 상기 튜너블 유체렌즈의 가변 초점거리에 따른 피검사물의 이미지를 분석하여 최적의 초점거리를 산출하는 분석부와, 상기 분석부의 산출 결과에 대응하여 검사용 카메라와 피검사물 사이 간격을 조절하는 거리조절부를 포함한다.

10. 发明授权

KR101410038B1 유리기판 절단장치 有权
标题翻译：玻璃切割机
公开(公告)号：KR101410038B1
公开(公告)日：2014-06-20
申请号：KR1020120016112
申请日：2012-02-17
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 고승규 , 장영배
IPC分类号： C03B33/02 , C03B33/03
摘要： 유리기판을 절단하는 과정에서 이물질 제거 효율이 향상될 수 있게 한 유리기판 절단장치가 개시된다. 이를 위한, 유리기판 절단장치는 절단공구로부터 일정거리 이격되도록 절단공구의 주변을 따라 배치되어 유리기판을 향하여 유체를 분사시키도록 형성된 분사유닛과, 상기 분사유닛과 절단공구 사이의 공간과 연통되도록 형성되어 유리기판 상의 이물질이 상기 분사유닛으로부터 분사된 유체와 함께 배출되게 하는 배출유닛을 포함한다.

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