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    • 1. 发明专利
    • トレース方法
    • JP2022000926A
    • 2022-01-04
    • JP2021164432
    • 2021-10-06
    • 株式会社FUJI
    • 小谷 一也小野 恵市鈴木 幹也
    • H05K13/08
    • 【課題】対基板作業機の生産処理を対象としたトレーサビリティを向上できるトレース方法を提供することを目的とする。 【解決手段】トレース方法は、基板製品の生産処理を実行するステップと、前記基板製品の前記生産処理において実行された画像処理の結果が正常であるか否かを判定するステップと、前記画像処理の結果が正常と判定される許容範囲にある場合に、前記画像処理の結果の信頼性を示す適合条件を前記画像処理が満たすか否かを判定するステップと、前記適合条件を前記画像処理が満たすか否かの判定結果に応じて前記画像処理に用いられた画像データをトレーサビリティ情報として記録するステップと、前記画像処理の結果が正常であると判定した場合にエラー処理を実行せず、前記画像処理の結果が正常でないと判定した場合に前記画像処理の結果に応じたエラー処理を実行するステップと、を備える。 【選択図】図1
    • 8. 发明专利
    • 吸着装置の状態判定装置
    • JP2021176169A
    • 2021-11-04
    • JP2020081342
    • 2020-05-01
    • 株式会社FUJI
    • 寺岡 聖一
    • H05K13/02H05K13/08H01L21/67
    • 【課題】吸着装置の状態をより正確に判定する。 【解決手段】状態判定装置は、複数のダイに分割されると共に裏面がシートに貼着されたウエハからダイを吸着するに際して、吸着対象ダイの上方においてノズルが下降するようヘッドを制御するノズル下降制御と、ピンで吸着対象ダイがシートの裏側から突き上げられるよう剥離装置を制御するピン突き上げ制御と、ノズルが上昇するようヘッドを制御するノズル上昇制御とを順次実行する吸着装置の状態を判定する。状態判定装置は、ノズルへの負圧供給状態を検知する負圧供給状態検知センサを備え、ピン突き上げ制御を実行した直後に負圧供給状態検知センサにより検出された負圧供給状態の数値と、ノズル上昇制御を実行している最中に負圧供給状態検知センサにより検知された負圧供給状態の数値との組み合わせを、複数の所定範囲ごとに集計する。 【選択図】図5