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    • 2. 发明专利
    • 光架橋剤による電極印刷用親撥パターン形成方法
    • 使用光交换剂进行电极印刷的水解和疏水性不同的图案形成方法
    • JP2016114716A
    • 2016-06-23
    • JP2014252280
    • 2014-12-12
    • 国立研究開発法人産業技術総合研究所
    • 徳久 英雄
    • G03F7/012G03F7/09H01L21/027G03F7/038
    • 【課題】フォトレジストを用いたフォトリソグラフィー法による場合に比べ少ない工程で導電性パターン膜を形成する際に有用な親撥パターン形成方法を提供する。さらに、フレキシブル基材のように歪みやすい基材であっても、歪み補正を行うことができる親撥パターン形成方法を提供する。 【解決手段】疎水性表面に形成した光架橋剤膜に対し波長300〜400nmの光を所定パターンで照射し、照射後表面を洗浄することにより表面に親水性部と疎水性部を有する親撥パターンを形成することを特徴とする。さらに、照射する光が直描レーザであることを付加的な特徴とする。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:相对于使用光致抗蚀剂的光刻方法,提供使用亲水性和疏水性差异的图案形成方法,其在形成具有较少数量步骤的导电图案时是有用的,此外, 使用差异的亲水性和疏水性能,即使当基底容易变形时,如柔性基底也能够校正应变的差异。溶液:将波长为300-400nm的光照射到形成在疏水性表面上的光交联膜上, 然后在辐射之后,洗涤表面以形成在表面上包含亲水部分和疏水部分的亲水/疏水图案。 此外,辐射光是直接拉丝激光。选择图:图1