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2. 发明专利

JP2021014995A 熱式流量計审中-公开
公开(公告)号：JP2021014995A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：JP2019128212
申请日：2019-07-10
申请人：アズビル株式会社
发明人：池信一
IPC分类号： G01F1/692 , G01F1/684
摘要：【課題】センサの感度とセンサの耐腐食性とが両立する熱式流量計を提供する。【解決手段】被測定用の流体が流れる測定管3を備える。温度を検出する温度検出部12を有し、温度検出部12によって流体の温度が検出されるように測定管3に取付けられた流量検出用のセンサ5とを備える。センサ5の少なくとも温度検出部12はバリア膜21(耐食性を有する膜)で覆われている。【選択図】図3

4. 发明专利

JP2020067375A 接触検出装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020067375A
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：JP2018200253
申请日：2018-10-24
申请人：株式会社三重ロボット外装技術研究所 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：森大介 , 中坊嘉宏 , 黒瀬竜一
IPC分类号： G01F1/692 , G01L5/00
摘要：【課題】容積構成体の物理的変化量を検出するセンサが物理的変化量の検出誤差を少なくでき、かつ、センサの応答性を良くすること。【解決手段】特定の形成された基材1と、基材1を被覆する発泡合成樹脂材料または発泡ゴム材料を特定の複数の平面形状に形成してなる発泡体10と、基材1及び/または発泡体10から空気が外気に漏れ難くし、対向する基材1と発泡体10に形成された所定の容積構成体4と、容積構成体4に加えられた外部からの押圧力の変化を、容積構成体4で形成した物理的変化量として検出するセンサSENとを具備し、基材1及び/または発泡体10に形成された所定の容積構成体4は、何れも均一な体積とし、センサSENを割り当てて異常を判断すること。【選択図】図7

6. 发明专利

JP2019203695A 流量センサおよびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019203695A
公开(公告)日：2019-11-28
申请号：JP2018096787
申请日：2018-05-21
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：佐久間憲之 , 小野瀬保夫 , 中野洋 , 太田和宏
IPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】長期間にわたって流量センサの性能を維持する。【解決手段】流量センサは、薄膜部12と、薄膜部12よりも厚さの厚い厚板部と、気体の流れるx方向と交差するy方向に延在し、かつ、平面視において薄膜部12と厚板部との境界線となる辺S1とを備える。ここで、流量センサは、薄膜部12に形成された補助ヒータ15a、薄膜部に形成された部位16aと、厚板部に形成され、かつ、部位16aと一体化した部位16bとを有する伝熱部16とを有する。そして、辺S1は、平面視において伝熱部16で覆われる被覆部分と、平面視において伝熱部16から露出する露出部分とを有する。【選択図】図5

7. 发明专利

JP2019196936A 熱式センサ装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019196936A
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018089880
申请日：2018-05-08
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：中野洋 , 佐久間憲之 , 松本昌大 , 小野瀬保夫 , 太田和宏
IPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】本発明の目的は、高温環境下において、発熱体に加わるストレスを低減し、薄膜部の反りを抑制することができる熱式センサ装置を提供することにある。【解決手段】基板2に形成した空洞部3を絶縁膜で覆った薄膜部4と、薄膜部4に形成した発熱体5と、を備えた熱式センサ装置において、薄膜部4における絶縁膜11a,12a,11b,11cに部分的に圧縮性を強めた圧縮性領域Bが設けられ、圧縮性領域Bに発熱体5が配置される。【選択図】図4A

8. 发明专利

JP2019138780A 熱型フローセンサ审中-公开
公开(公告)号：JP2019138780A
公开(公告)日：2019-08-22
申请号：JP2018022614
申请日：2018-02-10
申请人：木村光照
发明人：木村光照
IPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】被測定流体の流れの計測で、ヒータ25がある薄膜10に、高感度で高精度となる小型で単純構造の2つの温度センサを配した熱型フローセンサチップとこれを搭載する小型で安価な熱型フローセンサの提供と、被測定流体の流れ方向と種類も特定できるようにする。【解決手段】基板1から空洞40により熱分離される半導体薄膜を架橋構造にし、薄膜10の中央部にヒータを配し、ヒータを挟んで流れの方向の両側に、熱抵抗部45を介して、対称な位置に薄膜領域Aと薄膜領域Bと、これらにそれぞれ第1の熱電対20Aと第2の熱電対20Bと、それぞれの温接点81Aと温接点81Bを形成し、ヒータで加熱される構造とし、直列接続をして温度差信号を外部に二端子として取り出す。出力電圧の正負から流れ方向を特定。温度可変手段250を備えてヒータの温度を変化させ、各種熱伝導率の流体に関する予め用意してあるデータと比較して流体の種類を特定する。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2019124624A センサ構造およびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019124624A
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：JP2018006389
申请日：2018-01-18
申请人：アズビル株式会社
发明人：図師信彦
IPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】センサの出力を不安定にすることなくセンサの検出部を耐食性材料で覆う。【解決手段】基板101の上のセンサの検出部となる配線構造に対応する箇所に、溝部102を形成し、溝部102が形成された基板101の表面に、配線構造を形成するための金属から構成された金属膜103を形成して溝部102を埋め込み、金属膜103を溝部102の内部に形成された部分を残して基板101の表面が露出するまで削除し、溝部102に充填された金属膜による配線構造104を形成した後に蓋部105を貼り付けて配線構造を封止する。【選択図】図1F

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