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    • 9. 发明专利
    • 半導体装置の製造方法及び製造装置
    • 的方法和用于制造半导体设备的装置
    • JP2017028187A
    • 2017-02-02
    • JP2015147403
    • 2015-07-27
    • 岩津 春生
    • 岩津 春生
    • C25D7/12C25D21/12C25D5/02C25D17/00C25D5/08H01L21/288
    • 【課題】半導体装置を効率よく製造する。 【解決手段】半導体装置の製造装置1は、処理液を貯留する処理液槽10〜14と、処理液槽10〜14に接続され、基板100に処理液を供給する配管20と、処理液槽10〜14から配管20を介して基板100に処理液を供給する処理液供給部21と、を有する。製造装置1では、基板100に供給された処理液と、処理液槽10〜14に貯留された処理液とを配管20で接続した状態で、当該処理液を用いて所定処理を行う。 【選択図】図1
    • 本发明涉及一种有效地制造半导体装置。 的半导体器件的制造装置1包括处理液罐10〜14,用于存储的处理液,被连接到处理液罐10〜14,管20用于供给的处理液向晶片100中,处理液罐 具有处理液供给单元21,用于通过管道20供给的10至14的处理溶液到晶片100。 在制造装置1中,和供给到基板100中的处理液,并存储在处理液罐10〜14的处理液,而它是由配管20连接,它执行使用所述处理溶液中的预定处理。 1点域