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    • 4. 发明专利
    • 下地剤、及び相分離構造を含む構造体の製造方法
    • 包含相分离结构的基板代理和制造方法
    • JP2016108436A
    • 2016-06-20
    • JP2014246812
    • 2014-12-05
    • 東京応化工業株式会社
    • 矢萩 真人前橋 貴哉川上 晃也鈴木 一生松宮 祐黒澤 剛志山野 仁詩
    • H01L21/027C08F12/04C08F8/00C09D5/00C09D125/04
    • 【課題】ブロックコポリマーの相分離性能が高められ、簡便に用いることができる下地剤、及びこれを用いた相分離構造を含む構造体の製造方法を提供する。 【解決手段】基板上に形成した、複数種類のブロックが結合したブロックコポリマーを含む層を相分離させるために用いられる下地剤であって、樹脂成分を含有し、該樹脂成分は、式(u1−1)で表される置換基を有するポリスチレン誘導体である下地剤。 [RはH、C1〜5のアルキル基又はC1〜5のハロゲン化アルキル基;R 1 はハロゲン原子、又はO、ハロゲン原子或いはケイ素原子を含んでいてもよいC1〜20の直鎖状、分岐鎖状、環状或いはこれらの組み合わせによる炭化水素基;pは1〜5の整数] 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种提高嵌段共聚物的相分离性能并能够简单使用的底物,以及含有使用其的相分离结构的结构体的制造方法。溶液:提供了用于 包含嵌段共聚物的层的相分离,其中在基材上形成的几种嵌段结合,其含有具有由式(u1-1)表示的取代基的聚苯乙烯衍生物的树脂组分。 (u1-1),其中R是H,C1至5的烷基或C1至5的卤代烷基,R是卤素原子或O,C1至20的直链,支链,环状或组合的烃基,其可以含有 卤素原子或硅原子,p为1〜5的整数。选择图示:无