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1. 发明专利

KR102223354B1 KR102223354B1 - Flow control valve and flow control system using same 有权
公开(公告)号：KR102223354B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020140111547A
申请日：2014-08-26
申请人： 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤
发明人： 키미히토 사사오
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/302
CPC分类号： G05D7/012 , Y10T137/7791 , Y10T137/87981
摘要： [과제] 유체의 청정도를 보다 높은 상태에서 일정 유량을 유지하고, 게다가 유체 유량 영역의 설정 변경을 가능하게 하는 유량 제어 밸브와, 유량 제어 장치를 제공한다.
[해결 수단] 차압부(15)와 밸브시트(16)를 갖는 밸브 본체부(11)와, 제 1 및 제 2 챔버(21, 22)로 구획하는 제 1 다이아프램(30)과, 제 3 및 제 4 챔버(26, 27)로 구획하고 밸브체(38)를 구비한 제 2 다이아프램(35)과, 제 1 다이아프램(30)과 함께 진퇴 이동하는 제 1 가동부(40)와, 제 2 다이아프램(35)과 함께 진퇴 이동하는 제 2 가동부(50)를 갖고, 제 2 챔버(22)와 제 4 챔버(27) 사이에 접속 챔버(70)를 형성하고, 제 1 및 제 2 가동부(40, 50)의 변동을 서로 전달하는 중간 전달 부재(80)를 배치하고, 차압부(15) 전후의 압력 변동에 의해 밸브체(38)를 밸브시트(16)에 대하여 진퇴 이동시켜 피제어 유체의 유량을 일정하게 유지하도록 하고, 차압 개구부에 대하여 진퇴하는 차압 제어 밸브체와, 차압 제어 밸브체를 진퇴 이동시키는 차압 제어 밸브체 진퇴 수단을 구비한다.

2. 发明专利

JP2008121705A Constant flow-rate valve 有权
标题翻译：恒定流量阀
公开(公告)号：JP2008121705A
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：JP2006302983
申请日：2006-11-08
申请人： Asahi Organic Chem Ind Co Ltd , 旭有機材工業株式会社
发明人： HANADA TOSHIHIRO , NASU YOSHIO
IPC分类号： F16K31/126 , F16K1/00
CPC分类号： G05D7/0133 , Y10T137/7791
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a constant flow-rate valve enabling to set a selective flow rate of flowing fluid while making a flow rate always constant even when fluid pressure on the upstream side and the downstream side of the valve is changed, with a high flow rate of fluid in particular. SOLUTION: The constant flow-rate valve comprises a body 1 having a valve seat 23 at the peripheral edge of a ceiling surface opening portion 22 provided in the ceiling surface of a cylinder portion, and a piston 34 having a valve element 36 and a collar portion 35 corresponding to the valve seat 23. The cylinder portion 24 is partitioned into a first valve chest 25 which is communicated with a first flow path 11 and a second valve chest 26 to which the valve seat 23 is exposed, with the collar portion 35. A clearance flow path 37 is formed in a clearance between the outer peripheral face of the collar portion and the inner peripheral face of the cylinder portion. A flow path area between the valve element 36 and the valve seat 23 is changed with the vertical movement of the piston 34 to control fluid pressure in the second valve chest 26. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种恒定的流量阀，其能够设定流动流体的选择流量，同时使流量始终保持恒定，即使阀的上游侧和下游侧的流体压力发生变化，特别是具有高流体流动性。解决方案：恒定流量阀包括主体1，主体1在设置在气缸部分的天花板表面中的天花板表面开口部分22的周缘处具有阀座23，以及具有阀元件36的活塞34 以及对应于阀座23的凸缘部分35.气缸部分24被分隔成与阀座23暴露的第一流路11和第二阀室26连通的第一阀体25，间隙流路37形成在套环部的外周面与筒部的内周面之间的间隙中。阀元件36和阀座23之间的流路区域随着活塞34的垂直运动而改变，以控制第二阀门26中的流体压力。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2015114966A 流量制御弁及びこれを用いた流量制御装置审中-公开
标题翻译：流量控制阀和流量控制器使用相同
公开(公告)号：JP2015114966A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：JP2013258182
申请日：2013-12-13
申请人：アドバンス電気工業株式会社
发明人：笹尾起美仁
IPC分类号： G05D7/01
CPC分类号： G05D7/0113 , Y10T137/776 , Y10T137/7791
摘要：【課題】流体の清浄度をより高い状態で一定流量を維持し、しかも流体流量域の設定変更可能とする流量制御弁と、流量制御装置を提供する。【解決手段】流量制御弁101は、本体流入部11と流入側チャンバ13と中間流出部12を備える流入側ブロック10と、中間流入部31と流出側チャンバ33と弁座37と本体流出部32を備える流出側ブロック30と、流入側ブロックと流出側ブロックを接続する接続ブロック50と、中間流出部と中間流入部を接続する接続流路70と、絞り部75と、常時一定圧力が加わる第1ダイヤフラム20と、弁座に対し進退動する弁体47を備えた第2ダイヤフラム40を備え、接続ブロックは接続チャンバを有しダイヤフラムの変動を他に伝達する伝達部材55を収容し、絞り部の前後の圧力変動による両ダイヤフラムの進退動により弁体を弁座に対し進退動させて被制御流体の流量を一定に保持する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流量控制阀和流量控制器，其能够在流体的清洁度高的同时保持恒定的流量，并且改变流体流量范围的设定。解决方案：流量控制阀101 包括：具有主体流入部11，流入侧室13和中间流出部12的流入侧块10; 具有中间流入部31，流出侧室33，阀座37以及主体流出部32的流出侧块30，用于将流入侧块连接到流出侧块的连接块50; 用于将中间流出部分连接到中间流入部分的连接流路70; 孔部75; 始终施加恒定压力的第一隔膜20; 以及具有用于相对于阀座前进和后退的阀体47的第二隔膜40。连接块具有连接室，并且存储用于将一个隔膜的变化传递到另一个的传输构件55。由于孔部前后的压力变化引起的两个膜片的前进和后退运动使得阀体相对于阀座前进和后退，从而保持流体的流量被控制在一定范围内。

4. 发明专利

JP2015076055A 流量制御弁及びこれを用いた流量制御装置有权
标题翻译：流量控制阀和流量控制装置使用它
公开(公告)号：JP2015076055A
公开(公告)日：2015-04-20
申请号：JP2013213919
申请日：2013-10-11
申请人：アドバンス電気工業株式会社
发明人：笹尾起美仁
IPC分类号： F16K17/22 , F16K7/17 , F16K31/126 , F16K31/04 , G05D7/01
CPC分类号： G05D7/012 , Y10T137/7791 , Y10T137/87981
摘要：【課題】流体の清浄度をより高い状態で一定流量を維持し、しかも流体流量域の設定変更可能とする流量制御弁と、流量制御装置を提供する。【解決手段】絞り部15と弁座16を有する弁本体部11と、第1及び第2チャンバ21,22に区画する第1ダイヤフラム30と、第3及び第4チャンバ26,27に区画し弁体38を備えた第2ダイヤフラム35と、第1ダイヤフラム30とともに進退動する第1可動部40と、第2ダイヤフラム35とともに進退動する第2可動部50とを有し、第2チャンバ22と第4チャンバ27との間に接続チャンバ70を形成し、第1及び第2可動部40,50の変動を互いに伝達する中間伝達部材80を配置し、絞り部15前後の圧力変動によって弁体38を弁座16に対し進退動させて被制御流体の流量を一定に保持するようにし、絞り開口部に対し進退する絞り制御弁体と、絞り制御弁体を進退動させる絞り制御弁体進退手段を備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流量控制阀和流量控制装置，其保持流体在高清洁度下的恒定流速并允许流体流动范围的设定变化。解决方案：流量控制阀包括阀体包括节流部分15和阀座16的部分11，限定第一和第二室21和22的第一隔膜30，限定第三和第四室26和27并包括阀体38的第二隔膜35，第一可移动部分 40与第一隔膜30一起前后移动，第二可动部50与第二隔膜35一起前后移动。连接室70形成在第二室22和第四室27之间，中间传动设置将第一和第二可移动部分40和50彼此移动的构件80。阀体38通过在节流部15之前和之后的压力变化相对于阀座16前后移动，以保持控制对象流体的恒定流量。提供了一种相对于节流孔向前后移动的节气门控制阀体，并且设有用于使节气门调节阀体前后移动的节气门调节阀体前后移动机构。

6. 发明专利

JPS595772B2 JPS595772B2 - 失效
公开(公告)号：JPS595772B2
公开(公告)日：1984-02-07
申请号：JP67879
申请日：1979-01-10
申请人： Hitachi Ltd
发明人： YAMADA KOICHIRO
IPC分类号： F02B37/12 , F02B37/18
CPC分类号： F02B37/186 , Y02T10/144 , Y10T137/7791

7. 发明专利

JP6254815B2 流量制御弁及びこれを用いた流量制御装置有权
公开(公告)号：JP6254815B2
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：JP2013213919
申请日：2013-10-11
申请人：アドバンス電気工業株式会社
发明人：笹尾　起美仁 , 起美仁笹尾
IPC分类号： G05D7/01 , F16K7/17 , F16K17/22 , F16K31/04 , F16K31/126
CPC分类号： G05D7/012 , Y10T137/7791 , Y10T137/87981

8. 发明专利

JP5726907B2 マイクロメカニック受動的フローレギュレータ有权
标题翻译：微机械被动流量调节器
公开(公告)号：JP5726907B2
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：JP2012552504
申请日：2011-02-07
申请人：デバイオテック・ソシエテ・アノニム
发明人：エリック・シャペル
IPC分类号： A61M37/00 , F16K7/17 , A61M5/168
CPC分类号： A61M5/16881 , A61M5/145 , A61M5/16813 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0057 , G05D7/0635 , G05D7/0694 , A61M2039/2413 , A61M2205/0244 , A61M27/006 , A61M5/14276 , F16K2099/008 , F16K2099/0088 , Y10T137/7791 , Y10T137/86734

9. 发明专利

JP5004553B2 Constant flow valve 有权
公开(公告)号：JP5004553B2
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：JP2006302983
申请日：2006-11-08
申请人：旭有機材工業株式会社
发明人：敏広花田 , 圭央那須
IPC分类号： F16K31/126 , F16K1/00
CPC分类号： G05D7/0133 , Y10T137/7791

10. 发明专利

JP2003502772A Stable gas flow control device 有权
公开(公告)号：JP2003502772A
公开(公告)日：2003-01-21
申请号：JP2001505259
申请日：2000-06-21
申请人：アエロクライン・アクチボラゲット
发明人：ヤン・デ・レーウ
IPC分类号： F16K17/04 , A61B5/08 , A61B5/083 , A61B5/087 , G05D7/01 , G05D16/06
CPC分类号： G05D7/0106 , Y10T137/7791 , Y10T137/7834
摘要： (57)【要約】本発明は安定ガスフロー制御装置に関し、この装置は、入口チャンバ（２）と、出口チャンバ（３）と、入口および出口チャンバの境界を互いに定める可動壁（４）とを備え、可動壁がこれらのチャンバ間における連通を可能にする開口部（１０）を有する。細長い部材（１１）が可動壁の開口部の中央において移動方向に延び、可動壁の開口部が第１位置において細長い部材の第１端部に隣接して配置され、細長い部材が第１位置から第２位置に向かって徐徐に増大する断面の大きさを有し、可動壁の開口部の大きさが細長い部材の断面の大きさよりも大きい。可動壁を第１位置に向かって付勢するための螺旋ばね（１２）が設けられ、可動壁に固定され、細長い部材の一部を包囲する開口部を含む本体部（５）が、可動壁の移動方向を規定する細長いガイド部材（６）と滑動可能に接続される。

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