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    • 9. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2016154257A
    • 2016-08-25
    • JP2016085903
    • 2016-04-22
    • 株式会社半導体エネルギー研究所
    • 山崎 舜平
    • H01L21/28H01L29/786
    • H01L29/7869H01L21/02554H01L21/02565H01L21/02631H01L29/04H01L29/045H01L29/2206H01L29/221H01L29/24H01L29/263H01L29/42356H01L29/45H01L29/4908H01L29/66969H01L29/78693H01L29/78696
    • 【課題】新たな構造の酸化物半導体層を用いた新たな構造の半導体装置を提供することを 目的の一とする。 【解決手段】絶縁表面を有する基板上の、第1の酸化物半導体層の表面から内部に向かっ て成長させた結晶領域を有する第1の酸化物半導体層と、第1の酸化物半導体層上の第2 の酸化物半導体層と、第2の酸化物半導体層と接するソース電極層およびドレイン電極層 と、第2の酸化物半導体層、ソース電極層、およびドレイン電極層を覆うゲート絶縁層と 、ゲート絶縁層上の、第2の酸化物半導体層と重畳する領域のゲート電極層と、を有し、 第2の酸化物半導体層は、結晶領域から成長させた結晶を有する層である半導体装置であ る。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种使用具有新结构的氧化物半导体层的新型结构的半导体器件。解决方案:半导体器件具有:第一氧化物半导体层,其形成在具有绝缘表面的基板上,并具有 从第一半导体层的表面向内部生长的结晶区域; 在所述第一氧化物半导体层上的第二氧化物半导体层; 与第二氧化物半导体层接触的源电极层和漏电极层; 覆盖第二氧化物半导体层,源极电极层和漏极电极层的栅极绝缘层; 以及在与第二氧化物半导体层重叠的区域中的栅极绝缘层上的栅极电极层,其中第二氧化物半导体层是具有从结晶区域生长的晶体的层。图1