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1. 发明专利

KR20210030283A KR20210030283A - Apparatus and method for calibrating or resetting charge detector 审中-公开
公开(公告)号：KR20210030283A
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：KR1020207037667A
申请日：2019-06-04
申请人： 더 트러스티즈 오브 인디애나 유니버시티
发明人： 마틴 에프. 제롤드 , 앤드류 더블유. 알렉산더 , 아론 알. 토드
IPC分类号： H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/027 , H01J49/4245
摘要： CDMS는, 전하 검출 실린더(CD)를 구비하는 ELIT, 고주파 전하(HFC)를 생성하기 위한 전하 생성기, CD에 커플링되는 입력 및 CD 상에서 유도되는 전하에 응답하여 전하 검출 신호(CHD)를 생성하도록 구성되는 출력을 구비하는 전하 감지 전치 증폭기(CP), 및 (a) CD 상에서 HFC를 유도하게끔 전하 생성기를 제어하도록, (b) 가두어진 이온으로 하여금, 매번 CD 상에서 전하를 유도하면서, CD를 통해 왔다갔다 발진하게끔 상기 ELIT의 동작을 제어하도록, 그리고 (c) (i) 이득 계수를, CD 상에서 유도되는 HFC의 함수로서 결정하게끔, 그리고 (ii) CD를 통과하는 가두어진 이온에 의해 CD 상에서 유도되는 전하로부터 유래하는 CHD의 부분의 크기를, 이득 계수의 함수로서, 수정하게끔 CHD를 프로세싱하도록 구성되는 프로세서를 포함할 수도 있다.

2. 发明专利

JP2008507108A Mass spectrometer 审中-公开
公开(公告)号：JP2008507108A
公开(公告)日：2008-03-06
申请号：JP2007522027
申请日：2005-07-21
申请人：マイクロマスユーケーリミテッド
发明人：グリーン、マーティン , ブラウン、ジェフリー , ベイトマン、ロバート、ハロルド
IPC分类号： H01J49/42 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/062 , H01J49/027 , H01J49/422 , H01J49/4245
摘要：セグメント化リニアオンガイド又はイオントラップを備える質量分析計を開示する。イオンは、イオンガイド又はイオントラップを形成する電極にＡＣ又はＲＦ電圧を印加することによって、イオンガイド又はイオントラップ内に半径方向に閉じ込められる。イオンガイド又はイオントラップ内でトラップされたイオンに単調和運動を行わせるために、二次ＤＣポテンシャルがイオンガイド又はイオントラップの軸方向長さに沿って印加される。イオンの振動周波数は１つ以上の誘導検出器を使用して検出される。次いで、イオンの質量電荷比は、決定された振動周波数から決定され得る。

3. 发明专利

JP2005079037A Mass spectrometer 有权
标题翻译：质谱仪
公开(公告)号：JP2005079037A
公开(公告)日：2005-03-24
申请号：JP2003310966
申请日：2003-09-03
申请人： Shimadzu Corp , 株式会社島津製作所
发明人： YAMAGUCHI SHINICHI , ISHIHARA MORIO , TOYODA MICHISATO , OKUMURA DAISUKE
IPC分类号： G01N27/62 , B01D59/44 , G01N27/64 , H01J49/00 , H01J49/40
CPC分类号： H01J49/408 , H01J49/027
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve mass accuracy of a mass spectrometer having a go-around track.
SOLUTION: A detector 5 of an ion-nondestructive type is set on a go-around track A of ion, times of flight are measured for each round until the ion as an object for analysis goes around for N times, and time-of-flight spectra are made where a peak at each going around shows itself. Alternatively, a time of flight for each going around is measured according to detection signals by an ion-nondestructive detector 4 by changing the number of times of going around for each ion irradiation from an ion source for 1 to N rounds, and the time-of-flight spectra showing a peak at each round are made by combining it. A data processing unit 7 converts the spectrum data into a wavelength axis by Fourier transformation, and finds out peaks of frequencies corresponding to the number of mass to calculate the number of the mass from the frequencies.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提高具有复原轨迹的质谱仪的质量精度。解决方案：将离子非破坏型的检测器5设置在离子的复原轨道A上，每个轮次测量飞行时间，直到作为分析对象的离子环绕N次，并且时间在每个周围的峰值显示自身的情况下进行飞行光谱。或者，根据通过离子无损检测器4的检测信号，通过将离子源的每次离子照射的次数改变为1〜N次来测量每个周围的飞行时间，通过组合来显示每个轮次的峰值的飞行光谱。数据处理单元7通过傅立叶变换将频谱数据转换为波长轴，并且找出与质量数相对应的频率的峰值，以从频率计算质量数。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

4. 发明专利

JP6429492B2 イオンの質量選択判定装置审中-公开
公开(公告)号：JP6429492B2
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：JP2014100369
申请日：2014-05-14
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：アルブレヒトグラスマッヒャーズ , ミヒャエルアリマン
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/252 , H01J49/42
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J49/022 , H01J49/027 , H01J49/424 , H01J2237/028 , H01J2237/057

5. 发明专利

JP2015510683A 基板の面処理のための装置及び方法审中-公开
标题翻译：装置和方法的基底的表面处理
公开(公告)号：JP2015510683A
公开(公告)日：2015-04-09
申请号：JP2014551582
申请日：2013-01-07
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー , カールツァイスマイクロスコーピーゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH , カールツァイスマイクロスコーピーゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH
发明人：ヒンイウアンソニーチュン , ヒンイウアンソニーチュン , ミヒェルアリマン , ミヒェルアリマン , ゲンナジーフェドセンコ , ゲンナジーフェドセンコ , アルブレヒトランク , アルブレヒトランク , レオニートゴルコヴェル , レオニートゴルコヴェル
IPC分类号： H01L21/31 , C23C14/52 , C23C16/52 , H01J49/26 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
摘要：本発明は、基板(2)上の面処理のための例えば基板(2)にコーティング(14)を付加するか又は基板(2)からコーティング(14)を除去するための装置(1)に関し、装置は、内部(4)を封入し、面処理に向けて基板(2)を配置するように機能するチャンバ(5)と、内部(4)内に形成された残留ガス雰囲気の少なくとも1つのガス成分を検出するために、検出されるガス成分を格納するためのイオントラップ(18)を含む処理ガス分析器(13a,13b)と、ガス成分をイオン化するためのイオン化デバイス(17)とを含む。本発明は、基板(2)上の面処理をモニタするための関連の方法にも関する。【選択図】図1
摘要翻译：本发明涉及一种用于从移除或加入底物的涂层的衬底器件（14），例如，适用于（2）（2）的涂层表面处理的基板（2）（14）（1），装置中，内部（4）封闭腔室（5），其用于将衬底（2）朝向所述表面处理位置，形成在所述残余气体环境中的内部（4）的至少一种气体检测部件，包括处理气体分析仪（13A，13B）包括用于存储所述气体成分的离子阱（18），要被检测和，用于电离气体成分的电离装置（17）。本发明还涉及一种用于在衬底（2）上监视所述表面处理的相关方法。点域1

6. 发明专利

JP2014501439A Improved electrostatic trap mass spectrometer of ion implantation 有权
公开(公告)号：JP2014501439A
公开(公告)日：2014-01-20
申请号：JP2013547668
申请日：2011-12-29
申请人：レココーポレイションLeco Corporation
发明人：フェレンチコフ，アナトリー
IPC分类号： H01J49/04 , H01J49/02
CPC分类号： H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/06 , H01J49/406 , H01J49/4205 , H01J49/4245 , H01J49/4255
摘要：分析静電トラップ（１４）での質量スペクトル分析の方法が開示されている。静電トラップ（１４）は、静電界体積を画定していて、静的で傾斜化されていない電位を有するトラップ電極を含んでいる。本方法は、連続イオンビームを静電界体積の中へ注入する段階を備えている。
【選択図】図１

7. 发明专利

KR20210035103A KR20210035103A - Charge detection mass spectrometry through real-time analysis and signal optimization 审中-公开
公开(公告)号：KR20210035103A
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：KR1020207038036A
申请日：2019-01-11
申请人： 더 트러스티즈 오브 인디애나 유니버시티
发明人： 마틴 에프 재롤드 , 벤자민 이 드레이퍼
IPC分类号： H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/4245 , H01J49/027
摘要： 전하 검출 질량 분광분석계는, 정전기 선형 이온 트랩(ELIT) 또는 오르비트랩, ELIT 또는 오르비트랩으로 이온을 공급하기 위한 이온 소스, ELIT 또는 오르비트랩에 동작 가능하게 커플링되는 적어도 하나의 증폭기, ELIT 또는 오르비트랩에 그리고 증폭기(들)에 커플링되는 프로세서, 및 이온 소스에 의해 공급되는 단일의 이온을 내부에 가두려고 시도하는 트래핑 이벤트의 일부로서 ELIT 또는 오르비트랩을 제어하도록, 트래핑 이벤트의 지속 기간에 걸쳐 증폭기(들)에 의해 생성되는 출력 신호에 기초하여 이온 측정 정보를 기록하도록, 측정 정보에 기초하여, ELIT 또는 오르비트랩의 제어가 단일의 이온을 가두는 것으로 귀결되었는지, 어떠한 이온도 가두지 않는 것으로 귀결되었는지 또는 다수의 이온을 가두는 것으로 귀결되었는지의 여부를 결정하도록, 그리고 트래핑 이벤트 동안 단일의 이온이 가두어지는 경우에만 측정 정보로부터 이온 질량 또는 질량 대 전하 비율을 계산하도록 프로그래밍되는 프로세서를 포함할 수도 있다.

8. 发明专利

JP2018518019A 質量分析によりガスを検査するための方法および質量分析計审中-公开
公开(公告)号：JP2018518019A
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：JP2017557937
申请日：2016-03-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：アリマンミヒェル , ラウエアレクサンダー , チュンヒンイウアントニー , フェドセンコゲンナジー , ロイターリュディガー , ゴークホーヴァーレオニート , アントーニマルティン , ゴルスアンドレアス , デルプマンヴァーレリー
IPC分类号： H01J49/26 , G01N27/62 , H01J49/38
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/425 , H01J49/426 , H01J49/427 , H01J49/4295
摘要：本発明は、質量分析によってガス(4)を検査するための方法に関し、この方法は、イオン(4a、4b)を生成するためにガス(4)をイオン化するステップと、FTイオントラップ(2)において生成されたイオン(4a、4b)のうちの少なくとも一部を貯蔵し、励振し、検出するステップとを含む。この方法において、FTイオントラップ(2)においてイオン(4a、4b)を生成し貯蔵するステップおよび/またはFTイオントラップ(2)中のイオン(4a、4b)の検出の前にイオン(4a、4b)を励振するステップは、イオン(4a、4b)の質量電荷比(m/z)に依存する少なくとも1つの選択IFT励振、特に、SWIFT励振(10)を含む。本発明は、さらに、質量分析計(1)に関する。

10. 发明专利

JP2014501429A Ion detection 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2014501429A
公开(公告)日：2014-01-20
申请号：JP2013543768
申请日：2011-12-14
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー
发明人：アレクサンダーアレクセエビッチマカロフ
IPC分类号： H01J49/42 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/282 , H01J49/027 , H01J49/08 , H01J49/38 , H01J49/4245
摘要：質量分析計と、質量分析計のためのイオン検出方法とが提供される。静電界発生器は、ある方向にイオンパケットを振動させる静電界を設ける。イオン振動周期より著しく短い持続時間にわたって、またはイオン調和運動のスパンよりも著しく小さい幅を有するパルス検出電極を使用して、パルス過渡信号が検出される。調波過渡信号も検出される。次に、パルス過渡信号と調波過渡信号とに基づいて、質量電荷比に対するイオン強度が特定される。
摘要翻译：提供了用于质量分析仪的质量分析仪和离子检测方法。静电场发生器提供静电场，使离子包沿着一个方向振荡。在比离子振荡的周期短的持续时间内检测脉冲瞬态信号，或使用具有明显小于离子谐波运动的跨度的宽度的脉冲检测电极。还检测到谐波瞬态信号。然后基于脉冲瞬态信号和谐波瞬态信号来识别关于质荷比的离子强度。

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