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    • 4. 发明专利
    • 光シート顕微鏡検査のための装置
    • 一种用于光学片显微镜
    • JP2016537670A
    • 2016-12-01
    • JP2016526897
    • 2014-11-13
    • カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbhカール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh
    • プレトリウス、マルコ
    • G02B21/00G02B21/02
    • G02B21/08G02B13/0095G02B13/18G02B21/0052G02B21/0076G02B21/02G02B21/33G02B21/367G02B27/0025G02B27/0068
    • 本発明は、光シート顕微鏡検査のための装置に関する。このような装置は、光シートにより照明用ビーム経路を介して媒質(2)中の試料キャリア上にある試料(3)を照明するための照明用対物レンズ(5)を備えた照明光学系を含んでおり、これに関し、照明用対物レンズ(5)の光軸(6)と光シートは1つの平面内にあり、この平面は、平らな基準面(4)の法線に対してゼロとは異なる照明角度(β)を含み、この基準面に対して、試料キャリアが位置合わせされている。この装置はさらに、検出用ビーム経路内に検出用対物レンズ(7)を備えた検出光学系を含んでおり、検出用対物レンズ(7)の光軸(8)が基準面(4)の法線に対してゼロとは異なる検出角度(δ)を含る。最後にこの装置は、所定の厚さでの所定の材料からなる少なくとも1つの層を有する隔離層系も含んでおり、この層が、媒質(2)を照明用対物レンズ(5)および検出用対物レンズ(7)から隔離しており、この隔離層系は、少なくとも照明用対物レンズ(5)および検出用対物レンズ(7)にとって照明または検出が可能な領域内では、基準面(4)と平行に位置合わせされた基本面(9)で媒質(2)と接触している。この装置はさらに、検出すべき光が隔離層系の界面を斜めに通過することで生じるような収差を低減するために、少なくとも1つの検出用補正レンズを備えた補正レンズ系を含んでいる。このような装置の場合、少なくとも1つの検出用補正レンズ(9)が、自由曲面レンズとして形成されており、検出用対物レンズ(7)と隔離層系との間に配置されている。その代わりに少なくとも1つの検出用補正レンズ(9)は、検出用対物レンズ(7)のフロントレンズでもある。
    • 本发明涉及一种用于光学片显微镜的装置。 这样的装置,具有照明物镜(5),用于在通过照明光束路径由所述样品载体上的光学薄片的介质照射样本(3)的照明光学系统(2) 包括并涉及此,光学片和照明物镜的光轴(6)(5)在一个平面中,该平面是零相对于法线的平面参考面(4) 它们包含不同的照明角度(测试版)为基准平面,所述样品载体被对准。 该装置还包括光轴法(8)的所述基准平面包括具有检测物镜的检测光学系统(7)在检测光束路径中,检测物镜(7)(4) 从零到线含钌不同检测角度(δ)。 最后,具有预定厚度还包含预定材料的至少一个层中的器件隔离层系统,该层,介质(2)的照明物镜(5)和检测 已经从物镜(7),该隔离层系统,至少在照明物镜(5)和所述检测物镜(7)分离可以采取的区域的照明或检测中,基准表面(4) 是在与介质(2)平行地排列的基本表面(9)接触。 为了减少诸如由发生通过接口隔离层系统通过倾斜,并且包括校正透镜系统,包括至少一个检测校正透镜象差要被检测的装置,进一步的光。 对于这样的装置,至少一个检测校正透镜(9)被形成为自由形态的表面镜被设置在隔离层基于检测物镜(7)之间。 代替至少一个检测校正透镜(9)也是检测物镜的前透镜(7)。