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1. 发明专利

JP5587509B2 Multi optical path autocorrelator for sensors based on optical fiber ring 有权
公开(公告)号：JP5587509B2
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：JP2013532024
申请日：2010-10-08
申请人：ハルビンエンジニアリングユニバーシティ
发明人：リボユエン , ジュンヤン , アイシュウ
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02015 , G01B11/161 , G02B6/2932 , G02B6/29349

2. 发明专利

JP2012058241A Deflection measuring device using interferometric principle 有权
标题翻译：使用干涉原理的偏差测量装置
公开(公告)号：JP2012058241A
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：JP2011193895
申请日：2011-09-06
申请人： Krohne Messtechnik Gmbh , クローネメステヒニークゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングKrohne Messtechnik GmbH
发明人： KRISCH HENRIK
IPC分类号： G01B11/16 , G01B9/02 , G01D5/353
CPC分类号： G01B11/161 , G01F1/3254 , G02B6/02042 , G02B6/02338 , G02B6/29352
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a deflection measuring device by an interferometric principle using optical fiber means which is less susceptible to noise generated between an evaluation unit and a deflection body.SOLUTION: First optical fiber means and second optical fiber means are arranged only in the deflection body, the first optical fiber means and/or the second optical fiber means is connected with a single light supply fiber including a beam source on the input side, and the first optical fiber means and/or the second optical fiber means is connected with a single light evaluation fiber including an evaluation circuit on the output side.
摘要翻译：要解决的问题：通过使用对评估单元和偏转体之间产生的噪声不太敏感的光纤装置通过干涉原理来提供偏转测量装置。解决方案：第一光纤装置和第二光纤装置仅布置在偏转体中，第一光纤装置和/或第二光纤装置与包括在输入端上的光束源的单个光源光纤连接并且第一光纤装置和/或第二光纤装置与包括在输出侧的评估电路的单个光评估光纤连接。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2014529065A 有害環境において作動し、光学的移動測定モジュールを有する変形測定センサとこのセンサを用いた計測システム有权
标题翻译：操作在危险环境中，使用具有光学移动测量模块的测量系统的传感器和变形测量传感器
公开(公告)号：JP2014529065A
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：JP2014524379
申请日：2012-08-09
申请人：コミサリアアレネルジィアトミークエオゼネルジイアルテアナティーフCommissariata L’Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives , コミサリアアレネルジィアトミークエオゼネルジイアルテアナティーフCommissariat A L’Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives
发明人：ゲイヨ、ステファン , レガツォーニ、ニコラス , シェイモル、ギー
IPC分类号： G01B11/16 , G01B9/02 , G21C17/06
CPC分类号： G01B11/161 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/18
摘要：有害環境において作動し、光学的移動測定モジュールを有する変形計測センサとこのセンサを用いた計測システムである。このセンサ(2)は、開口部(14)を含む格納手段(12);例えば核燃料棒などの変形し得る対象物(4)と接触させられる第1の面(22)と、反射性を有し、開口部を通って格納手段内部に延伸する第2の面(24)とを有する可動要素(16);この要素と格納手段との間における戻り作用を実施する、封止された、弾性を有する連結構成要素(18);および格納手段の内部においてこの要素の第2の面によって反射される光(30)を用いて干渉光(36)を生成するためのモジュール(20)を備える。対象物が変形することによって干渉光が変形し、これが変形を表わすものである。【選択図】図1
摘要翻译：在危险环境中工作时，测量系统中使用具有光学运动测量模块的传感器和变形测量传感器。所述传感器（2），开口（14），存储装置包含（12）;是例如对象可变形核燃料棒（4）的第一表面与（22）接触时，反射和具有在内部存储延伸的第二表面上的可动元件是指通过一个开口（24）（16）;执行该动作返回在元件和所述存储单元之间，密封，弹性它包括和存储装置，模块，用于使用光（30）由在内部（20）的元件的第二表面反射的干涉光（36）;与（18）的连接部件。由物体变形干涉光发生变形时，其代表的变形。点域1

4. 发明专利

JPWO2006137448A1 試料膨張・収縮量計測システムおよび試料膨張・収縮量計測方法有权
公开(公告)号：JPWO2006137448A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：JP2007522342
申请日：2006-06-21
申请人：国立大学法人北海道大学 , 国立大学法人北海道大学
发明人：誠司三浦 , 誠司三浦 , 和彦岡 , 和彦岡 , 哲夫毛利 , 哲夫毛利 , 賢二大久保 , 賢二大久保
IPC分类号： G01N25/16
CPC分类号： G01N21/45 , G01B11/161 , G01N25/16
摘要：微小サイズの試験片からより正確な熱膨張を計測可能とし、MEMSデバイスへの応用を可能とする熱膨張量計測システムを提供する。試料台(11)および傾斜半透鏡(12)の一方の端部に試料(10)を挟持し、例えば、加熱炉(13)内で一点の昇温速度で加熱したときに、試料台(11)および傾斜半透鏡(12)の間で生じる干渉光を共焦点走査型レーザー顕微鏡により観察する。これによって、試料(10)の加熱に伴う膨張によって傾斜半透鏡(12)の傾斜角度が変化するので干渉縞間隔も変化する。この干渉縞間隔の変化を高精細に測定することで、これを基準として試料(10)の熱膨張量をより正確に計測することができる。

5. 发明专利

JP2004532984A Including the action of the body force, measurement of large deformation and stress of the laminate and graded structure of type 有权
公开(公告)号：JP2004532984A
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：JP2003502449
申请日：2002-05-28
申请人：カリフォルニアインスティテュートオブテクノロジー
发明人：アントニオスジャンナコポウロス , スブラスレシュ , イランブレク , アレスジェーロサキス
IPC分类号： G01L1/00 , G01B11/16 , G01B11/24 , G01B11/255 , G01B21/32
CPC分类号： G01B11/161 , G01B11/16 , G01B21/32
摘要：積層又はグレーデッド型の構造体に均一に分布する重力、静電力又は電磁力及び他の力などの体積力、支持力並びに集中力の作用を含む積層又はグレーデッド型の構造体の大変形を測定する方法。また、大変形分析法に基づいて、装置をその場で監視するリアルタイム応力監視システムも開示する。例えば、コヒーレントグラジエント感知モジュールを、上記システムに含めてもよい。

6. 发明专利

JPS58223003A Measuring method utilizing optical interference 失效
标题翻译：使用光学干扰的测量方法
公开(公告)号：JPS58223003A
公开(公告)日：1983-12-24
申请号：JP10534182
申请日：1982-06-21
申请人： Hitachi Ltd
发明人： KUMAZAWA TETSUO , SAKAMOTO TATSUJI
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/16 , G01B11/24 , G01D5/26
CPC分类号： G01D5/266 , G01B11/161
摘要： PURPOSE:To obtain a load, pressure, strain, and the like for a material to be measured by a simple method, by irradiating coherent light on a sensor part, whose form is changed and which is provided at a position where loads such as weights and heat are applied, and measuring the change in interference fringes between reflected lights. CONSTITUTION:A sensor member 4, which is deformed in a concave form or in a convex form, by a load, is provided at a position, where the load of a material to be measured 5 is applied. Coherent light is irradiated from a laser source 1. The light path is changed by a mirror 2 and a mirror 3, and the sensor member 4 is illuminated with the light. The interference of light reflected by the sensor member 4 is transduced into an electrical signal by a light receiving screen or an image pickup element 6. The signal is inputted to an operating device 7. In this method, the load, pressure, strain, and the like can be optically measured by a simple means.
摘要翻译：目的：为了通过简单的方法获得要测量的材料的载荷，压力，应变等，通过将相干光照射在传感器部件上，传感器部件的形式改变，并且设置在负载如重量并施加热量，并测量反射光之间的干涉条纹的变化。构成：在施加待测材料5的载荷的位置处设置有通过负载以凹形或凸形变形的传感器构件4。相干光从激光源1照射。通过反射镜2和反射镜3改变光路，并且用光照射传感器部件4。由传感器构件4反射的光的干涉被光接收屏或图像拾取元件6转换成电信号。该信号被输入到操作装置7.在该方法中，负载，压力，应变和可以通过简单的手段光学测量。

7. 发明专利

JP2018527041A 後方散乱反射光測定を用いて医療デバイスの位置及び/又は形状を感知するための光学的形状感知システム並びに方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018527041A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017564874
申请日：2016-06-08
申请人：コーニンクレッカフィリップスエヌヴェ , KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
发明人：ホーフトゲルトウィム
IPC分类号： G01N21/45 , G01N21/17 , A61B5/06 , G01B11/16 , A61B1/00
CPC分类号： G01B11/161 , A61B1/00147 , A61B1/00163 , A61B5/065 , A61B34/20 , A61B2034/2061 , A61M25/01 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B11/18 , G01B11/2441
摘要：後方散乱反射光測定を用いて医療デバイス20の位置及び/又は形状を感知するための光学的形状感知システムであって、この光学的形状感知システムは、広帯域スペクトルの複数の波長の入力光を発生させるための広帯域光源12と、マルチコア光ファイバ22m、30を含む複数の干渉計を備える干渉計装置11と、を備え、マルチコア光ファイバ22m、30は少なくとも2つのファイバコア31、32a、b、cを備え、干渉計の各々は、入力光から分割された複数の入力光ビームのうちの対応するものを用いて後方散乱反射光測定を別個に遂行するように構成されており、対応する入力光ビームを参照ビームとデバイスビームとに分割するためのファイバスプリッタ14と、参照ビームを案内するための追加の光ファイバ22sと、デバイスビームを医療デバイス20内で反射されるように案内し、反射されたデバイスビームを案内するためのマルチコア光ファイバ22m、30の対応するファイバコア31、32a、b、cと、反射されたデバイスビームを参照ビームと結合し、出力光ビームを形成するためのファイバ結合器18とを備え、光学的形状感知システムは、出力光ビームを受光し、それと相互作用するための分光計28を更に備え、分光計28は、出力光ビームを検出するための検出器ユニット26を備える。

8. 发明专利

JP6078066B2 有害環境において作動し、光学的移動測定モジュールを有する変形測定センサとこのセンサを用いた計測システム有权
标题翻译：操作在危险环境中，使用具有光学移动测量模块的测量系统的传感器和变形测量传感器
公开(公告)号：JP6078066B2
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：JP2014524379
申请日：2012-08-09
申请人：コミサリアアレネルジィアトミークエオゼネルジイアルテアナティーフ , COMMISSARIAT A L’ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人：ゲイヨ、ステファン , レガツォーニ、ニコラス , シェイモル、ギー
IPC分类号： G21C17/06 , G01B9/02 , G01B11/16
CPC分类号： G01B11/161 , G01B11/18 , G01B9/0205 , G01B9/02057

9. 发明专利

JP6042442B2 ウェーハ幾何形状メトリックを用いるオーバーレイ及び半導体プロセス制御有权
标题翻译：覆盖和半导体工艺控制使用晶片几何度量
公开(公告)号：JP6042442B2
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：JP2014535794
申请日：2012-10-10
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：ブカダラプラディープ , ベーララガバンサティシュ , シンハジェイディープケイ
IPC分类号： G01B21/02 , G01B11/02 , G01B11/24 , G01B21/20 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67288 , G01B11/161 , G01B11/2441 , G01B11/272 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G03F7/70633 , G03F7/70783 , H01L21/67271 , H01L22/12 , H01L2924/0002

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