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    • 4. 发明专利
    • 磁気軸受装置、及び真空ポンプ
    • 磁力轴承装置和真空泵
    • JP2015105680A
    • 2015-06-08
    • JP2013246961
    • 2013-11-29
    • エドワーズ株式会社
    • 川島 敏明
    • F04D19/04F16C32/04
    • F04D29/058F04D19/042F04D27/00F04D29/053F16C32/0451F16C32/0489H02K7/09F16C2231/00F16C2233/00F16C2300/30F16C2360/00F16C2360/45
    • 【課題】初期調整が簡単であり、制御機器のメモリ容量を増やすことなく、簡単なアルゴリズムで最適な軸受制御を行うことができる磁気軸受装置を提供する。 【解決手段】一対の二乗器32xp、32xm、及び加算器33が、図示しない磁気軸受のロータ軸をラジアル方向に反対方向に引き合う一対の電磁石の各電流定常値(Ip、Im)を取得し、それぞれ二乗化して加算する。そして、磁気軸受の取付姿勢に応じて各電磁石の電流を最適に変化させるために、補正係数演算器35が、二乗・加算された電流定常値(Ip^2+Im^2)から電磁石に働く補正ゲイン指令値Kcompを計算する。次に、電磁石の制御回路の基本ゲインKctrlに補正ゲイン指令値Kcompを加算したゲイン指令値Gをゲインアンプ38へ入力する。ゲインアンプ38は、ゲイン指令値Gに基づいて、補正された電流指令値を生成し、磁気軸受を最適に制御する。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供一种能够通过简单的算法执行最佳轴承控制的磁性轴承装置,其中其初始调整简单,并且控制设备的存储容量不增加。解决方案:一对平方单元32xp, 32xm和加法器33获得在径向和相反方向上吸引磁轴承(未示出)的转子轴的一对电磁体的每个电流稳定值(Ip,Im),并将它们相加。 然后,为了根据磁轴承的嵌合姿势以最佳的方式改变各个电磁体的电流,校正系数计算单元35计算参考平方和/或对应于电磁体的校正增益指令值K comp, 添加电流稳定值(Ip ^ 2 + Im ^ 2)。 然后,将补偿增益指令值Kcomp加到电磁铁的控制电路的基本增益Kctr1上的增益指令值G被输入到增益放大器38.增益放大器38基于此产生校正的电流指令值 的增益指令值G,并以最佳方式控制磁性轴承。
    • 7. 发明专利
    • Turbomolecular pump with a flexible fixture
    • 空值
    • JP2012503134A
    • 2012-02-02
    • JP2011527385
    • 2009-09-21
    • ソシエテ・ドゥ・メカニーク・マグネティーク
    • シュローダー、ウルリッヒブリュヌ、モーリスルマルシャン、オリビエ
    • F04D19/04
    • F04D19/042F04D19/048F04D27/008F04D29/058F16C32/0442F16C32/0451F16C32/0489F16C2360/45H02K7/09
    • フレキシブルな取付け具を有するターボ分子ポンプは、機械的ダンパー150によりフレーム160に取付けられた密封ハウジング100と、電気モーター140により駆動される垂直取付け部102と、半径方向磁気軸受111、112と、軸方向磁気軸受115と、半径方向検出器113、114と、軸検出器116と、バックアップ機械的軸受109、110と、軸方向115及び半径方向112の磁気軸受の電力供給回路12、16と制御回路を含む制御モジュールを有する。 制御回路は低いスチフネスを有し、限定された通過帯域の濾波回路を有する。 制御モジュールは予め定められたしきい値よりも異常に高いローター103の移動を、軸方向116及び半径方向113、114検出器の発生した信号を検出する比較装置を含む。 制御回路は再安定化ネットワークと、ローター103の移動がしきい値の1つを超過したことを検出した瞬間t
      1 後の予め定められた期間Δtに再安定化ネットワークを選択的に付勢するための手段とを含んでいる。
      【選択図】図1
    • 柔性安装的涡轮分子泵包括通过机械阻尼器安装在结构上的泄漏外壳,由电动机驱动的垂直支撑件,径向磁轴承,轴向磁轴承,径向检测器,轴向检测器,应急机械轴承和 控制模块包括用于轴向和径向磁轴承的电源电路和伺服控制电路。 伺服控制电路具有低刚度并且包括用于限定有限通带的滤波器电路。 控制模块包括比较器单元,用于根据由轴向和径向检测器传递的信号检测转子的异常大的运动,该运动大于预定阈值。 伺服控制电路包括一个再稳定网络和一个单元,用于在转子运动期间检测到至少一个预定阈值的交叉时间之后的预定持续时间内选择性地启动再稳定网络。
    • 8. 发明专利
    • Control device of magnetic bearing
    • 磁力轴承控制装置
    • JP2005315311A
    • 2005-11-10
    • JP2004132388
    • 2004-04-28
    • Hitachi Industries Co Ltd株式会社 日立インダストリイズ
    • TAKAHASHI NAOHIKO
    • F16C32/04
    • F16C32/0451
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a magnetic bearing to stably support a rotor having variable natural frequency.
      SOLUTION: A magnetic bearing rotatably supports a rotor. The position or vibration of the rotor is controlled by a control device of a magnetic bearing having a filter circuit. The rotor causes a change in forward and backward natural frequency by gyro effect during rotation. The pole and zero point of transfer function of the filter circuit are set to a pair of conjugate complex numbers during the stop of the rotor and set to a pair of non-conjugate complex numbers during the rotation. During the rotation of the rotor, the frequency characteristic of forward whirling signal and the frequency characteristic of backward whirling signal can be set and adjusted independently of each other.
      COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
    • 要解决的问题:为了使磁轴承能够稳定地支撑具有可变固有频率的转子。 解决方案:磁轴承可旋转地支撑转子。 转子的位置或振动由具有滤波电路的磁轴承的控制装置控制。 转子通过陀螺效应在旋转过程中引起前后自然频率的变化。 在转子停止期间,滤波器电路的极点和零点的传递函数被设置为一对共轭复数,并在旋转期间被设置为一对非共轭复数。 在转子转动期间,可以独立于彼此设定和调整正向旋转信号的频率特性和反向旋转信号的频率特性。 版权所有(C)2006,JPO&NCIPI
    • 10. 发明专利
    • Controlling method of magnetic attractive force
    • 磁吸引力控制方法
    • JPS59112605A
    • 1984-06-29
    • JP22111982
    • 1982-12-18
    • Yaskawa Electric Mfg Co Ltd
    • KAMIYA YOSHINORIISHIDA KIYOSHI
    • F16C32/04G05F7/00H01F7/20
    • G05F7/00F16C32/0451
    • PURPOSE:To eliminate unfavorable influence of non-linear property of an electromagnet, by a method wherein command current supplied to the electromagnet is made square root of the control current command multiplied by a gap value between the electromagnet and an article to be controlled. CONSTITUTION:An article to be controlled is detected by a displacement detector, and difference between the detected displacement (x) and the expected displacement (x0) is inputted to PID adjusting instrument 6. The square root of the output Is of the adjusting instrument 6 is extracted by a square root operator 11, and product of the square root value and the displacement (x) is determined by a multiplier 12 and inputted in a current transforming member 7. Since the output Is of the adjusting instrument 6 and the force F acting on the article to be controlled are in linear relation, non-linear relation between the output current I of the current transforming member 7 and the force F acting on the article does not affect thereto. According to this output method, unfavorable influence of non-linear property of the electromagnet is eliminated and the stable control is realized.
    • 目的:为了消除电磁铁的非线性特性的不利影响,通过将控制电流指令乘以电磁铁与待控制物品之间的间隙值的方式,提供给电磁体的指令电流为方波, 构成:通过位移检测器检测要控制的物品,并将检测到的位移(x)与预期位移(x0)之间的差输入PID调节仪器6.调节仪器6的输出Is的平方根 由平方根算子11提取,平方根值和位移(x)的乘积由乘法器12确定并输入到电流变换构件7.由于调节仪器6的输出Is和力F 作用于待控制的物品处于线性关系,当前变换构件7的输出电流I与作用在物品上的力F之间的非线性关系不影响其。 根据该输出方法,消除了电磁铁非线性特性的不利影响,实现了稳定的控制。