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    • 10. 发明专利
    • 水素ガス回収システムおよび水素ガスの分離回収方法
    • 用于分离和回收氢气回收系统和氢气的方法
    • JP2017043523A
    • 2017-03-02
    • JP2015169231
    • 2015-08-28
    • 信越化学工業株式会社
    • 石田 昌彦祢津 茂義斉藤 弘田中 秀二
    • C01B33/035C01B39/44B01J20/20B01J20/18B01J20/34C01B3/56
    • B01J20/18B01J20/20B01J20/34C01B3/56C01B33/035C01B39/44B01D53/68B01D53/72B01D53/75B01D53/78B01D53/82B01D53/96
    • 【課題】多結晶シリコン製造工程からの反応排ガス中のメタンを、複雑なシステム構成とすることなく効率的に除去し、回収水素の高純度化を図ること。 【解決手段】本発明の水素ガス回収システムは、多結晶シリコン製造工程からの、水素を含む反応排ガスからクロロシラン類を凝縮分離する凝縮分離装置(A)と、水素を含む反応排ガスを圧縮する圧縮装置(B)と、水素を含む反応排ガスを吸収液と接触させて塩化水素を吸収分離する吸収装置(C)と、水素を含む反応排ガスに含まれる、メタン、塩化水素、およびクロロシラン類の一部を吸着除去するための活性炭を充填した吸着塔からなる第1の吸着装置(D)と、水素を含む反応排ガスに含まれるメタンを吸着除去する合成ゼオライトを充填した吸着塔からなる第2の吸着装置(E)と、メタン濃度を低減させた精製水素ガスを回収するガスライン(F)により構成される。 【選択図】図1
    • 在由多晶硅制造过程废气的反应的甲烷没有复杂的系统配置有效地除去,为了提高回收的氢气的纯度。 本发明中,多晶硅的制造工艺中,缩合分离器用于从含有氢和(A),压缩,用于压缩含有氢的反应气体的反应气体中分离冷凝氯硅烷的甲氢气回收系统 装置(B),和吸收剂用于吸收分离氯化氢和反应气体被带入与含吸收液体氢(C)接触,并且包含含有氢气,甲烷,氯化氢的反应气体中,和一个氯硅烷 从吸附塔填充有活性炭吸附除去第一吸附和(D)制成的部件,第二甲烷组成的吸附塔填充有合成沸石吸附和去除的包含在含有反应气体的氢 一个抽吸装置(E),通过气体线具有减少的甲烷浓度(F)回收纯化的氢气构成。 点域1