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    • 4. 发明专利
    • 研磨洗浄機構、基板処理装置及び基板処理方法
    • 抛光/清洁机械,基板加工设备和基板处理方法
    • JP2015119161A
    • 2015-06-25
    • JP2014110836
    • 2014-05-29
    • 東京エレクトロン株式会社
    • 久保 明広福田 昌弘山本 太郎矢田 健二榎本 正志中島 昇
    • H01L21/304
    • B24B37/005B24B27/0061B24B37/34B24B47/16B24B25/00B24D7/18
    • 【課題】基板裏面の研磨処理と洗浄処理を適正に行う。 【解決手段】ウェハWの裏面を保持する基板保持部に保持されたウェハWの裏面に接触させて、ウェハW裏面の研磨処理及び洗浄処理を行う研磨洗浄機構であって、ウェハWの裏面を研磨する研磨部材50と、ウェハWの裏面を洗浄する洗浄部材51と、研磨部材50及び洗浄部材51が基板保持部で保持されたウェハWの裏面と対向するように研磨部材50及び洗浄部材51を支持する支持部材52と、を有し、研磨部材50におけるウェハWと対向する面と、洗浄部材51におけるウェハWと対向する面の相対的な高さが異なっている。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供一种能够适当地执行基板的背面的抛光和清洁的抛光/清洁机构。解决方案:抛光/清洁机构,其布置成在背面上执行抛光和清洁处理 与由用于保持晶片W的背面的基板保持部保持的晶片W的背面接触的晶片W包括:用于抛光晶片W的背面的抛光构件50; 用于清洁晶片W的背面的清洁构件51; 以及用于支撑抛光构件50和清洁构件51的支撑构件52,使得抛光构件50和清洁构件51与由基板保持部保持的晶片W的背面相对。 布置成面向晶片W的抛光构件50的表面与相对高度上与晶片W相对配置的清洁构件51的表面不同。
    • 8. 发明专利
    • Oscillating rotary electric power tool
    • 振动旋转电动工具
    • JP2013173202A
    • 2013-09-05
    • JP2012038864
    • 2012-02-24
    • Makita Corp株式会社マキタ
    • ITAKURA TORUNAKAMURA MAKOTOTAWARA TAKAYUKIMIZUTANI AKIYOSHI
    • B25F5/00B23D49/00F16D1/02F16D3/12F16D3/68
    • B25F5/00B24B23/04B24B47/16B25F5/006
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oscillating rotary electric power tool made compatible in the improvement of durability and the suppression of the generation of an abnormal sound.SOLUTION: An oscillating rotary electric power tool 1 rotates a spindle 21 in a right and left direction in an oscillating fashion by projecting the spindle connected with a tip tool 25 downward from a front end of a housing 2 extending in a longitudinal direction and storing a motor M, storing a coupling member 10 which is connected to an output shaft 9 of the motor M on the same axis and rotatable integrally with the output shaft, a crankshaft 12 which is rotatably disposed on the same axis with an axis of the output shaft and fitted to the coupling member in a recessive and projective manner and a link member 30 which is fixed with the spindle and has power transmitted from the crankshaft and rotates in a right and left direction in an oscillating fashion in the housing and operating the link member by driving the motor M via the coupling member and the crankshaft. An elastic body 17 is interposed between the coupling member and the crankshaft in the same axis direction X to fit the coupling member and the crankshaft in a recessive and projective manner.
    • 要解决的问题:提供一种在提高耐久性和抑制异常声音的产生方面兼容的摆动式旋转电动工具。解决方案:摆动旋转电动工具1使主轴21沿左右方向旋转 通过将从顶端工具25连接的主轴从沿纵向方向延伸的壳体2的前端向下突出并存储电动机M而以摆动方式突出,存储连接到电动机的输出轴9的联接构件10 M在同一轴线上并与输出轴一体地旋转;曲轴12,其可旋转地设置在与输出轴的轴线相同的轴线上并以隐性和突出的方式装配到联接构件;连杆构件30, 与主轴固定,并且具有从曲轴传递的动力,并以振荡的方式在壳体中沿左右方向旋转,并通过 通过联接构件和曲轴驱动马达M。 弹性体17在相同的轴线方向X上插入在联接构件和曲轴之间,以将凹部和曲轴以凹凸的方式配合。