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1. 发明专利

JP2021059015A 液滴吐出装置および液滴吐出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021059015A
公开(公告)日：2021-04-15
申请号：JP2019182502
申请日：2019-10-02
申请人：株式会社SIJテクノロジ
发明人：村田和広
IPC分类号： B41J2/015 , B41J2/06 , B41J2/01
摘要：【課題】対象物表面に安定して液滴を吐出する。【解決手段】液滴吐出装置は、対象物に対して第1方向に移動し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出部と、前記ノズルの情報を取得する取得部と、前記取得された前記ノズルの情報に基づいて、前記液滴の吐出条件を設定する設定部と、を有する。上記液滴吐出装置において、前記ノズルを検査する検査部をさらに有し、前記ノズルの情報は、前記ノズルの先端における形状の情報を含んでもよい。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017034269A ホール形成方法、並びに多層配線の製造方法、半導体装置の製造方法、表示素子の製造方法、画像表示装置の製造方法、及びシステムの製造方法有权
标题翻译：一种制造制造方法中，所述孔形成工序的半导体装置，和多层布线，制造显示装置，图像显示装置的制造方法的方法的方法，并且该系统的制造方法
公开(公告)号：JP2017034269A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2016183205
申请日：2016-09-20
申请人：株式会社リコー , 株式会社SIJテクノロジ
发明人：曽根雄司 , 植田尚之 , 中村有希 , 安部由希子 , 村田和広 , 増田一之
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/336 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/22 , H05B33/26 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01L21/768
摘要：【課題】プロセス再現性が高く、微細なホールを効率よく低コストで形成することができるホール形成方法、並びに、該ホール形成方法を用いてビアホールを形成した多層配線、半導体装置、表示素子、画像表示装置、及びシステムの提供。【解決手段】基材上にピラー形成液を付与してピラーを形成するピラー形成工程と、前記ピラーが形成された基材上に絶縁膜形成材料を付与して絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記ピラーを除去して前記絶縁膜に開口部を形成するピラー除去工程と、前記開口部が形成された絶縁膜を熱処理する熱処理工程とを含むホール形成方法である。【選択図】図1F
摘要翻译：的方法，再现性高，孔形成方法，其可以高效地形成一种低成本的微细孔，以及经由与所述孔形成方法，半导体装置，显示装置的孔形成多层布线，图像显示，并提供该系统。 A和支柱形成一个支柱在支柱形成液赋予到衬底上，所形成的基片上施加的绝缘膜形成材料的支柱形成的绝缘膜来形成绝缘膜一个步骤中，将支柱被去除通过去除柱，孔形成方法和热处理，其中形成了开口的绝缘膜的热处理步骤，以在所述绝缘膜中的开口。点域1F

3. 发明专利

JP2015113356A 液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法、及びパターン形成方法有权
标题翻译：生产液晶嵌段共聚物薄膜的方法及其形成方法
公开(公告)号：JP2015113356A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：JP2013254279
申请日：2013-12-09
申请人：国立大学法人東京工業大学 , 株式会社SIJテクノロジ
发明人：彌田智一 , 小村元憲 , 佐藤浩行 , 増田一之 , 村田和広
IPC分类号： C08F4/32 , C08F20/34 , C08F20/26 , C08J5/18
摘要：【課題】液晶性ブロック共重合体のミクロ相分離構造が一軸水平配向したナノパターンを有する良好な品質の液晶性ブロック共重合体薄膜を安定して製造することのできる液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法は、液晶性ブロック鎖(A)及び該液晶性ブロック鎖(A)と非相溶なブロック鎖(B)を有する液晶性ブロック共重合体(I)を含む溶液を、インクジェット法で吐出して基板上にラインを描画する工程と、前記ラインを描画した基板表面を前記ブロック鎖(A)及び前記ブロック鎖(B)の両方と非相溶な疎水性材料で封止する工程と、前記基板を加熱処理する工程と、前記疎水性材料を除去する工程とを含み、前記ラインの、ライン方向に垂直の断面が、0.03〜0.29(μm −1 )の範囲の曲率を有する形状である。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：为了提供液晶嵌段共聚物的薄膜的制造方法，其能够稳定地制备质量好的液晶嵌段共聚物的薄膜，所述液晶嵌段共聚物具有微相具有单轴水平取向的纳米图案的分离结构。解决方案：液晶嵌段共聚物薄膜的制造方法包括以下步骤：通过喷墨法将基板上的线排出，具有与液晶嵌段链（A）不相容的液晶嵌段链（A）和嵌段链（B）的结晶嵌段共聚物（I）; 用与阻滞链（A）和嵌段链（B）两者不相容的疏水性材料封装其上拉线的基材表面; 热处理基板; 并除去疏水材料。线的垂直方向的横截面具有曲率为0.03〜0.29（μm）的形状。

4. 发明专利

JP2020179354A 液滴吐出装置および液滴吐出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020179354A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：JP2019084568
申请日：2019-04-25
申请人：株式会社SIJテクノロジ
发明人：村田和広
IPC分类号： B41J2/01 , B05D1/26 , B05D1/36 , B05C9/06 , B05C5/00
摘要：【課題】本発明は、対象物表面に安定して液滴を吐出する。【解決手段】液滴吐出装置は、第1液体を保持するための第1液体保持部および当該第1液体保持部の第1液体を第1液滴として吐出するための第1先端部を含む第1液滴吐出部と、第2液体を保持するための第2液体保持部および当該第2液体保持部の第2液体を第1液滴とは異なる第2液滴として吐出するための第2先端部を含む第2液滴吐出部と、前記第1液体および前記第2液体が吐出される対象物を保持するための対象物保持部と、前記対象物保持部に対して、前記第1先端部および前記第2先端部を相対的に第1方向に移動させるための駆動部と、を含み、前記第1先端部は、前記第2先端部に対して前記第1方向に配置されている。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6311962B2 液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法、及びパターン形成方法有权
公开(公告)号：JP6311962B2
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：JP2013254279
申请日：2013-12-09
申请人：国立大学法人東京工業大学 , 株式会社SIJテクノロジ
发明人：彌田智一 , 小村元憲 , 佐藤浩行 , 増田一之 , 村田和広
IPC分类号： C08F4/32 , C08F20/34 , C08F20/26 , C08J5/18

6. 发明专利

JP5885912B2 液体吐出装置及び液体吐出方法有权
标题翻译：如何液体喷射装置和液体喷射
公开(公告)号：JP5885912B2
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：JP2010166904
申请日：2010-07-26
申请人：株式会社SIJテクノロジ
发明人：村田和広
IPC分类号： B05C11/10 , B05D1/26 , B05C5/00

7. 发明专利

JP2021073370A 金属材料の処理装置有权
公开(公告)号：JP2021073370A
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：JP2020217429
申请日：2020-12-25
申请人：国立研究開発法人産業技術総合研究所 , 株式会社SIJテクノロジ
发明人：白川直樹 , 村田和広
IPC分类号： B22F7/04 , F27D7/06 , B22F1/00 , H01L21/288 , B22F3/10
摘要：【課題】大気中で安定な低抵抗率の材料とするため、低温で金属材料を粒成長、あるいは結晶成長させることのできる金属材料の焼結装置を提供する。【解決手段】基材上に金属材料の微粒子を塗布した試料6を内部に収容する密閉容器1と、該密閉容器より排出される不活性気体から酸素分子を引き抜く酸素ポンプ2と、該不活性気体を該密閉容器に戻す循環手段3と、該密閉容器内にあって、該循環手段から戻された該不活性気体を大気圧プラズマ化し、該試料に該大気圧プラズマを照射するプラズマ化手段4とを有し、前記密閉容器内に戻される前記不活性気体中の酸素分圧が10 −25 気圧以下であり、前記試料中の金属材料の微粒子を、前記試料中に熱分解により還元性気体を発生する原料を用いずに焼結する金属材料の処理装置。【選択図】図1

8. 发明专利

JP2020179602A 液滴吐出装置および液滴吐出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020179602A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：JP2019084650
申请日：2019-04-25
申请人：株式会社SIJテクノロジ
发明人：村田和広
IPC分类号： B41J2/01
摘要：【課題】本発明は、位置精度を高めつつ、高い処理能力を有する液滴吐出技術を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、第1液体を保持するための第1液体保持部および当該第1液体保持部の第1液体を第1液滴として吐出するための第1先端部を含む第1液滴吐出部と、第2液体を保持するための第2液体保持部および当該第2液体保持部の第2液体を第1液滴とは異なる第2液滴として吐出するための第2先端部を含む第2液滴吐出部と、前記第1液体および前記第2液体が吐出される対象物を保持するための対象物保持部と、前記対象物保持部に対して、前記第1先端部および前記第2先端部を相対的に第1方向に移動させるための駆動部と、を含み、前記第2先端部の内径は、前記第1先端部の内径よりも大きく、前記第1先端部および前記第2先端部は、前記第1方向に沿って配置され、前記第2先端部は、前記第1先端部に対して後方に配置されている。【選択図】図1

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