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    • 1. 发明专利
    • 測定装置及び測定方法
    • JP2021081416A
    • 2021-05-27
    • JP2020149685
    • 2020-09-07
    • 中谷 進
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    • G01B11/24
    • 【課題】電子部品の突起部の位置の代表値を決定するプロセスにおいて、テーブル基準表面形状データの生成も使用もしないで代表値を決定する測定装置を提供する。 【解決手段】センサ基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準表面形状データasdのXY平面において、測定領域kt以外の域を非測定域とし、センサ基準面DTから測定対象物Wまでの各位置(x、y)における距離で、該測定対象物の測定領域ktそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状データamdを生成し、テーブル基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準領域表面形状amにおけるテーブル上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状データtmdを生成し、第2の代表値決定部において、テーブル基準領域表面形状tmにおいて代表とする値である、テーブル上面からの距離である第2の代表値G2を決定する。 【選択図】図3
    • 2. 发明专利
    • 測定装置及び測定方法
    • JP6868935B1
    • 2021-05-12
    • JP2020149685
    • 2020-09-07
    • 中谷 進
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    • G01B11/24
    • 【課題】電子部品の突起部の位置の代表値を決定するプロセスにおいて、テーブル基準表面形状データの生成も使用もしないで代表値を決定する測定装置を提供する。 【解決手段】センサ基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準表面形状データasdのXY平面において、測定領域kt以外の域を非測定域とし、センサ基準面DTから測定対象物Wまでの各位置(x、y)における距離で、該測定対象物の測定領域ktそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状データamdを生成し、テーブル基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準領域表面形状amにおけるテーブル上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状データtmdを生成し、第2の代表値決定部において、テーブル基準領域表面形状tmにおいて代表とする値である、テーブル上面からの距離である第2の代表値G2を決定する。 【選択図】図3