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    • 1. 发明专利
    • 磁気センサ装置及びその製造方法、並びに回転動作機構
    • JP2021148657A
    • 2021-09-27
    • JP2020049897
    • 2020-03-19
    • TDK株式会社
    • 望月 慎一郎
    • G01D5/12
    • 【課題】3軸方位の磁界を高精度に検出可能な磁気センサ装置及びその製造方法、並びに回転動作機構を提供する。 【解決手段】磁気センサ装置は、第1面及びその反対側に位置する第2面、並びに第1面に対して傾斜する第1傾斜面及び第2傾斜面と、第1〜第3軸方向の磁気を検出するための第1〜第3磁気センサ部と、第1〜第3磁気センサ部から出力される第1〜第3センサ信号に基づいて信号処理を行う信号処理部とを備え、第1軸方向は、第1面に直交する方向であり、第2軸方向及び第3軸方向は、第1面上において相互に直交する方向であり、第1磁気センサ部は、第1傾斜面に、第2磁気センサ部は、第2傾斜面に設けられており、信号処理部は、第1傾斜面の傾斜角度及び第2傾斜面の傾斜角度に応じて第1センサ信号及び前記第2センサ信号を補正した第1補正信号及び第2補正信号を生成する補正信号生成部を有する。 【選択図】図4