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1. 发明专利

JP2010090970A Heat-insulating structure and exhaust gas treatment device 审中-公开
标题翻译：绝热结构和排气处理装置
公开(公告)号：JP2010090970A
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：JP2008260807
申请日：2008-10-07
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： SHINOHARA TOYOJI , KOMAI TETSUO , YOSHIDA KAORI
IPC分类号： F16L59/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-insulating structure which can be applied to high temperature (600-800°C), and is reduced in thickness and cost, compared with a heat-insulating material having a heat insulating effect nearly equal thereto. SOLUTION: The heat-insulating structure 11 includes a high temperature-side wall 22 disposed on a high temperature space 21 side; a low temperature-side wall 26 disposed on a low temperature space 27 side to form a heat insulating area 20 between the high temperature-side wall 22; a barrier wall 24 disposed between the high temperature-side wall 22 and the low temperature-side wall 26, which divides the heat insulating area 20 to form a high temperature area 23 with the high temperature-side wall 22 and to form a low temperature area 25 with the low temperature-side wall 26; and a reflecting plate 41 disposed in the high temperature area 23, which reflects radiant heat from the high temperature-side wall 2 to reduce heat conduction to the barrier wall 24. The high temperature area 23 is evacuated, and the low temperature area 25 is evacuated or a low-heat conductivity gas is encapsulated therein. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：与具有绝热效果的绝热材料相比，提供可应用于高温（600-800℃）的绝热结构，并且其厚度和成本降低几乎相等。解决方案：绝热结构11包括设置在高温空间21侧的高温侧壁22; 设置在低温空间27侧的低温侧壁26，以在高温侧壁22之间形成隔热区域20; 设置在高温侧壁22和低温侧壁26之间的隔壁24，隔热区域22将隔热区域20与高温侧壁22隔开形成高温区域23，形成低温侧壁具有低温侧壁26的区域25; 以及设置在高温区域23中的反射板41，其反射来自高温侧壁2的辐射热，以减少到阻挡壁24的热传导。高温区域23被抽真空，低温区域25是抽真空或将低热导率气体包封在其中。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2007203290A Method for treating exhaust gas 审中-公开
标题翻译：处理排气的方法
公开(公告)号：JP2007203290A
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：JP2007017535
申请日：2007-01-29
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： SHINOHARA TOYOJI , MORI YOICHI , SUZUKI YASUHIKO , AONO HIROSHI , SHIRAO YUJI
IPC分类号： B01D53/70 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/86
CPC分类号： Y02A50/2341
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for treating an exhaust gas which enables the simultaneous and efficient treatment of a fluorine-containing compound and CO at a low running cost, applies a low load onto a device material, can reduce a device cost and never emits hazardous gases. SOLUTION: The method for treating an exhaust gas including a fluorine-containing compound and CO has a pre-treatment section for removing a powdery component, a water-soluble component or a hydrolytic component from the exhaust gas, a heating oxidative decomposing section for performing heating oxidative decomposition of the treated exhaust gas which has passed through a mist separator 26, and a post-treatment section for post-treating the treated exhaust gas to be non-hazardous by removing an acid gas which has been produced by the heating oxidative decomposition. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够以低运行成本同时有效地处理含氟化合物和CO的排气处理方法，对装置材料施加低负荷，可以减少设备成本，并且不会排放有害气体。解决方案：用于处理包含含氟化合物和CO的废气的方法具有用于从废气中除去粉末组分，水溶性组分或水解组分的预处理部分，加热氧化分解用于对通过雾化分离器26的处理过的废气进行加热氧化分解的部分;以及后处理部分，用于通过除去已经由雾分离器26产生的酸性气体来处理未处理的废气，加热氧化分解。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2015004501A 排ガス処理装置有权
标题翻译：排气处理装置
公开(公告)号：JP2015004501A
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：JP2013131603
申请日：2013-06-24
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： HOSOYA KAZUMASA , KASHIWAGI MAKOTO , SHINOHARA TOYOJI , KAWAMURA KOTARO
IPC分类号： F28D7/08 , B01D47/06 , B01D53/18 , B01D53/68 , B01D53/77 , F23J15/02 , F28C3/06 , H01L21/205
CPC分类号： F02C7/08 , B01D53/005 , B01D53/18 , B01D53/70 , B01D53/78 , B01D2252/103 , B01D2257/2045 , B01D2257/2047 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F23G7/065 , F23J15/04 , F23J2219/40 , F28C3/06 , F28D1/0213 , F28D1/05316 , F28D7/082 , F28D7/16 , Y02P80/156
摘要：【課題】排ガス処理装置の設置スペースを低減する。【解決手段】排ガス処理装置は、熱エネルギーを利用して排ガスを処理する排ガス処理部であって、処理された排ガスを、液体を使用して冷却する排ガス処理部と、液体を循環液として循環路内を循環させる循環部と、循環液を冷却するための熱交換チューブであって、熱交換チューブの内部に流れる冷却液と、熱交換チューブの外部に流れる循環液との間で熱交換を行う熱交換チューブと、循環液を貯留する循環液貯留部とを備える。熱交換チューブは、循環液貯留部の内部の少なくとも一部に確保された熱交換チューブ設置空間に配置される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：减少废气处理装置的安装空间。排气处理装置包括：排气处理部，其使用热能来处理废气，并使用液体来冷却处理后废气 ; 循环部，其将作为循环液的循环通道中的液体循环; 热交换管，其用于冷却循环液体，并且在流过热交换管的冷却剂与在热交换管的外部流动的循环液体之间进行热交换; 以及存储循环液的循环液储存部。热交换管设置在固定在循环液收容部的至少一部分的热交换管安装空间内。

4. 发明专利

JP2010162464A Gas treatment device and method of replacing treating agent for gas treatment device 审中-公开
标题翻译：气体处理装置和替代气体处理装置处理剂的方法
公开(公告)号：JP2010162464A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：JP2009005761
申请日：2009-01-14
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： KOMAI TETSUO , SHINOHARA TOYOJI , NOMURA NORIHIKO , HASHIMOTO YUTAKA , KORIYAMA HIDETO , YOSHIDA KAORI
IPC分类号： B01J8/02 , B01D53/70
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas treatment device which can efficiently replace a treating agent packed inside a treatment tank and a method of replacing the treating agent for the gas treatment device. SOLUTION: The gas treatment device 10a includes the treatment tank 11 filled with the treating agent 80. The treatment tank 11 has a gas inlet 15 through which a gas to be treated is introduced into the treatment tank 11, a gas outlet 16 through which the internal gas of the treatment tank 11 is made to run out of the treatment tank 11, a treating agent introduction port 17 through which the treating agent 80 is guided into the treatment tank 11, a treating agent drain port 18 through which the treating agent 80 to be replaced is drained from the treatment tank 11, and a filling promotion mechanism 21a which makes even the surface level of the introduced treating agent 80. In addition, the gas treatment device 10a comprises a first opening/closing device 71 which is installed in the treating agent introduction port 17 and opens/closes the treating agent introduction port 17 when the treating agent 80 for treating the gas to be treated is introduced, and a second opening/closing device 72 which is installed in the treating agent drain port 18 and opens/closes the treating agent drain port 18 when the treating agent 80 to be replaced is drained. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供一种能够有效地更换填充在处理槽内的处理剂的气体处理装置及更换气体处理装置的处理剂的方法。解决方案：气体处理装置10a包括填充有处理剂80的处理槽11.处理槽11具有气体入口15，待处理气体通过该进气口15被引入处理槽11中，气体出口16 使处理槽11的内部气体从处理槽11中流出，将处理剂80引导到处理槽11中的处理剂引入口17，处理剂排出口18，从处理槽11排出待更换的处理剂80，甚至使导入的处理剂80的表面水平均匀的填充促进机构21a。此外，气体处理装置10a包括：第一开闭装置71，安装在处理剂引入口17中，并且当用于处理待处理气体的处理剂80被引入时打开/关闭处理剂引入口17，并且第二打开/关闭偏差 ce 72，其安装在处理剂排出口18中，并且当要更换的处理剂80排出时打开/关闭处理剂排出口18。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2007090276A Treatment method and treatment apparatus for exhaust gas 有权
标题翻译：用于排气的处理方法和处理装置
公开(公告)号：JP2007090276A
公开(公告)日：2007-04-12
申请号：JP2005285106
申请日：2005-09-29
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： MORI YOICHI , SUZUKI YASUHIKO , SHINOHARA TOYOJI
IPC分类号： B01D53/86 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/94
CPC分类号： B01D53/8659 , B01D53/68 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for treating effectively a fluorine-containing compound contained in an exhaust gas, which do not require a deposition and removal by water of a silicon-containing compound with a pretreatment section by hydrolyzing the fluorine-containing compound without depositing SiO 2 from the silicon-containing compound. SOLUTION: The treatment method is provided for the exhaust gas containing the fluorine-containing compound and a compound generating a solid which turns into a catalyst poison on solidification. According to the treatment method and apparatus of the exhaust gas, the exhaust gas is introduced into a space at a temperature at which the solid is not deposited, and heated in the space in the presence of steam and oxygen at the temperature for depositing no solid or more to subject a part of the fluorine-containing compound to a thermolysis, the exhaust gas passing through the space is heated at a catalyst portion in the presence of the steam and oxygen, and the fluorine-containing compound not decomposed at the space is hydrolyzed. A reactor tank has a space portion heating the exhaust gas, which is provided with a plurality of roundabout flow plates, and has an introduction pipe opening in a temperature domain where the introduced water is heated and vaporized. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种方法和装置，用于有效地处理废气中所含的含氟化合物，其不需要通过水解将具有预处理部分的含硅化合物的水沉积并除去含氟化合物，而不含SiO 2 。解决方案：提供了含有含氟化合物的废气和产生固体的化合物在固化时变成催化剂毒物的处理方法。根据废气的处理方法和装置，将废气在不沉积固体的温度下引入空间，并且在蒸汽和氧气存在的空间内在不存在固体的温度下加热以上的部分含氟化合物进行热分解，在蒸汽和氧气的存在下，通过该空间的废气在催化剂部分被加热，并且在该空间未分解的含氟化合物为水解。反应槽具有对排气进行加热的空间部，该排气设置有多个回旋流动板，并且在引入的水被加热和蒸发的温度域中具有导入管开口。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2010158619A Agent of treating fluorine-containing compound, and method of treating emission 有权
标题翻译：处理含氟化合物的代理，以及处理排放的方法
公开(公告)号：JP2010158619A
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：JP2009002192
申请日：2009-01-08
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： MORI YOICHI , KOMAI TETSUO , SHINOHARA TOYOJI , KORIYAMA HIDETO
IPC分类号： B01D53/70 , B01D53/68 , B01J20/04
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a treatment agent excellent in durability capable of efficiently decomposing a fluorine-containing compound in emission, and a method of treating emission. SOLUTION: The agent of treating a fluorine-containing compound in emission is produced by kneading and molding a mixture of Al(OH) 3 having a mean diameter (a median diameter) of at least 55 μm and equal to or smaller than 160 μm and Ca(OH) 2 in a mole ratio of 3:7 to 5:5 into a molded article made to have a bulk density of at least 950 g/L and subsequently drying and calcining the molded article, or by packing a treatment agent comprising a composite oxide as its main component obtained by calcining a mixture of Al(OH) 3 and Ca(OH) 2 , at a packing density of at least 0.68 kg/L. The method of treating emission includes causing the agent to make contact with emission comprising a fluorine-containing compound at a temperature of 550 to 850°C. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够有效地分解含氟化合物的排放性的耐久性优异的处理剂，以及处理发射的方法。解决方案：通过将平均直径（中值粒径）至少为55的Al（OH）3 SBS混合物捏合和模塑来制备排放中的含氟化合物的处理剂 μm且等于或小于160μm的Ca（OH）2 SBB，摩尔比为3:7至5:5的Ca（OH）2 SBB，制成成型体的体积密度为至少950g / 然后干燥和煅烧模塑制品，或通过将包含复合氧化物的处理剂作为其主要组分，通过煅烧Al（OH）3 SB和Ca（OH） 2 ，填充密度至少为0.68kg / L。处理发射的方法包括使试剂在550至850℃的温度下与包含含氟化合物的发射物接触。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2010131584A Gas treatment device and semiconductor manufacturing apparatus 有权
标题翻译：气体处理装置和半导体制造装置
公开(公告)号：JP2010131584A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：JP2009127308
申请日：2009-05-27
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： MORI YOICHI , KOMAI TETSUO , SHINOHARA TOYOJI , KORIYAMA HIDETO , IKEDA HIROSHI
IPC分类号： B01D53/86 , B01D53/68 , B01J23/02 , B01J37/04 , B01J37/08 , H01L21/3065
CPC分类号： Y02C20/30 , Y02P70/605
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas treatment device for efficiently decomposing and treating a gas containing PFC, and having a reduced frequency of replacement of PFC decomposing/treating agent. SOLUTION: The gas treatment device 1 treating the gas containing PFC (perfluoro compound), includes a dehydration unit 10 for reducing H 2 O contained in the gas containing PFC, and a PFC-treating unit 20 configured to introduce the gas containing PFC which has H 2 O reduced by the dehydration unit 10, and filled with a decomposition/treatment agent containing a composite oxide of Al 2 O 3 and CaO for decomposing/treating PFC. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于有效分解和处理含有PFC的气体并且具有降低的PFC分解/处理剂的更换频率的气体处理装置。解决方案：处理含有PFC（全氟化合物）的气体的气体处理装置1包括用于还原含PFC的PFC中含有的H 2 SB 2的脱水装置10以及PFC处理装置 20，其被配置为引入含有通过脱水单元10还原的H 2 SB 2 O 3的含有气体的气体，并且填充有含有Al 2 S 2 O 3的复合氧化物的分解/处理剂用于分解/处理PFC的CaO＆lt; SB＆gt; 3＆gt;和CaO。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2004223302A Exhaust gas treatment method and treatment apparatus therefor 有权
标题翻译：排气处理方法及其处理装置
公开(公告)号：JP2004223302A
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：JP2002352712
申请日：2002-12-04
申请人： Ebara Corp , 株式会社荏原製作所
发明人： SHINOHARA TOYOJI , MORI YOICHI , SUZUKI YASUHIKO , AONO HIROSHI , SHIRAO YUJI
IPC分类号： B01D53/70 , B01D47/06 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/77 , B01D53/86
CPC分类号： Y02A50/2341 , Y02C20/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exhaust gas treatment method capable of efficiently treating a fluorine-containing compound and CO at the same time, reduced in running cost, low in the load to an apparatus material, capable of reducing an apparatus cost and discharging no harmful gas. SOLUTION: At least one of a powder component, a water soluble component and a hydrolizable component contained in an exhaust gas containing at least either of the fluorine-containing compound or CO is removed and, after O 2 and water (H 2 O) are added to the exhaust gas, the exhaust gas containing O 2 and water is heated to decompose or oxidize at least one of the fluorine-containing compound and CO. Subsequently, the acidic gas, which is produced when the fluorine-containing compound is decomposed, is removed from the exhaust gas subjected to decomposition or oxidation treatment. The heating of the exhaust gas containing O 2 and water is preferably performed at 700-900°C. COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够同时有效地处理含氟化合物和CO的排气处理方法，降低运行成本，降低装置材料的负荷，能够减少装置成本和排放无有害气体。解决方案：除去含有至少任一种含氟化合物或CO的废气中所含的粉末成分，水溶性成分和可水解成分中的至少一种，在O 2之后， SB>和水（H 2 O）加入到废气中，将含有O 2 SBB的废气和水加热分解或氧化至少一种氟含氟化合物和CO。随后，当分解或氧化处理的废气中除去在含氟化合物分解时产生的酸性气体。含有O 2 SBB的废气和水的加热优选在700-900℃下进行。版权所有（C）2004，JPO＆NCIPI

9. 发明专利

JP2014231822A 除害機能付真空ポンプ有权
标题翻译：真空泵具有脱氧功能
公开(公告)号：JP2014231822A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：JP2013114275
申请日：2013-05-30
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： NAKAZAWA TOSHIHARU , SUGIURA TETSUO , KAWAMURA KOTARO , SHINOHARA TOYOJI , KYOTANI TAKASHI , ISHIKAWA KEIICHI , KASHIWAGI SEIJI , SUZUKI YASUHIKO , ARAI HIDEO
IPC分类号： F04B37/16 , F04C25/02 , F23G7/06
CPC分类号： B01D53/74 , B01D53/005 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , Y10T137/85978
摘要：【課題】排ガスを許容濃度以下までに処理するために、除害部のカスタマイズ(仕様に応じて変更)を行う必要がなく、設計時間、検証時間の大幅な短縮が可能となり、リードタイム削減を図ることができ、さらに安全許容濃度にあわせて最低限の仕様を提供することによって、最小限のイニシャルコスト、運用コストで除害機能付真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプ1の排気口に、真空ポンプ1から排出された排ガスを処理して無害化する除害部10を付設した真空ポンプ1であって、排ガスの処理形式および/または排ガスの処理量が異なる除害部を複数種類用意し、真空ポンプ1から排出される排ガスのガス量およびガス種に応じて複数種類の除害部10から1又は複数の除害部10を選定し、選定された除害部10を真空ポンプ1の排気口に接続した。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供具有解毒功能的真空泵，其不需要解毒部件的定制（根据规格的变化）以便处理废气以使其成为允许浓度或更小，可以大大减少设计时间和验证时间，能够缩短交货时间，并通过提供安全许可浓度和最低规格，以最低的初始成本和运营成本提供。解决方案：真空泵1设有解毒部分10，处理从真空泵1对真空泵1的排气口进行无害化处理。根据气体量和气体种类，制备排气和/或排气处理量不同的处理形式的多个排毒部从真空泵1排出的废气中，选择多个解毒部10中的一个或两个以上，选择的排毒部10与真空泵1的排气口连接。

10. 发明专利

JP2014227968A 除害機能付真空ポンプ有权
标题翻译：真空泵具有脱氧功能
公开(公告)号：JP2014227968A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：JP2013109907
申请日：2013-05-24
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： KAWAMURA KOTARO , SHINOHARA TOYOJI , SUGIURA TETSUO , ARAI HIDEO , KYOTANI TAKASHI , NAKAZAWA TOSHIHARU , ISHIKAWA KEIICHI , KASHIWAGI SEIJI , SUZUKI YASUHIKO
IPC分类号： F04B39/16 , B01D53/46 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/77 , B01D53/86 , F04B37/16 , F23G7/06 , F23G7/07 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC分类号： B01D53/70 , B01D53/0438 , B01D53/685 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D2251/30 , B01D2252/103 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1124 , B01D2253/206 , B01D2255/10 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2045 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/06 , F04B37/14
摘要：【課題】小型で取り外し可能な除害部を真空ポンプの後段に付設し、付設する除害部の種類・個数・配列の組合せを変更することにより、求められる除害性能にあわせることができる除害機能付真空ポンプを低コストで迅速に提供することを目的とする。【解決手段】真空ポンプ1の排気口に、真空ポンプ1から排出された排ガスを処理して無害化する除害部10を付設した真空ポンプ1であって、排ガスの処理形式および/または排ガスの処理量および/または排ガスの処理性能が異なる複数の除害部10のうち少なくとも一つを真空ポンプ1の排気口に接続した。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了廉价和快速地提供具有解毒功能的真空泵，该真空泵可以通过在真空泵的后部安装小型可移除的解毒部件并且改变其种类，数量和安装的解毒部件的阵列。解决方案：真空泵1设置有解毒部分10，将从真空泵1排出的废气加工成真空泵1的排气口。将真空泵1中的至少一个具有不同排气处理形式的多个解毒单元10和/或排气的排气处理量和/或排气处理性能被连接到真空泵1的排气口。

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