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    • 6. 发明专利
    • 流路構造、吸排気部材、及び処理装置
    • 流动通道结构,吸入/排除构件和加工装置
    • JP2016178115A
    • 2016-10-06
    • JP2015055045
    • 2015-03-18
    • 株式会社東芝
    • 寺田 貴洋田中 正幸加藤 視紅磨
    • C23C16/455F17D1/00H01L21/205
    • F17D1/00F17D1/04
    • 【課題】流体がより均等に吸引又は送出される流路構造を提供する。 【解決手段】一つの実施の形態に係る流路構造は、部材を有する。前記部材に、複数の第1の開口部と、複数の第2の開口部と、流路と、複数の合流分岐部とが設けられる。前記流路は、前記複数の第1の開口部と前記複数の第2の開口部との間を接続する。前記合流分岐部は、前記流路に設けられ、互いに接続される第1の端部をそれぞれ有した複数の第1の部分と、互いに接続される第2の端部をそれぞれ有するとともに前記第1の開口部と前記第2の開口部との間の経路において前記第1の部分よりも前記第2の開口部に近い複数の第2の部分と、をそれぞれ有する。前記合流分岐部のそれぞれの前記第1の端部と前記第2の端部とが接続される。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种流体更均匀地吸入或排出的流路结构。解决方案:根据一个实施例的流路结构包括构件。 多个第一孔,多个第二孔,流道和多个合并/分支单元设置在该构件中。 流动通道将多个第一孔与多个第二孔连接。 每个合流/分支单元设置在流动通道中,并且包括多个第一部分,每个第一部分具有彼此连接的各个第一端和多个第二部分,每个第二部分具有彼此连接的单独的第二端,并且更接近 与第一部分相比,第二孔在第一孔和第二孔之间的路径中。 第一端和第二端连接在每个合并/分支单元中。选择图:图2