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    • 7. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2014199406A
    • 2014-10-23
    • JP2013189245
    • 2013-09-12
    • 株式会社半導体エネルギー研究所Semiconductor Energy Lab Co Ltd
    • YAMAZAKI SHUNPEIMIYAKE HIROYUKISHISHIDO HIDEAKIKOYAMA JUN
    • G02F1/1368G09F9/30H01L21/336H01L29/786
    • H01L27/1225H01L27/1255H01L29/7869
    • 【課題】開口率が高く、且つ電荷容量を増大させることが可能な容量素子を有する半導体装置を提供する。また、消費電力を低減する可能な半導体装置を提供する。【解決手段】透光性を有する半導体膜を含むトランジスタと、一対の電極の間に誘電体膜が設けられた容量素子と、透光性を有する半導体膜上に設けられた絶縁膜と、絶縁膜上に設けられた第1の透光性を有する導電膜とを有し、容量素子において、一方の電極として機能する第1の透光性を有する導電膜と、誘電体として機能する上記絶縁膜と、該絶縁膜を介して第1の透光性を有する導電膜と対向し、且つ他方の電極として機能する第2の透光性を有する導電膜を有する。また、該第2の透光性を有する導電膜は、トランジスタの透光性を有する半導体膜と同一表面上に形成され、且つドーパントを含む金属酸化物膜である。【選択図】図15
    • 要解决的问题:提供一种包括电容元件的半导体器件,其电容量增加同时提高开口率并提供消耗更少功率的半导体器件。解决方案:半导体器件包括晶体管,其包括透光半导体膜 电容元件,其中在一对电极之间设置电介质膜,设置在透光半导体膜上的绝缘膜和设置在绝缘膜上的第一透光性导电膜。 该电容元件包括:作为一个电极的第一透光性导电膜,作为电介质的绝缘膜,和位于第一透光性导电膜之间的第二透光性导电膜,绝缘膜位于第一透光性导电膜之间, 作为另一个电极。 第二透光导电膜形成在与晶体管的透光半导体膜相同的表面上,并且是含有掺杂剂的金属氧化物膜。