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    • 4. 发明专利
    • 電気機械変換素子とその製造方法、及び電気機械変換素子を有する液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置
    • 电动转换元件及其制造方法,具有机电转换元件的喷射头排出头,以及具有喷射头排出头的喷射器排出装置
    • JP2015103748A
    • 2015-06-04
    • JP2013245149
    • 2013-11-27
    • 株式会社リコー
    • 水上 智佐野 武近藤 尚弥
    • B41J2/045B41J2/055H01L41/09H01L41/257H01L41/29H01L41/319H01L41/318H01L41/43H01L21/314H01L41/047
    • 【課題】所望の分極状態を呈し、電気特性に優れ且つ耐久性に優れる電気機械変換素子を提供する。 【解決手段】基板401上に形成された共通電極である第1の電極403と、第1の電極上に形成された電気機械変換膜404と、電気機械変換膜上に形成された個別電極である第2の電極405と、第1の電極及び第2の電極上に設けられ、コンタクトホールを有する第1の絶縁保護膜406と、第1の電極と導通がとれるように形成された第3の電極407と、第2の電極と導通がとれるように形成された第4の電極408と、第3の電極上に形成された共通電極用パッド412と第4の電極上に形成され所定の列内に複数配置された個別電極用パッド411とを有する第2の絶縁保護膜409と、個別電極用パッドのそれぞれの近傍を囲うように形成された第5の電極410とを備え、第5の電極は、第1の絶縁保護膜上に形成され第1の電極と導通している。 【選択図】図8
    • 要解决的问题:提供具有期望的极化状态,优异的电特性和优异的耐久性的机电转换元件。解决方案:机电转换元件包括:形成在基板401上的作为公共电极的第一电极403; 形成在第一电极403上的机电转换膜404; 作为形成在机电转换膜404上的单独电极的第二电极405; 具有设置在第一电极403和第二电极405上的接触孔的第一绝缘保护膜406; 形成为与第一电极403进行导电的第三电极407; 形成为与第二电极405导通的第四电极408; 具有形成在第三电极407上的公共电极焊盘412和形成在第四电极408上的预定线上的多个单独电极焊盘411的第二绝缘保护膜409; 以及形成为围绕每个单独电极焊盘411附近的第五电极410.第五电极410形成在第一绝缘保护膜上并电连接到第一电极403。