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    • 7. 发明专利
    • ガス電子増幅器用イオンフィルター
    • 气体放大器离子过滤器
    • JP2016062736A
    • 2016-04-25
    • JP2014189318
    • 2014-09-17
    • 株式会社フジクラ
    • 荒井 大輔
    • G01T1/18H01J47/14
    • 【課題】電子増幅器100に用いられるイオンフィルター10を提供する。 【解決手段】 複数の貫通孔が形成される絶縁性基材11と、絶縁性基材の一方主面上に形成された第1導電層パターン12と、絶縁性基材の他方主面上に形成された第2導電層パターン13と、を有し、絶縁性基材の一方主面側が、電子増幅器における電子の移動方向の上流側に配置され、絶縁性基材の他方主面側が、電子増幅器における電子の移動方向の下流側に配置され、第1導電層パターン12の線幅が、前記第2導電層パターン13の線幅よりも短くなるように構成する。 【選択図】 図2C
    • 要解决的问题:提供一种用于电子放大器100的离子过滤器10.解决方案:一种离子过滤器包括:绝缘基材11,其包括形成在其中的多个通孔; 形成在绝缘基材的一个主表面上的第一导电层图案12; 以及形成在绝缘基材的另一个主表面上的第二导电层图案13。 绝缘基材的一个主表面的一侧被布置在电子放大器中的电子移动方向的上游侧,绝缘基材的另一个主表面的一侧被布置在下游侧的运动 电子放大器中的电子方向,第一导电层图案12的线宽比第二导电层图案13的线宽短。图2C
    • 10. 发明专利
    • イオンフィルターの製造方法
    • 离子过滤器的制造方法
    • JP2016062734A
    • 2016-04-25
    • JP2014189316
    • 2014-09-17
    • 株式会社フジクラ
    • 荒井 大輔松村 和俊
    • H01J47/06H01J9/02
    • 【課題】電子増幅器100に用いられるイオンフィルター10の製造方法を提供する。 【解決手段】 絶縁性基材と、絶縁性基材11の一方主面に第1の材料で形成された導電層12Aと、絶縁性基材11の他方主面に、第1の材料とは異なる第2の材料で形成された導電層13Aと、を備えた基材を準備する工程と、一方主面に形成された導電層12Aの所定領域を除去して所定パターンの第1導電層12を形成する工程と、一方主面側からレーザーを照射して又はエッチング液を用いて、絶縁性基材11の所定領域に対応する領域を除去する工程と、所定領域が除去された基材10Aの両面側からエッチング液を作用させて、他方主面に形成された導電層13Aのうち所定領域に対応する領域を除去する工程と、を有するイオンフィルターの製造方法を提供する。 【選択図】 図3
    • 要解决的问题:提供一种用于电子放大器100中的离子过滤器10的制造方法。解决方案:提供一种离子过滤器的制造方法,包括以下步骤:制备基材,其包括绝缘基材, 在绝缘基材11的一个主表面上由第一材料形成的导电层12A和由绝缘基材11的另一主表面上的与第一材料不同的第二材料形成的导电层13A; 去除形成在一个主表面上的导电层12A的预定区域以形成预定图案的第一导电层12; 从一个主表面的侧面施加激光束,或者使用蚀刻剂去除对应于绝缘基材11的预定区域的区域; 并允许蚀刻剂从预定区域被去除的基材10A的两个表面侧起作用,从而去除与形成在另一个主表面上的导电层13A的预定区域相对应的区域。图3