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1. 发明专利

JP2019070825A 露光装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019070825A
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：JP2018238833
申请日：2018-12-20
申请人：株式会社ニコン
发明人：西永壽 , 引間郁雄 , 豊田光紀 , 水野恭志 , 北尚憲 , 谷津修
IPC分类号： G03F7/20
摘要：【課題】投影光学系の開口数が増大しても投影光学系からの露光光を受光して、各種の計測を行うことができる露光装置等を提供する。【解決手段】露光装置は、投影光学系と、投影光学系の像面側に配置された基板上に供給される液体とを介して基板に露光光を照射する。露光装置は、投影光学系に対して移動可能なステージと、ステージに設けられ、投影光学系に対向して配置された状態で液体に接する第1面、および投影光学系と液体とを介して第1面から入射した露光光を射出させる第2面を有する光学部材と、第2面から射出した露光光を受光する受光面を有し、受光面と第2面との間に気体を介在させて配置される受光素子と、を備える。第2面は、少なくとも1つの曲面が形成された曲面部と、凹凸が形成された凹凸部との少なくとも一方を含む。【選択図】図5

2. 发明专利

JP5854084B2 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP5854084B2
公开(公告)日：2016-02-09
申请号：JP2014113676
申请日：2014-06-02
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70108

3. 发明专利

JP5790572B2 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP5790572B2
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：JP2012083222
申请日：2012-03-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：西永壽 , 引間郁雄 , 豊田光紀 , 水野恭志 , 北尚憲 , 谷津修
IPC分类号： G03F7/20

4. 发明专利

JP2015172749A 照明光学装置、露光装置および露光方法有权
标题翻译：照明光学装置，曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：JP2015172749A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：JP2015076937
申请日：2015-04-03
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 西永壽 , 工藤威人
IPC分类号： G02B19/00 , G03F7/20
摘要：【課題】様々な特性を有するマスクパターンを忠実に転写するために必要な適切な照明条件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状態などに関して多様性に富んだ照明条件を実現できる照明光学装置を提供する。【解決手段】被照射面Mを照明する照明光学装置。照明光学装置の瞳面またはその近傍に、光軸AXを含む中心領域に位置する光強度分布と光軸から間隔を隔てた複数の周辺領域に位置する光強度分布とを有する照明瞳分布を形成するための照明瞳形成手段3,4,7,8と、複数の周辺領域に位置する光強度分布の位置および大きさを中心領域に位置する光強度分布とは独立して変更するための領域変更手段6(6a,6b)とを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种照明光学装置，其能够实现对具有不同特性的掩模图案的精确传送所需的适当照明条件，例如，二次光源的光强度分布或极化状态各种各样的照明条件。照明光学装置用于点亮被照射的表面M，并且包括形成光束的照明光瞳形成装置3,4,7和8 具有位于包括光轴AX的中心区域的光强度分布的照明光瞳分布和位于距离光轴的间隔多个周边区域的光强度分布和区域修改装置6（6a和6b）位于周边区域中的光强度分布的位置和大小，与位于中心区域的光强度分布无关，在照明光学装置的光瞳表面或瞳孔表面附近。

5. 发明专利

JP2015132848A 照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット有权
标题翻译：照明光学系统，曝光装置，制造装置的方法和偏振装置
公开(公告)号：JP2015132848A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2015076962
申请日：2015-04-03
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G02B19/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B27/286 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G03F7/0007
摘要：【課題】光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有与瞳孔强度分布的轮廓和偏振状态的变化相关的高灵活性的照明光学系统，而不伴随着光学构件的交换。照明光学系统照明照明物镜表面，光源，该系统包括：空间光调制器，具有布置在预定平面中的多个光学元件，并分别控制并且可变地在照明光学系统的照明光瞳上形成光强度分布; 以及偏振单元，其被设置在与所述空间光调制器的照明物体表面侧的光路中的所述预定平面的光学共轭位置处，并且改变入射光束中的一部分光束的偏振状态以退出。

6. 发明专利

JP6410115B2 照明光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6410115B2
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：JP2017014137
申请日：2017-01-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修
IPC分类号： G02B19/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70108

7. 发明专利

JP6330830B2 照明光学装置、露光装置および露光方法有权
公开(公告)号：JP6330830B2
公开(公告)日：2018-05-30
申请号：JP2016026244
申请日：2016-02-15
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 西永壽 , 工藤威人
IPC分类号： G02B5/00 , G02B19/00 , G03F7/20

8. 发明专利

JP2017142517A 偏光変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法有权
公开(公告)号：JP2017142517A
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：JP2017063051
申请日：2017-03-28
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 重松幸二 , 廣田弘之 , 松山知行
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70566 , F21V13/02 , F21V9/14 , G02B27/286 , G03F7/701 , G03F7/70191 , G03F7/70308
摘要：【課題】光量損失を抑えつつ、ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の入射光を、ほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換することのできる偏光変換素子を提供する。【解決手段】入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子10。たとえば水晶のような旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有する。厚さ分布は、ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の光を、ほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換するように設定されている。周方向に分割された複数の領域10A〜10Dを有し、この複数の領域において隣り合う任意の2つの領域の厚さが互いに異なる。また、複数の領域において対向する任意の2つの領域は、互いにほぼ等しい旋光角度を有する。【選択図】図5

9. 发明专利

JP6086267B2 照明光学系、照明方法、露光装置、およびデバイス製造方法有权
标题翻译：的照明光学系统，照明方法，曝光装置，以及元件制造方法
公开(公告)号：JP6086267B2
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：JP2015236041
申请日：2015-12-02
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70108

10. 发明专利

JP2017004025A 照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット审中-公开
标题翻译：的照明光学系统，曝光装置，器件制造方法，和偏振单元
公开(公告)号：JP2017004025A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2016192649
申请日：2016-09-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G03F7/22 , G02B19/00 , G02B5/30 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B27/286 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G03F7/0007
摘要：【課題】光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：甲没有光学部件的交换，具有相对于在光瞳强度分布的形状和偏振状态的变化的自由度高的照明光学系统。用于从光源通过光照射被照射面的照明光学系统具有多个被单独控制被布置在预定平面内的光学元件的，在照明光学系统的照明光瞳的光强度分布用于可变地形成，比所述空间光调制器的空间光调制器被布置在与所述照射面的光路中的位置，入射光束的光束的一部分的预定表面光学共轭并且通过改变偏振态发射偏振单元。点域1

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