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3. 发明专利

JP2016035604A 撮像装置审中-公开
标题翻译：成像设备
公开(公告)号：JP2016035604A
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：JP2015246500
申请日：2015-12-17
申请人：株式会社ニコン
发明人：大内由美子 , 竹内淳 , 益田恵太
IPC分类号： G02B21/22
摘要：【課題】微細な物体の立体構造を詳細に観察するのに適した撮像装置を提供する。【解決手段】本発明の撮像装置は、物体側(1)から順に、対物レンズ(11)と、ズーム結像光学系(13、14)と、撮像素子(10)とを配置した撮像装置であって、前記ズーム結像光学系は、前記ズーム結像光学系のズームポジションに関わらず前記ズーム結像光学系の入射瞳を略同一の瞳位置に保ち、前記瞳位置と略同一の位置において前記ズーム結像光学系の光軸と交差する面内に、入射光を減光するマスク部と、前記マスク部よりも高い透過率で入射光を透過させる開口部とを配置した光選択手段(12)と、前記面内の3以上の領域に前記光選択手段の前記開口部の形成位置を移動させ、前記開口部の形成位置の異なる3以上の各状態において前記物体を前記撮像素子で撮像することにより、前記物体に関する3以上の視差画像を時分割で生成する制御手段(100)とを備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种适用于细微物体的三维结构的详细观察的成像装置。解决方案：本发明的成像装置包括物镜（11），变焦成像光学系统（13），14）以及从物体（1）按顺序排列的成像装置（10）。每个变焦图像形成光学系统（13,14）包括：光选择装置（12），包括掩模部分，其将变焦成像光学系统的入射光瞳保持在几乎相同的光瞳位置，而与变焦位置无关的缩小图像形成光学系统，并且将与放大成像光学系统的光轴相交的表面内的入射光减小到与瞳孔位置几乎相同的位置，并且将入射光的透射率更高传输速率比掩模部分; 以及控制装置（100），其将所述光选择装置的开口的形成位置移动到所述表面中的三个或更多个区域中，在所述开口的三个或更多个不同形成位置的每个状态下，利用所述成像装置对所述物体进行成像，从而以时分方式生成对象的三个或更多个视差图像

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