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1. 发明专利

JP2021140189A 放電ランプ审中-公开
公开(公告)号：JP2021140189A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2021096593
申请日：2021-06-09
申请人：株式会社ニコン
发明人：白数廣 , 青木保夫 , 小山元夫 , 菊池孝幸
IPC分类号： H01J5/50 , H01J61/52 , G03F7/20
摘要：【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを位置決め板50に押圧する押圧力が付勢される固定部26hとを有し、取り付け装置31は、圧縮コイルばね44Aによって固定部26hを付勢する固定用アーム55Aを有する。【選択図】図8

2. 发明专利

JP2020102464A 放電ランプ审中-公开
公开(公告)号：JP2020102464A
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：JP2020066042
申请日：2020-04-01
申请人：株式会社ニコン
发明人：白数廣 , 青木保夫 , 小山元夫 , 菊池孝幸
IPC分类号： H01J61/86 , G03F7/20 , H01J5/50
摘要：【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを位置決め板50に押圧する押圧力が付勢される固定部 26hとを有し、取り付け装置31は、圧縮コイルばね44Aによって固定部26hを付勢する固定用アーム55Aを有する。【選択図】図8

3. 发明专利

JP6628154B2 物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法有权
公开(公告)号：JP6628154B2
公开(公告)日：2020-01-08
申请号：JP2017070706
申请日：2017-03-31
申请人：株式会社ニコン
发明人：青木保夫 , 浜田智秀 , 白数廣 , 戸口学
IPC分类号： H01L21/683 , G03F7/22

4. 发明专利

JP2017142523A 移動体装置、物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017142523A
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：JP2017070706
申请日：2017-03-31
申请人：株式会社ニコン
发明人：青木保夫 , 浜田智秀 , 白数廣 , 戸口学
IPC分类号： H01L21/683 , G03F7/22
CPC分类号： G03F7/70716 , B65G49/065 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/68 , H01L21/6838 , B65G2249/04 , Y10T29/49998
摘要：【課題】基板の対する処理を高精度で行う。【解決手段】基板Pの下方には、基板Pの下面にエアを噴出する複数のエア浮上ユニット50が配置され、基板Pは、概ね水平となるように非接触支持される。また、基板Pは、定点ステージ40により被露光部位が下方から非接触保持され、その被露光部位の面位置がピンポイントで調整される。従って、基板Pに高精度で露光を行うことができ、かつ基板ステージ装置PSTの構成を簡単にすることができる。【選択図】図2

5. 发明专利

JP5849955B2 移動体装置、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法有权
标题翻译：移动装置，曝光装置，曝光方法，制造平板显示器的方法，以及元件制造方法
公开(公告)号：JP5849955B2
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：JP2012532863
申请日：2011-09-06
申请人：株式会社ニコン
发明人：青木保夫 , 戸津政浩 , 河江國博 , 白数廣 , 中島肇
IPC分类号： G12B5/00 , H01L21/68 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70758

6. 发明专利

JP2021114626A 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021114626A
公开(公告)日：2021-08-05
申请号：JP2021072741
申请日：2021-04-22
申请人：株式会社ニコン
发明人：菅谷功 , 有泉英二 , 鬼頭義昭 , 牛島幹雄 , 荒俣政徳 , 桐部直人 , 白数廣 , 三ッ石創 , 福田稔 , 角田真生
IPC分类号： H01L21/02
摘要：【課題】基板貼り合わせのスループットを向上させる基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法を提供する。【解決手段】基板張り合わせ装置において、第1の基板211および第2の基板213が接触する接触領域を第1の基板および第2の基板の一部に形成し、接触領域が一部から拡大するように第1の基板と第2の基板とを貼り合わせる張り合わせ部300は、接触領域の拡大の状態に関する情報を検出する検出部341と、検出部で検出した情報が所定の条件を満たしているか否かを判断する判断部150と、を備える。【選択図】図11

7. 发明专利

JP2020043369A 移動体装置、物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020043369A
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：JP2019222079
申请日：2019-12-09
申请人：株式会社ニコン
发明人：青木保夫 , 浜田智秀 , 白数廣 , 戸口学
IPC分类号： G03F7/22 , H01L21/677 , H01L21/68
摘要：【課題】基板の対する処理を高精度で行う。【解決手段】基板Pの下方には、基板Pの下面にエアを噴出する複数のエア浮上ユニット50が配置され、基板Pは、概ね水平となるように非接触支持される。また、基板Pは、定点ステージ40により被露光部位が下方から非接触保持され、その被露光部位の面位置がピンポイントで調整される。従って、基板Pに高精度で露光を行うことができ、かつ基板ステージ装置PSTの構成を簡単にすることができる。【選択図】図2

8. 发明专利

JP2017224626A 放電ランプ审中-公开
公开(公告)号：JP2017224626A
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：JP2017153211
申请日：2017-08-08
申请人：株式会社ニコン
发明人：白数廣 , 青木保夫 , 小山元夫 , 菊池孝幸
IPC分类号： H01J61/52 , H01J5/50
CPC分类号： F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
摘要：【課題】ランプの冷却機能を備えた光源装置に適用できる放電ランプを提供する。【解決手段】発光部を備えるガラス部材の第1方向における一方の側の端部に対向して設けられる第1部材を有し、前記第1部材は、フランジ部と、前記第1方向において、前記フランジ部に関して前記ガラス部材とは反対側に設けられており、前記第1方向と直交する第2方向の外形形状が、前記フランジ部の前記第2方向の外形形状よりも小さい軸部材とを備え、前記軸部材は、前記軸部材の内部を通過する流体路を備え、前記流体路は、前記軸部材の表面の前記第1方向に異なる位置に設けられた第1開口および第2開口に連通する、放電ランプ。【選択図】図8

9. 发明专利

JP2016192415A 放電ランプ审中-公开
标题翻译：放电灯
公开(公告)号：JP2016192415A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：JP2016153431
申请日：2016-08-04
申请人：株式会社ニコン
发明人：白数廣 , 青木保夫 , 小山元夫 , 菊池孝幸
IPC分类号： H01J7/26 , G03F7/20 , F21V19/00 , F21V29/503 , F21V29/60 , F21Y101/00 , H01J5/52
CPC分类号： F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
摘要：【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを位置決め板50に押圧する押圧力が付勢される固定部26hとを有し、取り付け装置31は、圧縮コイルばね44Aによって固定部26hを付勢する固定用アーム55Aを有する。【選択図】図8
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在短时间内容易地将放电灯安装在安装机构上的光源装置。解决方案：光源装置配备有放电灯1，放电灯1具有形成光的玻璃管25 发光部和与其连接的金属盖26，以及经由金属盖26保持放电灯1的安装装置31.其中，金属盖26具有与安装装置的定位板50接触的凸缘部26a 31，以及通过将凸缘部26a按压到定位板50的按压力被推压的固定部26h。另外，安装装置31具有通过压缩螺旋弹簧44A推压固定部26h的固定臂55A。选择图：图8

10. 发明专利

JP2016021414A 放電ランプ、光源装置、露光装置、及びデバイス製造方法有权
标题翻译：放电灯，光源装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：JP2016021414A
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：JP2015193039
申请日：2015-09-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：白数廣 , 青木保夫 , 小山元夫 , 菊池孝幸
IPC分类号： H01J7/26 , H01J5/60 , G03F7/20 , H01J5/56
CPC分类号： F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
摘要：【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを位置決め板50に押圧する押圧力が付勢される固定部26hとを有し、取り付け装置31は、圧縮コイルばね44Aによって固定部26hを付勢する固定用アーム55Aを有する。【選択図】図8
摘要翻译：要解决的问题：提供一种光源装置，其中可以在短时间内容易地进行放电灯到装配机构的附接等。解决方案：一种光源装置，包括：放电灯1，其具有形成发光部的玻璃管25和与其结合的盖26; 以及用于经由盖26保持放电灯1的附接装置31.帽26包括：抵靠附接装置31的定位板50的凸缘26a; 以及固定部26h，施加用于将凸缘26a按压在定位板50上的按压力。附接装置31包括通过螺旋压缩弹簧44A促使固定部分26h的固定臂55A。选择的图示：图8

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