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1. 发明专利

JP6168187B2 照明光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP6168187B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2016073847
申请日：2016-04-01
申请人：株式会社ニコン
发明人：三宅範夫 , 加藤欣也
IPC分类号： G02B17/08 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/7015 , G02B26/0816 , G02B27/0927 , G02B27/286 , G02B5/3083 , G03F7/20 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70566

2. 发明专利

JP2017004025A 照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット审中-公开
标题翻译：的照明光学系统，曝光装置，器件制造方法，和偏振单元
公开(公告)号：JP2017004025A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2016192649
申请日：2016-09-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G03F7/22 , G02B19/00 , G02B5/30 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B27/286 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G03F7/0007
摘要：【課題】光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：甲没有光学部件的交换，具有相对于在光瞳强度分布的形状和偏振状态的变化的自由度高的照明光学系统。用于从光源通过光照射被照射面的照明光学系统具有多个被单独控制被布置在预定平面内的光学元件的，在照明光学系统的照明光瞳的光强度分布用于可变地形成，比所述空间光调制器的空间光调制器被布置在与所述照射面的光路中的位置，入射光束的光束的一部分的预定表面光学共轭并且通过改变偏振态发射偏振单元。点域1

3. 发明专利

JP6742604B2 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP6742604B2
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：JP2019109232
申请日：2019-06-12
申请人：株式会社ニコン
发明人：三宅範夫 , 加藤欣也
IPC分类号： G02B5/30 , G03F7/20

4. 发明专利

JP2016153904A 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法有权
标题翻译：照明光学系统，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：JP2016153904A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：JP2016073847
申请日：2016-04-01
申请人：株式会社ニコン
发明人：三宅範夫 , 加藤欣也
IPC分类号： G02B17/08 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , G02B26/0816 , G02B27/0927 , G02B27/286 , G02B5/3083 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要：【課題】偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、第1面に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する第1空間光変調器と、第1面よりも被照射面側の光路中に配置されて、照明光学系の光軸を横切る面内の第1領域を通過する第1光束に、横切る面内における第1領域とは異なる第2領域を通過する第2光束とは異なる偏光状態の変化を与える偏光部材と、第1面よりも被照射面側の光路中または第1面よりも光源側の光路中の第2面に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する第2空間光変調器とを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在偏振状态变化方面具有高自由度的照明光学系统。解决方案：一种用于利用来自光源的光照明照明物镜表面的照明光学系统包括：第一空间光调制器，其具有多个光学元件布置在第一平面上并且可分别控制; 偏振构件，其布置在相对于第一平面的照明物镜表面侧上的光路中，并且将偏振状态改变为通过与照明光学器件的光轴相交的平面中的第一区域的第一光束系统中，极化状态的变化不同于给予通过与交叉平面中的第一区域不同的第二区域的第二光束的偏振态的变化; 以及第二空间光调制器，其布置在相对于第一平面的照明物体对象表面侧的光路中或相对于第一平面在光源侧的光路中，具有布置在第一平面上的多个光学元件第二平面并且可单独控制，并且可变地在照明光学系统的照明光瞳上形成光强度分布。图1

5. 发明专利

JP2015132848A 照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット有权
标题翻译：照明光学系统，曝光装置，制造装置的方法和偏振装置
公开(公告)号：JP2015132848A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2015076962
申请日：2015-04-03
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G02B19/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B27/286 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G03F7/0007
摘要：【課題】光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有与瞳孔强度分布的轮廓和偏振状态的变化相关的高灵活性的照明光学系统，而不伴随着光学构件的交换。照明光学系统照明照明物镜表面，光源，该系统包括：空间光调制器，具有布置在预定平面中的多个光学元件，并分别控制并且可变地在照明光学系统的照明光瞳上形成光强度分布; 以及偏振单元，其被设置在与所述空间光调制器的照明物体表面侧的光路中的所述预定平面的光学共轭位置处，并且改变入射光束中的一部分光束的偏振状态以退出。

6. 发明专利

JP2019185052A 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019185052A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2019109232
申请日：2019-06-12
申请人：株式会社ニコン
发明人：三宅範夫 , 加藤欣也
IPC分类号： G02B5/30 , G03F7/20
摘要：【課題】偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、光源からの光が入射する複数の光学要素を有する第1空間光変調器と、第1空間光変調器からの光のうち照明光学系の光軸に関して互いに異なる位置を通過する第1光および第2光の偏光状態を互いに異なる偏光状態にするために、第1光が入射する第1偏光素子と第2光が入射する第2偏光素子とを有する偏光部材と、偏光部材からの第1光および第2光が入射する複数の光学要素を有する第2空間光変調器とを備え、第1偏光素子の入射面の面積と第2偏光素子の入射面の面積とは互いに異なる。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2017037323A 照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2017037323A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2016192650
申请日：2016-09-30
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G02B5/30 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B27/286 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G03F7/0007
摘要：【課題】光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。【解決手段】光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。【選択図】図1

8. 发明专利

JP5910890B2 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP5910890B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2013520404
申请日：2011-11-25
申请人：株式会社ニコン
发明人：三宅範夫 , 加藤欣也
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , G02B26/0816 , G02B27/0927 , G02B27/286 , G02B5/3083 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70566

9. 发明专利

JP5835647B2 反射屈折撮影レンズ有权
标题翻译：反射折射成像透镜
公开(公告)号：JP5835647B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2011146958
申请日：2011-07-01
申请人：株式会社ニコン
发明人：松本実保 , 平山義一 , 加藤欣也 , 杉山喜和
IPC分类号： G02B17/08
CPC分类号： G02B17/0804 , G02B17/0816

10. 发明专利

JP6311949B2 照明光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP6311949B2
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：JP2017064279
申请日：2017-03-29
申请人：株式会社ニコン
发明人：谷津修 , 田中裕久 , 加藤欣也 , 森孝司
IPC分类号： G02B5/00 , G02B19/00 , G02B5/30 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B26/0816 , G02B26/0833 , G02B27/286 , G03F7/0007 , G03F7/70116 , G03F7/70566

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