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    • 1. 发明专利
    • 試験装置
    • JP2020193899A
    • 2020-12-03
    • JP2019100390
    • 2019-05-29
    • 株式会社アドバンテスト
    • 豊田 直哉秋田 康樹
    • G01R31/319G01R31/26G01R31/28
    • 【課題】パターンプログラムの進行と対応付けて、アナログ信号の波形データを取得する。 【解決手段】波形データ取得モジュール140は、DUT2に関連する電気信号をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ152と、デジタル信号の列である波形データを格納する第1メモリユニット155と、を含む。ファンクション試験モジュール130は、試験ユニット132と第2メモリユニット134とを含む。上位コントローラ110は、波形データ取得モジュール140にサンプリング開始を指示し、その時刻t 1 を保持し、ファンクション試験モジュール130にパターンプログラムの実行開始を指示し、その時刻t 2 を保持する。第1メモリユニット155は、サンプリングの開始の時刻t 1 ’を記録する。上位コントローラ110は、第2メモリユニット134は、パターンプログラムの実行開始の時刻t 2 ’を記録する。 【選択図】図11