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1. 发明专利

JP2015053208A イオン源有权
标题翻译：离子源
公开(公告)号：JP2015053208A
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：JP2013185956
申请日：2013-09-09
申请人：日新イオン機器株式会社 , Nissin Ion Equipment Co Ltd
发明人： SAKAMOTO TAKASHI
IPC分类号： H01J27/02 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/317
摘要：【課題】プラズマ生成用容器内部で生成された炭素化合物の蒸発を抑制し、長期間に渡ってイオン源を安定稼働させる。【解決手段】炭素イオンを含むイオンビームを発生させるイオン源ISであって、少なくとも炭素を含有するプロセスガスと少なくともヘリウムを含有する希釈ガスが供給されるプラズマ生成容器1と、プラズマ生成容器1の端部に容器壁面と電気的に離間するように配置され、熱電子を放出する熱電子放出部とを備えている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：通过抑制用于等离子体生产的容器内产生的碳化合物的蒸发来长时间地稳定地操作离子源。解决方案：产生含有碳离子的离子束的离子源IS包括：等离子体产生容器 1，至少含有至少含有氦的碳和稀释气体的工艺气体; 以及热电子发射部，其设置在与血管壁表面电分离的等离子体产生容器1的端部，并且发射热电子。

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