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    • 2. 发明专利
    • サファイア基板と半導体発光素子
    • SAPPHIRE基板和半导体发光元件
    • JP2016103655A
    • 2016-06-02
    • JP2016004547
    • 2016-01-13
    • 日亜化学工業株式会社
    • 成田 准也岡田 卓也若井 陽平井上 芳樹佐幸 直也家段 勝好
    • H01L33/32H01L33/22
    • H01L33/22H01L21/0242H01L21/0243H01L21/02458H01L21/0254H01L33/007H01L33/10H01L33/20H01L33/32Y10T428/24Y10T428/24479
    • 【課題】光取り出し効率に優れた窒化物半導体発光素子を構成することが可能な窒化物半導体発光素子用のサファイア基板を提供する。 【解決手段】一方の主面に複数の凸部を備え、その一方の主面に窒化物半導体が成長されて半導体発光素子が形成されるサファイア基板であって、複数の凸部の底面はそれぞれ略多角形であり、その底面の各辺がそれぞれ中央部に窪みを有することにより、前記複数の凸部のそれぞれは、該凸部の中心から先端に向かって延びる延在部を有しており、延在部の延伸方向がそれぞれサファイア結晶のa軸を30度回転させた方向の±10度の範囲にあり、複数の凸部はそれぞれ、延在部が中心を含む中央部で互いに分離されてなる複数のサブ凸部を有する。 【選択図】図9
    • 要解决的问题:提供一种氮化物半导体发光元件的蓝宝石衬底,其可以构成具有优异的光提取效率的氮化物半导体发光元件。解决方案:蓝宝石衬底包括在一个主表面上的多个突起,氮化物 半导体在一个主表面上生长以形成半导体发光元件。 每个突起具有基本上多边形形状的底表面。 底表面的每一侧包括在中心部分中的凹陷,并且由此每个突起具有从其中心向其顶端延伸的延伸部分。 每个延伸部分的延伸方向在蓝宝石晶体的a轴旋转30度的方向的±10度的范围内。 每个突起具有通过在包括中心的中心部分分割延伸部而形成的多个副突起。图示:图9