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    • 2. 发明专利
    • ラッチ構造
    • 锁定结构
    • JP2016098641A
    • 2016-05-30
    • JP2014257851
    • 2014-12-19
    • 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
    • 羅孝嘉林志銘
    • H01L21/673E05C21/00
    • F16C29/005F16C29/004H01L21/67373F16C2226/74F16C29/04
    • 【課題】ラッチ位置の一定方向装置を提供する。 【解決手段】本発明のラッチ位置の一定方向装置は、ウエハキャリアケースの底部に取り付けられ、少なくとも1つの摺動溝を備えた一定方向装置と、少なくとも1つの凹溝を有する少なくとも1つの側板を備えたラッチ板と、少なくとも1つの摺動溝と少なくとも1つの凹溝の間に設けられた少なくとも1つの転がり部材と、を含む。ラッチ板と一定方向装置は、少なくとも1つの転がり部材を通じて互いに嵌合し、且つラッチ板が一定方向装置の案内を介して位置を移動する。上記構造を介してウエハキャリアケースをロック或いはアンロックする機械動作をより一層正確にさせ、同時に故障率と微粒子による汚染を減らす。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种用于闩锁位置的固定方向装置。解决方案:根据本发明的用于闩锁位置的固定方向装置包括:安装到晶片载体的底部的固定方向装置, 包括至少一个滑动槽; 闩锁板,包括至少一个具有至少一个凹槽的侧板; 以及设置在至少一个滑动槽和所述至少一个凹槽之间的至少一个滚动构件。 闩锁板和固定方向装置经由至少一个滚动部件彼此配合,并且在固定方向装置的引导下,闩锁板移位。 通过上述结构锁定或解锁晶片载体壳体的机械操作更加准确,并且同时降低了故障率和细颗粒污染。选择图:图2