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1. 发明专利

JPWO2014054741A1 走査型トンネル顕微鏡および観察画像表示方法有权
标题翻译：扫描隧道显微镜和观察图像显示方法
公开(公告)号：JPWO2014054741A1
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：JP2014511006
申请日：2013-10-03
申请人：国立研究開発法人科学技術振興機構
发明人：彰齋藤 , 彰齋藤
IPC分类号： G01Q30/04 , G01B7/00 , G01Q60/10
CPC分类号： G01Q60/12 , G01Q30/04
摘要：走査型トンネル顕微鏡は、探針と、探針と試料との間の距離を制御する制御部と、探針と試料との間に直流電圧を印加する電圧印加部と、直流電圧によって探針と試料との間に流れるトンネル電流を計測する計測部と、計測部により計測されたトンネル電流の瞬時値のうち特定の周波数成分を観察値として抽出する抽出部と、抽出部により抽出された観察値に基づいて、試料の表面の化学状態および内部構造のいずれか少なくとも一つに関する情報を含む観察情報を生成する観察情報生成部とを備える。
摘要翻译：扫描隧道显微镜，探针，和用于由DC电压来控制探针和样品，并为探针和样品之间施加直流电压的电压施加部，和探针之间的距离的控制单元一个测量单元，用于测量所述样品提取部分和由所述提取单元提取，观测值之间流动的隧道电流提取物作为由测量部隧道电流测量的瞬时值的特定频率分量的观测值基于，和用于产生观测信息包括关于化学状态中的至少一个信息和所述样品的表面的内部结构的观察信息生成单元。

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