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    • 4. 发明专利
    • 型押し構造の形成装置及び型押し構造の形成方法
    • 用于形成压制结构的装置及其形成方法
    • JP2015104909A
    • 2015-06-08
    • JP2013249535
    • 2013-12-02
    • 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学東芝機械株式会社凸版印刷株式会社
    • 下田 達也深田 和宏小久保 光典小山 浩晃
    • H05B3/00B28B1/30B28B11/10
    • 【課題】電子デバイス等の製造に当って、ロールツーシート方式により、精度の高い機能性固体材料前駆体層の型押し構造を実現する為の方法と装置の提供。 【解決手段】型押し部、予備加熱部900、第1温度制御部、及び第2温度制御部を備え、機能性固体材料前駆体層20aが載置された被処理体10を略水平方向に搬送しながら、被処理体の搬送経路に設けられた、回転軸を中心に回転自在なローラー822が機能性固体材料前駆体層を、第2温度で加熱しながら型M1を押圧することによって、機能性固体材料前駆体層に対して型押し構造を形成する。予備加熱部900は、機能性固体材料前駆体層の表面側からその機能性固体材料前駆体層を第1温度に加熱するとともにローラーに近接して配置され、第1温度は機能性固体材料前駆体溶液の溶媒の沸点超、第2温度未満、第2温度は機能性固体材料前駆体層が機能性固体材料層になる温度よりも低くなるように制御される。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种在制造电子装置等时以卷对卷方式实现高精度功能固体材料前体层的模压结构的方法和装置。解决方案:一种用于 形成压模结构的工序包括模压部,预热部900,第一温度控制部和第二温度控制部。 当放置功能性固体材料前体层20a的工件10在基本上水平的方向上被输送时,通过设置在功能性固体材料前体层的输送路径中的辊822,一边加热功能固体材料前体层,一边压制模具M1 工件,并可围绕旋转轴旋转。 以这种方式,将模压结构形成为功能固体材料前体层。 从功能固体材料前体层的表面侧将功能性固体材料前体层加热至第一温度的预热部900配置在辊附近。 将第一温度控制为高于功能性固体材料前体溶液的溶剂的沸点,但低于第二温度,将第二温度控制为低于功能固体材料前体层的温度 成为功能固体材料层。
    • 9. 发明专利
    • フィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法
    • 图案转印装置的图案转印方法和膜的膜
    • JP2017030160A
    • 2017-02-09
    • JP2015149417
    • 2015-07-29
    • 東芝機械株式会社
    • 芹澤 光明小久保 光典
    • B29C59/02
    • 【課題】重力方向に沿ったフィルムの安定搬送と、確実に重力方向に沿わせた状態でのパターン形成が可能なパターン転写装置を提供する。 【解決手段】ベースフィルム2に樹脂層22を形成する樹脂層形成部4、賦形面31を樹脂層に転写してパターン21を形成するパターン転写部5、樹脂層を硬化させて転写フィルム20を生成する樹脂層硬化部6、転写フィルムから賦形フィルム3を剥離させる賦形フィルム剥離部7、ベースフィルムを繰り出し、樹脂層形成部とパターン転写部と樹脂層硬化部と賦形フィルム剥離部を通過させ、転写フィルムを巻き取るフィルム搬送部8を備え、フィルム搬送部は、樹脂層形成部の手前でベースフィルムの搬送方向を上から下へ向けるガイドロール83を有し、樹脂層形成部は、樹脂吐出口431の位置を上下にずらして配置される一対のダイ43を有し、上側に配置されるダイは、ベースフィルムのガイドロールと接触しない面側に配置する。 【選択図】図1
    • 为了提供重力方向的按照膜,在可靠地沿重力方向的状态下能够形成图案的图案转印设备中的稳定的转印。 用于形成树脂层22形成单元4的基片2树脂层,所述图案转移单元5由Fukatachimen 31转印到树脂层形成图案21,转印膜20以固化树脂层 树脂层固化单元6,成形膜从剥离单元7用于产生的转印膜剥离成形后的膜3中,进料的基膜,所述树脂层形成部与图案转印部和树脂层固化部分和成形膜释放部分 它被传递通过,与所述膜输送装置8用于卷取转印薄膜,使底片运送组件包括树脂层形成部之前,导向辊83会指示向下所述基膜的传送方向从上面,所述树脂层形成部 有一对管芯43,其通过移动在竖直方向上的树脂吐出口431的位置设置的,配置在上侧的模具不与基膜的导辊接触设置在侧。 点域1