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    • 10. 发明专利
    • ポリマー溶液
    • JP2021116406A
    • 2021-08-10
    • JP2020138073
    • 2020-08-18
    • 住友ベークライト株式会社
    • 田邊 潤壱
    • C08F8/00G03F7/038C08F290/00
    • 【課題】感度が良好であるとともに、高いアルカリ溶解性を有し、よって現像性に優れるとともに、黄色化が低減され透明性に優れた樹脂硬化物を得ることができるポリマー溶液を提供する。 【解決手段】本発明のポリマー溶液は、下記条件1で成膜した場合において、膜厚が20μm以上であり、クラックが認められない膜を形成可能なポリマー溶液であり、 前記ポリマー溶液と、多官能(メタ)アクリレートモノマーと、光重合性開始剤と、を含む感光性樹脂組成物とし、下記条件2で成膜した場合において、膜厚15μmのフィルムの波長400nmにおける光線透過率が75%以上である。 (条件1) スピンコート法により、前記ポリマー溶液を基板に塗布し、得られた塗布膜を温度100℃で2分間プリベークすることで成膜する。 (条件2) 大気下に、前記感光性樹脂組成物を基板に塗布し、得られた塗布膜を温度100℃で2分間プリベークし、365nmの波長を有する光により積算光量が100mJ/cm 2 となるように露光し、次いで大気下に230℃1時間硬化して膜厚15μmのフィルムを成膜する。 【選択図】なし