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    • 8. 发明专利
    • 結晶の製造方法
    • JP2018035069A
    • 2018-03-08
    • JP2017235113
    • 2017-12-07
    • 京セラ株式会社
    • 正木 克明林 雄一郎堂本 千秋
    • C30B19/10C30B29/36
    • 【課題】 高品質な結晶を成長させることが可能な結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明の結晶の製造方法は、炭化珪素からなる種結晶4の下面4Bを坩堝の内にある炭素を含む珪素の溶液5に接触させて、種結晶4を引き上げることによって、種結晶4の下面4Bに溶液5から炭化珪素の結晶Laを成長させる結晶の製造方法であって、種結晶4の下面4Bを溶液5に接触させて、種結晶4の下面4Bに炭化珪素の結晶Laの成長を開始する接触工程と、該接触工程の後、種結晶4の下面4Bに成長した結晶Laを溶液5から離す成長中止工程と、該成長中止工程の後、溶液5の温度を前記接触工程における温度よりも高く且つ珪素の沸点よりも低くする昇温工程と、該昇温工程の後、種結晶4の下面4Bに成長した結晶Laを溶液5に再度接触させる再接触工程とを有する。 【選択図】 図3