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    • 7. 发明专利
    • 半導体−金属複合材料及びその製造方法
    • SEMICONDUCTOR-METAL COMPOSITE MATERIAL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
    • JP2016152380A
    • 2016-08-22
    • JP2015030450
    • 2015-02-19
    • 国立研究開発法人産業技術総合研究所
    • 大曲 新矢梅沢 仁山田 英明茶谷原 昭義鹿田 真一
    • C30B29/04C30B25/10H01L21/28
    • 【課題】 不純物ドープ単結晶ダイヤモンドからなる半導体と金属材料とがオーミック接触した半導体−金属複合材料であって、半導体と金属材料との接触抵抗値が非常に小さい、新規な半導体−金属複合材料を提供する。 【解決手段】 半導体と金属材料とがオーミック接触した半導体−金属複合材料であって、 前記半導体は、ダイヤモンドに不純物がドープされた、不純物ドープ単結晶ダイヤモンドであり、 前記不純物ドープ単結晶ダイヤモンドの前記不純物の濃度が、1×10 19 〜1×10 22 cm -3 であり、 前記不純物ドープ単結晶ダイヤモンドが、前記不純物とは異なる金属元素を含む、半導体−金属複合材料。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:提供一种半导体膳食复合材料,其通过使金属材料与由杂质掺杂的单晶金刚石构成的半导体形成欧姆接触而获得,其中半导体和金属材料之间的接触电阻值为 非常小,并且是新开发的。解决方案:公开了一种半导体和金属复合材料,其中半导体和金属材料彼此进行欧姆接触。 半导体是通过掺杂金刚石与杂质形成的杂质掺杂单晶金刚石。 杂质掺杂的单晶金刚石的杂质浓度为1×10〜1×10cm。 杂质掺杂的单晶金刚石含有不同于杂质的金属元素。选择图:无