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1. 发明专利

JP6811021B2 駆動装置及びミラー装置有权
公开(公告)号：JP6811021B2
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：JP2016050775
申请日：2016-03-15
申请人：パイオニア株式会社 , YITOAマイクロテクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10

2. 发明专利

JP2017167254A 駆動装置及びミラー装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017167254A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2016050775
申请日：2016-03-15
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10
摘要：【課題】被駆動部の駆動精度を向上させ、安定した駆動を可能にする駆動装置及びミラー装置を提供する。【解決手段】第1の振動部、第1の振動部によって互いに異なる2方向の回転軸の周りを回転する枠部、枠部に接続された第2の振動部及び第2の振動部によって2方向の回転軸の周りを回転される被駆動部を有し、第1の振動部と枠部とを含む第1の振動系は2方向の回転軸周りに第1の共振周波数を有し、第2の振動部と被駆動部とからなる第2の振動系は2方向の回転軸の周りを共通でかつ第1の共振周波数よりも小さい第2の共振周波数で振動する。【選択図】図2

3. 发明专利

JP5965497B2 可変容量アレイ有权
标题翻译：可变电容器阵列
公开(公告)号：JP5965497B2
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：JP2014551737
申请日：2012-12-11
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二 , 杉田哲郎
IPC分类号： B81B7/04 , H01G5/16
CPC分类号： H01G5/38 , H01G5/16 , H01L29/84

4. 发明专利

JP2016106405A 静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス有权
标题翻译：静电致动器和可变电容器件
公开(公告)号：JP2016106405A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：JP2016001353
申请日：2016-01-06
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： B81B3/00 , H02N1/00 , H01G5/16
摘要：【課題】簡単な構成で、固定電極から第1可動梁を引き離す際に強い引離し力を得ることができる静電アクチュエーターを提供する。【解決手段】シリコン基板2に設けられた固定駆動電極21と、伸縮可能に構成された折り返し構造を為し、絶縁体で構成される連結部34を介して連なる複数の可動梁31,32を有する可動部22と、を備え、可動部22は、複数の可動梁31,32のうち固定駆動電極21側に位置する第1可動梁31と固定駆動電極21との間の静電気力により複数の可動梁31,32間が拡開することで、第1可動梁31が固定駆動電極21に近づき、隣り合う可動梁31,32の相互の静電気力により可動梁31,32間が縮むことで、第1可動梁31が固定駆動電極21から離れる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种简单结构的静电致动器，当第一可移动光束从固定电极拉出时，能够获得强的拉拔力。解决方案：静电致动器包括：固定驱动电极21，在硅衬底2上; 以及可移动部分22，其包括多个可移动梁31,32，其具有构造成可膨胀的折叠结构并且通过包括绝缘体的联接部分34连接在一起。在可动部22中，位于多个可动光束31,32的固定驱动电极21侧的第一可动光束31与固定驱动电极21之间的静电力引起多个可动光束31,32的膨胀使得第一可移动光束31接近固定驱动电极21.彼此相邻的可动光束31,32之间的相互作用的静电力导致可动光束31,32之间的收缩，使得第一可移动光束31远离固定驱动电极21。选择图：图1

5. 发明专利

JP6038362B2 静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス有权
标题翻译：静电致动器和可变电容装置
公开(公告)号：JP6038362B2
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：JP2016001353
申请日：2016-01-06
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： B81B3/00 , H02N1/00 , H01G5/16

6. 发明专利

JP6014143B2 ドライエッチング装置およびドライエッチング方法有权
标题翻译：干式蚀刻装置及干式蚀刻法
公开(公告)号：JP6014143B2
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：JP2014529150
申请日：2012-08-06
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二 , 横内敏夫 , 小荒井満
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/67109 , H01L21/6831 , H01L21/68735

7. 发明专利

JP5898771B2 分光器および測定方法有权
标题翻译：光谱仪和测量方法
公开(公告)号：JP5898771B2
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：JP2014532570
申请日：2012-08-30
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/36 , G01J3/26
CPC分类号： G02B5/285 , G01J3/2803 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806

8. 发明专利

JP5774779B2 静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス有权
标题翻译：静电致动器和可变电容装置
公开(公告)号：JP5774779B2
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：JP2014514227
申请日：2012-05-08
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： H02N1/00 , H02N13/00
CPC分类号： B81B3/0021 , H02N1/006 , B81B2201/0221

9. 发明专利

JP6670143B2 揺動体装置の制御装置有权
公开(公告)号：JP6670143B2
公开(公告)日：2020-03-18
申请号：JP2016060690
申请日：2016-03-24
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： G02B26/08 , B81B7/02 , G02B26/10

10. 发明专利

JP2017173622A 揺動体装置の制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017173622A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016060690
申请日：2016-03-24
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：埴原甲二
IPC分类号： B81B7/02 , G02B26/08 , G02B26/10
摘要：【課題】省電力で揺動体の振幅変調を行うことが可能な揺動体装置の制御装置を提供する。【解決手段】少なくとも1つの揺動軸を中心に揺動する揺動体と揺動体を駆動する駆動部とを有する揺動体装置の制御装置であって、周波数が揺動体の共振周波数に対応するそれぞれ一定振幅の信号であって、揺動体の揺動角度を増加させる第1の信号と揺動角度を減少させる第2の信号とを生成する生成部と、第1及び第2の信号をそれぞれ出力する第1及び第2の期間を交互に繰り返して駆動部に第1及び第2の信号を出力する出力部とを有する。【選択図】図2

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