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热词
    • 3. 发明专利
    • 測定装置及び位置合わせ方法
    • 测量装置和校准方法
    • JP2016130714A
    • 2016-07-21
    • JP2015005772
    • 2015-01-15
    • パイオニア株式会社株式会社パイオニアFA
    • 望月 学清水 寿治小西 環市川 美穂藤森 昭一
    • G01R31/26G01R31/28G01B11/00G01B21/00
    • 【課題】交換前後で計測ステージの位置合わせを好適に実行することが可能な測定装置を提供する。 【解決手段】測定装置100は、計測ステージ3Mと、基準ステージ3Sと、テーブル30とを備える。計測ステージ3Mは、LEDチップ50が載置されるステージであり、基準ステージ3Sは、計測ステージ3Mの位置合わせを行うためのステージである。テーブル30は、計測ステージ3Mと基準ステージ3Sとのいずれかを測定位置に移動させる。そして、計測ステージ3Mは、基準ステージ3Sが測定位置に存在するときの位置と、計測ステージ3Mが測定位置に存在するときの位置とが一致するように、位置合わせが行われる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种测量装置,其能够优选地在更换之前和之后对准测量台。解决方案:测量装置100包括测量台3M,参考台3S和工作台30.将LED芯片50放置 在测量阶段3M。 参考阶段3S用于对准测量阶段3M。 台30将任何测量台3M和基准台3S移动到测量位置。 测量装置对准测量台3M,使得当测量台3M存在于测量位置时,参考台3S存在于测量位置处的参考台3S的位置与测量台3M的位置匹配。图示:图 1
    • 8. 发明专利
    • ピックアップ装置
    • 拾取装置
    • JP2017005222A
    • 2017-01-05
    • JP2015120862
    • 2015-06-16
    • パイオニア株式会社株式会社パイオニアFA
    • 清水 寿治望月 学藤森 昭一小西 環市川 美穂
    • H01L21/67
    • 【課題】電子部品の裏面に粘着剤などが残らないように、シートから電子部品をピックアップする。 【解決手段】ピックアップ装置において、開口上に素子が位置するようにシートが第1ステージ上に配置され、素子はシートの下側から第2ステージにより支持される。第2ステージの載置面は素子よりも小さいので、素子はその一部が第2ステージにより支持され、それ以外の領域では支持されていない状態となる。そして、シートに対して圧力を加えることにより、シートが素子から部分的に引き剥がされる。この状態で、吸着ノズルが素子を吸引してピックアップする。 【選択図】図1
    • A作为电子部件的后表面不残留粘合剂等,拾取从片材中的电子组件。 所述的拾取装置,片材上的开口位于被设置在所述第一阶段的元件,元件由从所述板的下侧的第二阶段的支持。 由于第二级的安装表面小于所述元件,所述元件被部分地由所述第二阶段中,未在其他区域中所支持的状态支撑。 然后,通过将压力施加到片材,片材被部分地从元件剥离。 在这种状态下,吸嘴通过抽吸元件拾取。 点域1