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    • 9. 发明专利
    • 波長選択素子
    • 波长选择元件
    • JP2017003772A
    • 2017-01-05
    • JP2015117668
    • 2015-06-10
    • パイオニア株式会社
    • 矢部 友崇
    • B81B3/00G02B26/00
    • 【課題】反射膜間の間隔を安定して正確に調節できることが可能な波長選択素子を提供する。 【解決手段】間隙をおいて互いに対向する第1及び第2の平面をそれぞれ有して配置された透光性の第1及び第2の基板11A、11Bと、第1の基板に設けられて第2の平面に対向する可動部13と、第1の基板に設けられて第2の平面に対向し、可動部を第2の平面に垂直な方向に移動可能に支持する支持部14と、可動部の第2の平面に対向する面に設けられた第1の反射膜12Aと、第2の平面上に第1の反射膜に対向して設けられた第2の反射膜12Bと、第1及び第2の平面の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって可動部を移動させる第1及び第2の電極膜15A、15Bと、を有し、第1の電極膜は、可動部及び支持部上に跨って形成されている。 【選択図】図3
    • 本发明提供能够间距的波长选择元件可以精确地调节反射膜之间以稳定的方式。 设置透光性的第一和第二第一平面具有每个和彼此面对具有间隙的第二基板11A,和11B中,设置在第一基板上 面向所述第二平面中的可动部13,设置在面向第二平面中的第一基板上的支承部14,可移动地支撑在一个方向上的可动部垂直于所述第二平面上, 其被设置在面向可动部的所述第二平面的表面上的第一反射膜12A,和相对设置在第一反射膜在所述第二平面上的第二反射膜12B中, 被彼此相对地定位在每个第一和第二平面,第一和第二电极膜15A用于通过将电压施加移动所述可动部的包括图15B中,第一电极膜,可动 它横跨零件和在该支持部形成。 点域