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    • 3. 发明专利
    • 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器
    • 半导体装置,制造方法,以及半导体装置的电子设备
    • JPWO2013191039A1
    • 2016-05-26
    • JP2014521351
    • 2013-06-11
    • ソニー株式会社
    • 宣年 藤井藤井  宣年青柳 健一健一 青柳
    • H01L27/146H04N5/369
    • H01L27/14636H01L27/14634H01L27/14683H01L27/1469H04N5/2254
    • 本開示は、複数の基板を積層した3次元構造を有する固体撮像装置等の半導体装置において、耐熱性、耐拡散性の向上を図り、信頼性の向上を図ることを目的とする。また、その半導体装置の製造方法、並びに、その半導体装置を備える電子機器を提供することができるようにする半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器に関する。第1層間絶縁膜から所定の量だけ突出した第1接続電極を有する第1配線層を含む第1基板と、第2層間絶縁膜から所定の量だけ突出した第2接続電極を有する第2配線層を含む。そして、第1基板と第2基板との貼り合わせ面では、第1接続電極と第2接続電極が接合していると共に、積層方向に向かい合う第1層間絶縁膜と第2層間絶縁膜とが少なくとも一部で接合している。
    • 本发明中,在固体摄像装置的半导体装置等具有通过层叠多个基板,实现耐热性,耐扩散的改善获得的三维结构,其目的是,提高了可靠性。 此外,半导体器件的制造方法,以及半导体装置,以便能够提供一种具有该半导体装置,制造方法和半导体装置的电子设备的电子设备。 第一基板,包括具有预定的量从所述第一层间绝缘突出膜的第一连接电极上的第一布线层,其具有第二连接电极与第二层间绝缘膜以预定量突出的第二布线 包括层。 然后,在第一基板和第二基板,所述第一连接电极和第二连接电极之间的接合表面接合时,第一层间绝缘膜和至少朝向层叠方向上的第二层间绝缘膜 他们加入了一部分。