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    • 2. 发明专利
    • 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び光学フィルターデバイスの製造方法
    • 光学滤波器件,光学模块,电子设备和制造光学滤波器件的方法
    • JP2015227968A
    • 2015-12-17
    • JP2014113815
    • 2014-06-02
    • セイコーエプソン株式会社
    • 松野 靖史齋▲藤▼ 大輔小池 繁光
    • G01J3/26B81B3/00B81C3/00G02B26/00
    • 【課題】干渉フィルターの分解能の低下を抑制できる光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び光学フィルターデバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】光学フィルターデバイス600は、基板(固定基板及び可動基板)を備える波長可変干渉フィルター5と、ベース620と、基板の厚み方向に見た平面視における、基板の端部の一箇所に設けられ、波長可変干渉フィルター5をベース620に固定する第一固定部材640と、上記端部の一箇所を固定端とした波長可変干渉フィルター5の振動で振幅が最大となる位置において波長可変干渉フィルター5をベース620に固定し、かつ第一固定部材640より剛性が小さい第二固定部材641と、を備えた。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制干涉滤光器的分辨率降低的光滤波器装置,光模块,电子设备及其制造方法。光滤波器装置600包括:波长 包括基板(固定基板和可动基板)的变量滤波器5; 基座620; 第一固定部件640,其在基板的厚度方向上观察的平面图中设置在基板的端部的一部分,并且将波长可变的干涉滤光器5固定在基部620上; 以及第二固定部件641,其将波长可变的干涉滤光器5固定在基底620上,在具有上述部分的波长可变干涉滤光器5中振动振幅最大的位置作为固定端 并且具有比第一固定构件640低的刚性。
    • 5. 发明专利
    • 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
    • 光学滤光器件,光学模块和电子设备
    • JP2016014710A
    • 2016-01-28
    • JP2014135643
    • 2014-07-01
    • セイコーエプソン株式会社
    • 齋▲藤▼ 大輔松野 靖史小池 繁光
    • B81B3/00G01J3/26G01J3/51G02B26/00
    • 【課題】干渉フィルターの分解能の低下を抑制できる光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。 【解決手段】光学フィルターデバイス600は、互いに対向する一対の反射膜、及び当該一対の反射膜のいずれか一方が設けられた可動基板52を有する波長可変干渉フィルター5(干渉フィルター)と、ベース620(ベース部)と、可動基板52の一部をベース620に固定する第一固定部材640と、可動基板52の厚み方向の平面視において、厚み方向に交差する基板表面の、一対の反射膜が対向する対向領域S1を囲う領域で、可動基板52をベース620に固定し、第一固定部材640よりも、可動基板52への弾性率が低い第二固定部材641と、を備えている。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种可以抑制干扰滤波器的分辨率降低的滤光器件,光学模块和电子设备。解决方案:滤光器件600包括:波长可变干涉 具有彼此面对的一对反射涂层的过滤器5(干涉滤光器)和设置有一对反射涂层中的任一个的可移动电路板52; 基座620(基座); 用于将可移动电路板52的一部分固定到基座620的第一固定构件640; 以及第二固定部件641,用于将可移动电路板52固定在包围面对区域S1的区域中的基部620上,其中在可移动电路板52的厚度方向的平面图中, 电路板表面在厚度方向上彼此相交,第二固定构件641具有比第一固定构件640更低的可移动电路板52的弹性系数。
    • 10. 发明专利
    • 光学モジュールおよび電子機器
    • 光学模块和电子设备
    • JP2015227967A
    • 2015-12-17
    • JP2014113812
    • 2014-06-02
    • セイコーエプソン株式会社
    • 小池 繁光
    • G01J3/26G01J3/51G02B26/00
    • 【課題】加熱時に基板が撓み難く、駆動時に振動し難い光学モジュールを提供する。 【解決手段】可動反射膜と、可動反射膜に対向する固定反射膜と、反射膜間ギャップを制御する静電アクチュエーターと、を備えた干渉フィルター12と、内部空間11を有し内部空間11に干渉フィルター12を収納する筐体2と、可動反射膜及び固定反射膜の周囲に位置し筐体2の側壁部2dに対して干渉フィルター12を固定する固定部28と、固定部28と離れた場所で干渉フィルター12を抑える抑え部29と、を備える。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种光学模块,其具有在被加热时耐翘曲的基板,以及在被驱动时耐振动的结构。解决方案:光学模块包括:干涉滤光器12,包括可移动反射膜, 与可移动反射膜相对的固定反射膜和控制反射膜之间的间隙的静电致动器; 具有用于容纳干涉滤光器12的内部空间11的壳体2; 位于可动反射膜的周围的固定部28和固定反射膜,以将干涉滤光器12固定在壳体2的侧壁部2d上; 以及将干涉滤光器12保持在与固定部28相距一定距离处的压紧部29。