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1. 发明专利

JP6316084B2 リソグラフィ装置、および物品の製造方法有权
公开(公告)号：JP6316084B2
公开(公告)日：2018-04-25
申请号：JP2014094878
申请日：2014-05-01
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 是永伸茂
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J37/3045 , H01J2237/1501 , H01J2237/20292 , H01J2237/30455 , H01L21/2633 , H01L21/67259

2. 发明专利

JP6087573B2 処理装置、それを用いた物品の製造方法有权
标题翻译：处理器，采用相同的物品制造方法
公开(公告)号：JP6087573B2
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：JP2012233558
申请日：2012-10-23
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 是永伸茂
IPC分类号： H01L21/677 , H01J37/09 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/26 , B23Q3/02 , G03F7/70833 , G03F7/70841 , G03F7/709 , G21K5/08

3. 发明专利

JP2021122962A 可搬型印刷装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021122962A
公开(公告)日：2021-08-30
申请号：JP2020015605
申请日：2020-01-31
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介
IPC分类号： B41J29/00 , B41J11/42 , B41J3/36
摘要：【課題】排紙口を設けた面を下面として設置した場合でも、用紙への画像の印刷時に排紙口から突出した用紙が設置面と衝突することによって発生する印画品質低下を防ぎ、高品質な印刷を可能にした可搬型印刷装置を提供する。【解決手段】印刷手段と、印刷手段により印刷された用紙を外部に排出する排紙口と、を有する可搬型印刷装置(100)であって、排紙口(510)が設けられた面が下面となるように可搬型印刷装置(100)を設置した場合に、排紙口(510)が設けられた面とは異なる所定の面(150−1)が下面となる方向に倒れるように構成したことを特徴とする。【選択図】図6

4. 发明专利

JP2019076250A 音響波装置に対する音響整合液の供給方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019076250A
公开(公告)日：2019-05-23
申请号：JP2017204056
申请日：2017-10-20
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 伊藤靖浩 , 城井浩
IPC分类号： G01N29/28 , G01N29/24 , A61B8/13
摘要：【課題】液槽42に貯留された音響整合液2b中に排出口40から混入する気泡が低減された音響波装置100、および、該音響波装置への音響整合液2bの供給方法を提供することすること。【解決手段】排出口40からゲートバルブ10までの区間を音響整合液2(2b)で液密にするパージ工程S10と、排出口40より高い液位Lcまで液槽42に音響整合液2(2b)を供給する供給工程S30と、を有し、供給工程S30はパージ工程S10の後で行われることを特徴とする音響整合液の供給方法。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2019076251A 音響波装置に対する音響整合液の供給方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019076251A
公开(公告)日：2019-05-23
申请号：JP2017204057
申请日：2017-10-20
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 伊藤靖浩 , 城井浩
IPC分类号： A61B8/13
摘要：【課題】液槽42に音響整合液2(2b)を供給する際に、音響波の伝搬経路に発生する空気溜まり15を低減するようにした音響波装置に対する音響整合液の供給方法を提供すること【解決手段】液槽42の底部と保持部25のそれぞれと接し周囲が音響整合液2(2b)で閉じられた空気溜まり15を形成しないように、液槽42の底部と保持部25の間を液密にする。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2016164941A リソグラフィ装置の製造方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法审中-公开
标题翻译：光刻设备的制造方法，光刻设备及其制造方法
公开(公告)号：JP2016164941A
公开(公告)日：2016-09-08
申请号：JP2015045085
申请日：2015-03-06
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 是永伸茂 , 吉田崇
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/68 , H01L21/027
摘要：【課題】照射部とステージとの相対位置を計測する計測部の光軸の調整を容易に行うために有利な技術を提供する。【解決手段】パターンを基板に形成するリソグラフィ装置の製造方法であって、前記リソグラフィ装置は、ベースと、前記ベースに支持され、前記基板を保持して前記ベースに対して移動可能なステージと、前記ベースおよび前記ステージを収容するチャンバと、前記チャンバに固定された計測対象部材と、前記ベースに支持され、前記計測対象部材の位置を計測するためのヘッド部とを含み、前記製造方法は、前記ベースと前記計測対象部材との位置関係を規定するための位置決め部材を用いて、前記計測対象部材を前記ベースに対して位置決めする第1工程と、前記第1工程で位置決めされた前記計測対象部材に対して前記ヘッド部の計測軸を調整する第2工程と、前記第2工程の後、前記チャンバに前記ベースを収容する第3工程とを含む。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有利于容易地调节测量部分的光轴的技术，其测量辐射部分和台的相对位置。解决方案：光刻设备包括：基座; 支撑在基座上的台架保持基板，并且可相对于底座移动; 储存基座和台架的室; 固定到所述室的测量对象构件; 以及由所述基座支撑并用于测量所述测量对象构件的位置的头部。在基板上形成图案的光刻设备的制造方法包括：第一步骤，其中测量对象构件通过使用用于限定基座和测量对象构件之间的物理关系的定位构件相对于基座定位; 第二步骤，相对于位于第一步骤中的测量对象构件调节头部的测量轴; 以及第三步骤，其中基座在第二步骤之后存储在腔室中。选择图：图1

7. 发明专利

JP2015213113A リソグラフィ装置、および物品の製造方法有权
标题翻译： LITHOGRAPHIC APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF ARTICLE
公开(公告)号：JP2015213113A
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：JP2014094878
申请日：2014-05-01
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩▲瀬▼ 大介 , 是永伸茂
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J37/3045 , H01L21/2633 , H01L21/67259 , H01J2237/1501 , H01J2237/20292 , H01J2237/30455
摘要：【課題】基板にパターンを形成する形成部と基板との間における相対位置を補正するために有利な技術を提供する。【解決手段】パターンを基板に形成するリソグラフィ装置は、ベース部材と、前記基板を保持して前記ベース部材上を可動のステージと、前記ステージに保持された基板にパターン形成を行う形成部と、前記ベース部材および前記ステージを収容し、かつ前記形成部を支持するチャンバと、前記形成部と前記ベース部材との相対位置を検出する検出部と、前記ベース部材を駆動する駆動部と、前記検出部によって検出された前記相対位置が目標相対位置になるように前記駆動部を制御する制御部とを含む。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有利于校正在基板上形成图案的形成部件与基板之间的相对位置的技术。解决方案：光刻设备在基板上形成图案，包括：基板会员; 保持基板并可在基部构件上移动的台阶; 形成部，其在由所述载物台保持的所述基板上形成图案; 容纳基部构件和台架并支撑形成部分的室; 检测部，其检测所述形成部和所述基部构件之间的相对位置; 驱动所述基座部件的驱动部; 以及控制部，其控制驱动部，使得由检测部检测出的相对位置成为目标相对位置。

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