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2. 发明专利

JP2017509918A ミラーアレイ审中-公开
公开(公告)号：JP2017509918A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2016553587
申请日：2015-02-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：シュティグビーリン , シュティグビーリン , マルクスハウフ , マルクスハウフ , ラースヴィッシュマイヤー , ラースヴィッシュマイヤー , ファビアンハッカー , ファビアンハッカー , マルティンエンドレス , マルティンエンドレス , ヨハネスアイゼンメンガー , ヨハネスアイゼンメンガー
IPC分类号： G03F7/20 , B81B7/04 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B5/09 , G02B26/0833 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70291
摘要：ミラーアレイ(22)は、少なくとも2つの群に再分割される多数の変位可能な個々のミラー(23)を含み、第1の群の個々のミラー(23)は、非常に精密な方式で変位可能であり、第2の群の個々のミラー(23)は、非常に迅速な方式で変位可能である。【選択図】図12

3. 发明专利

JP2017527856A 投影リソグラフィのための照明光学ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2017527856A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2017512830
申请日：2015-08-20
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス
IPC分类号： G03F7/20 , G02B17/06
CPC分类号： G03F7/702 , G03F7/70033 , G03F7/70075 , G03F7/70116
摘要：投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、下流の結像光学ユニットの物体視野(8)と照明される物体とが配置可能である照明視野をEUV光源の照明光(31)で照明するように機能する。照明光学ユニットは、各場合に2つのファセットミラーのうちの一方の正確に1つのファセットを通じたEUV照明光のビームの部分ビーム(3i)の反射重ね合わせ案内のために照明光学ユニットの瞳平面から距離を置いて配置された2つのファセットミラーを含む。物体視野(8)に対して共役である視野平面に又はその近くに配置された他方のファセットミラーの個々のミラーは、一緒に傾斜可能である個々のミラーグループにグループ分けすることができる。このグループ分けは、部分ビーム(3i)のうちの1つを更に別のファセットのうちの正確に1つを通じて物体視野(8)に案内する個々のミラーグループのうちの少なくとも1つが、第1のファセットミラー上で隣接しない複数の個々のミラーサブグループ(33,34)から形成されるようなものである。照明光学ユニットの更に別のファセットミラーのファセットへの第1のファセットミラーの個々のグループの割り当てを決定する方法も指定する。これは、照明視野の照明を事前定義する時に高い柔軟性が得られる照明光学ユニットをもたらす。【選択図】図9

4. 发明专利

JP2017527854A 投影リソグラフィのための照明光学アセンブリ审中-公开
公开(公告)号：JP2017527854A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2017512828
申请日：2015-08-21
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス
IPC分类号： G03F7/20 , G02B19/00
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70075 , G03F7/702
摘要：投影リソグラフィのための照明光学アセンブリ(1)は、結像される物体(12)が配置可能である物体視野(8)を照明するように機能する。物体視野(8)は、物体変位方向(y)に沿って走査長(y0)を有する。照明光学アセンブリは、物体視野(8)に向けた照明光(3)の反射案内のための2つのファセットミラー(6,7)を有する。第2のファセットミラー(7)の第2のファセットは、それぞれの照明光部分ビームを物体視野(8)内に案内するように機能する。第2のファセットミラー(7)は、第2のファセットミラー(7)に最も近く隣接する照明光学アセンブリ(11)の瞳平面(12b)から瞳距離(PA1+PA2)にある。第2のファセットは、格子に配置され、格子の少なくとも1つの格子定数は、瞳距離(PA1+PA2)によってかつ走査長(y0)によって事前定義される。これは、可能な限り均一である事前定義された瞳セクションの照明を達成する照明光学アセンブリをもたらす。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2017527853A 投影リソグラフィのための照明光学アセンブリ审中-公开
公开(公告)号：JP2017527853A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2017512827
申请日：2015-08-21
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス
IPC分类号： G03F7/20 , G02B19/00
CPC分类号： G03F7/702 , G03F7/70033 , G03F7/70075 , G03F7/70091 , G03F7/70116
摘要：投影リソグラフィのための照明光学アセンブリは、下流の結像光学アセンブリの物体視野が配置可能である照明視野をEUV光源の照明光で照明するように機能する。照明光学アセンブリは、照明光がその上に入射し、照明ビーム経路内の瞳(29)を予め定められた瞳強度分布を有する照明光で照明するためのファセットを含む瞳照明ユニットを有する。瞳照明ユニットは、瞳照明ユニットの複数の照明チャネルが物体視野全体の一部だけを照明するように具現化される。これは、瞳照明ユニットのファセット上の過度に高い照明強度が回避される照明光学アセンブリをもたらす。【選択図】図10

6. 发明专利

JP2015534110A ミラー审中-公开
标题翻译：镜子
公开(公告)号：JP2015534110A
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：JP2015531514
申请日：2013-08-30
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：インゴゼンガー , インゴゼンガー , ヨハネスルオッフ , ヨハネスルオッフ , マルティンエンドレス , マルティンエンドレス , トーマスアイゼンマン , トーマスアイゼンマン
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/08 , G02B5/10
CPC分类号： G03F7/702 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G02B7/182 , G03F7/70066 , G03F7/70083 , G03F7/70233
摘要：分断化された全表面区域を有するミラー。ここで、分断化が非周期的な配列を形成する。【選択図】図11b
摘要翻译：镜与碎裂是总表面积为。在这里，支离破碎，形成非周期的安排。点域11B

7. 发明专利

JP2012507160A Euv micro illumination optical system for lithography 有权
公开(公告)号：JP2012507160A
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：JP2011533553
申请日：2009-07-14
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ベルントヴァルム , ゲロヴィッティヒ , マルティンエンドレス , イェンスオスマン , ラルフシュテュッツレ , ウドディンガー , ギュンターデンゲル
IPC分类号： H01L21/027 , G02B7/198 , G02B19/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/7085 , G03F7/70141 , G03F7/702 , G03F7/70558
摘要：ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系（４７）は、ＥＵＶ使用放射線ビーム（３）を用いて物体視野（１９）を照明するように機能する。事前設定デバイス（６，１０）は、照明パラメータを事前設定するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野照明の強度分布及び／又は角度分布を補正するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野（１９）の上流で使用放射線ビーム（３）が少なくとも部分的に印加される光学構成要素（１３）を有し、光学構成要素（１３）は、制御方式で駆動することによって変位させることができる。検出器（５０，５３）は、照明パラメータのうちの１つを取得するように機能する。評価デバイス（３１）は、検出器データを評価し、それを制御信号に変換するように機能する。少なくとも１つのアクチュエータ（６１，６２）は、光学構成要素（１３）を変位させるように機能する。露光中に、アクチュエータは、投影露光の期間中の検出器信号を用いて制御され、露光される物体（１８）の方向に物体視野（１９）のエッジに対して８μｍよりも小さい最大変位が保証される。その結果は、精度に対して最も厳しい要求が与えられた場合であっても、事前設定された照明パラメータとの整合性を保証するように用いられる照明光学系である。
【選択図】図７

8. 发明专利

JP2016533513A ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明系及び照明光学ユニット审中-公开
标题翻译：照明系统和用于EUV投影光刻的照明光学单元
公开(公告)号：JP2016533513A
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：JP2016515545
申请日：2014-08-25
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス
IPC分类号： G03F7/20 , G02B13/24 , G02B17/06
CPC分类号： G03F7/702 , G03F7/70075 , G03F7/70116
摘要： EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、照明光を物体視野に向けて案内するように機能する。照明光学ユニットの視野ファセットミラーは、少なくとも2つの傾斜位置の間で切り換えることができる複数の個別ミラーを有する。照明光学ユニットの瞳ファセットミラーは、複数の静止瞳ファセットを有し、照明光のビーム経路内で視野ファセットミラーの下流に配置される。瞳ファセットは、群ミラー照明チャネルを通じた物体視野内への視野ファセットミラーの個別ミラーの群の少なくとも区画的な重ね合わせ結像のために機能する。個別ミラーの少なくとも一部は、視野ファセットミラーの変更セクション(36)に配置される。変更セクション(36)内の個別ミラーは、個別ミラー傾斜位置に基づいて、異なる瞳ファセットを通して物体視野に結像される2つの異なる個別ミラー群(25a,25b)に割り当てることができる。変更セクション(36)は、物体視野上に結像されて物体変位方向(y)に対して垂直な物体視野の広がりの最大で半分に達する広がり(x1/3)を物体変位方向(y)と垂直に有する。視野ファセットミラーのそのような設計は、予め定められた照明パラメータを同じく予め定められた許容範囲内で遵守するために使用することができる。【選択図】図3
摘要翻译：用于EUV投影光刻的照明光学单元用于将照明光引导到物场。照明光学单元的场分面镜包括多个能够在至少两个倾斜位置之间切换单独的反射镜。照明光学单元的光瞳分面镜包括多个固定的光瞳面的布置在照明光的光束路径中的场分面镜的下游。光瞳面，起到用于通过一组反射镜照明通道的基团，场分面镜到物场的各个反射镜中的至少房室叠加成像。至少所述单独反射镜的一部分被布置成改变场分面镜（36）的部分中。在新的区段（36）的各个反射镜可以被分配给基于所述单独反射镜的倾斜位置时，通过不同的光瞳面成像在物场的两个不同的分立镜组（25A，25B）。新的部分（36），扩频（X1 / 3）被成像到物场到达相对于所述物体的位移方向（y）和对象位移方向（y）垂直对象场的一半的最大程度与垂直。场分面镜的这种设计可以用来以符合规定的容许范围内还规定的照明参数。点域

9. 发明专利

JP2016529557A マイクロミラーアレイ审中-公开
标题翻译：微镜阵列
公开(公告)号：JP2016529557A
公开(公告)日：2016-09-23
申请号：JP2016537260
申请日：2014-08-26
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G02B26/0833 , G03F7/70075
摘要：マイクロミラーアレイ(27)は、剪断変形矩形の形態を有する。照明光学ユニット(4)における配置において、この場合の1つの辺は、走査方向と垂直に位置合わせされる。【選択図】図2
摘要翻译：微镜阵列（27）具有一个剪切变形矩形的形式。在照明光学单元（4）的结构中，这种情况下的一个侧面是扫描方向和垂直对齐。 .The

10. 发明专利

JP2015524576A 照明光学ユニット有权
标题翻译：照明光学单元
公开(公告)号：JP2015524576A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：JP2015522071
申请日：2013-07-16
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：マルティンエンドレス , マルティンエンドレス , ミヒャエルパトラ , ミヒャエルパトラ
IPC分类号： G03F7/20 , G02B19/00
CPC分类号： G03F7/702 , G02B26/0833 , G03F7/70075 , G03F7/70083 , G03F7/70116 , G03F7/70233 , G21K1/06 , G21K2201/067
摘要：照明光学ユニット(4)は、第1のファセット要素(17)と、ファセット(24)を形成するように柔軟にグループ分けすることができる多数の変位可能マイクロミラー(33)を有する第2のファセット要素(18)とを含む。【選択図】図5
摘要翻译：照明光学单元（4）包括第一面元件（17），具有一个小面（24）的数移位微镜第二面可以灵活地分组以形成（33）和元件（18）。点域5

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