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1. 发明专利

JP5982429B2 絞りを有する投影対物系有权
标题翻译：具有孔的投影物镜系统
公开(公告)号：JP5982429B2
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：JP2014124134
申请日：2014-06-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ニルスディークマン , アレクサンダーヴォルフ , クリスチャンホラント , ウルリッヒレーリンク , フランツゾルク
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B17/08
CPC分类号： G03F7/70941 , G02B27/0043

3. 发明专利

JP2016212436A 絞りを有する投影対物系审中-公开
标题翻译：具有孔的投影物镜系统
公开(公告)号：JP2016212436A
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：JP2016151327
申请日：2016-08-01
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ニルスディークマン , アレクサンダーヴォルフ , クリスチャンホラント , ウルリッヒレーリンク , フランツゾルク
IPC分类号： G02B17/08 , G02B13/24 , G02B7/02 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70941 , G02B27/0043
摘要：【課題】物体平面に配置された物体を像平面に位置する物体像内に結像する投影対物系を提供する。【解決手段】物体平面OSに配置された物体を像平面IS内に位置する物体像内に結像する投影対物系は、複数の透過光学要素、及び投影対物系の結像ビーム経路に沿って規定可能な位置に光学要素を保持する保持デバイスを有する。光学要素の各々は、結像ビーム経路内に位置する光学有用領域と、光学有用領域の外側に位置する縁部領域とを有し、光学要素に割り当てられた保持デバイスの少なくとも1つの保持要素は、縁部領域における接触ゾーンの領域内で作用する。光学要素の少なくとも1つには、光学要素の直ぐ上流に配置された偽光絞りと、光学要素の直ぐ下流に配置された第2の偽光絞りとを有する絞り配列が割り当てられ、偽光絞りSA1、SA2、SA3は、偽光絞りが縁部領域の少なくとも一部を結像ビーム経路の外側を進む放射線に対して遮蔽する。【選択図】図2
摘要翻译：为对象图像中成像提供的投射物镜定位放置在物平面到像平面的对象。对于目的图像中成像的投射物镜定位放置在物平面OS到图像平面中的对象，多个透射光学元件，并沿着投射物镜的成像光束路径具有用于容纳在可限定位置上的光学元件的保持装置。每个光学元件包括光学有用区域位于成像光束路径，和位于光学有用区域的外侧的边缘区域，分配给光学元件保持装置中的至少一个保持元件作用于在边缘区域中的接触区域的面积。至少一个光学元件，光圈错误光直接位于光学元件的上游，具有膜片的孔径阵列的第二错误光直接设置在光学元件的下游被分配，假光阑 SA1，SA2，SA3被挤压假光被遮蔽免受辐射的成像光束路径的至少所述边缘区域的一部分的外侧行进。 .The

4. 发明专利

JP5154564B2 An optical system having a replaceable and operable correction arrangement for reducing image aberrations 有权
公开(公告)号：JP5154564B2
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：JP2009538631
申请日：2007-11-27
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：グイドリムバッハ , フランツゾルク , アルミンシェパッハ , ウルリッヒヴェーバー , ウルリッヒレーリンク , ディルクヘルヴェーク , ペーターマイアー , シュテファンクサルター , イェンスクーグラー , ベルンハルトゲルリッヒ , シュテファンヘムバッハー , ベルンハルトゴイペルト , アクセルゲーネルマイアー
IPC分类号： H01L21/027 , G02B13/24 , G03F7/20
CPC分类号： G02B7/004 , G02B27/0068 , G03F7/70191 , G03F7/70258 , G03F7/70308 , G03F7/70825
摘要： The disclosure relates to an optical system, such as a projection exposure apparatus for semiconductor lithography, including a manipulable correction arrangement for reducing image aberrations. In some embodiments, the system includes at least one manipulator configured to reduce image aberrations. The manipulator can include at least one optical element which can be manipulated by at least one actuator. The manipulator can be formed in changeable fashion together with an actuator.

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