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    • 3. 发明专利
    • KR102228134B1 - Vessel for growing a single crystal and growing method of single crystal using the vessel
    • KR102228134B1
    • 2021-03-16
    • KR1020180170056A
    • 2018-12-27
    • (주) 세라컴
    • 인경필남승하이강홍
    • C30B23/00C30B23/06
    • C30B23/005C30B23/06
    • 본 발명은, 성장챔버 내에 장착되는 단결정 성장 용기 하측에 단결정 성장의 원료를 넣고 상기 단결정 성장 용기 내에 종자결정을 부착하여 단결정을 성장시키는 PVT 장치에 사용되는 단결정 성장 용기에 있어서, 단결정 성장의 원료를 수용하는 공간을 제공하는 하부 용기와, 상기 하부 용의 상부를 밀폐하고 종자결정을 수용하는 공간을 제공하는 상부 용기와, 상기 상부 용기에 결합되어 있고 상기 종자결정을 부착시키기 위한 종자결정 고정 구조물을 포함하고, 상기 상부 용기 내에 위치된 상기 종자결정 고정 구조물에 상기 종자결정을 부착시켜 단결정을 성장시키며, 상기 단결정 성장 용기에는 단결정 성장 동안에 발생한 가스가 외부로 배출될 수 있는 내부가스 배출용 통로가 구비되어 있고, 상기 하부 용기에 구비된 내부가스 배출용 경로와 상기 상부 용기에 구비된 내부가스 배출용 경로가 서로 대응되게 합쳐져서 상기 내부가스 배출용 통로를 구성하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 용기 및 이를 이용한 단결정 성장 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 단결정 성장 동안에 발생하는 내부 가스가 외부로 일정하게 배출될 수 있게 하여 단결정 성장 과정에서의 온도 및 압력 등을 일정하게 제어할 수 있다.